NF X21-009-2008 Microbeam analysis - Electron probe microanalysis (EPMA) - Vocabulary 《微光束分析 电子探针微量分析(EPMA) 词汇》.pdf

1、NF ISO 23833septembre 2008Ce document est usage exclusif et non collectif des clients Saga Web.Toute mise en rseau, reproduction et rediffusion, sous quelque forme que ce soit,mme partielle, sont strictement interdites.This document is intended for the exclusive and non collective use of Saga Web cu

2、stomers.All network exploitation, reproduction and re-dissemination,even partial, whatever the form (hardcopy or other media), is strictly prohibited.Saga Web Pour SHANGHAI INTERNAT SCIENCE & TECHNOLOGY CORP LTDClient 23437512le 30/4/2009 07:24w w 77 W77 9 7 7 7 9 7 7 77 % 7 7 7 7 7 77 7 7 7 7 7 7 7

3、 ISO 23833:2006(E/F) ISO 2006 All rights reserved/Tous droits rservs iiiContents Page Foreword.vIntroductionviiScope11 Abbreviated terms12 Definitions of general terms used in electron probe microanalysis.23 Definitions of terms used to describe EPMA instrumentation114 Definitions of terms used in E

4、PMA methodology.27Symbols list44Bibliography.45Alphabetical index.46French alphabetical index (Index alphabtique).49 ISO 23833:2006(E/F) iv ISO 2006 All rights reserved/Tous droits rservsSommaire Page Avant-propos.viIntroduction.viiiDomaine dapplication.11 Abrviations12 Dfinitions de termes gnraux u

5、tiliss dans lanalyse par microsonde de Castaing.23 Dfinitions de termes utiliss pour dcrire linstrumentation EPMA114 Dfinition de termes utiliss en EPMA.27Liste des symboles44Bibliographie45Index alphabtique anglais (Alphabetical index) 46Index alphabtique.49 ISO 23833:2006(E/F) ISO 2006 All rights

6、reserved/Tous droits rservs vForeword ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards bodies (ISO member bodies). The work of preparing International Standards is normally carried out through ISO technical committees. Each member body interest

7、ed in a subject for which a technical committee has been established has the right to be represented on that committee. International organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work. ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Co

8、mmission (IEC) on all matters of electrotechnical standardization. International Standards are drafted in accordance with the rules given in the ISO/IEC Directives, Part 2. The main task of technical committees is to prepare International Standards. Draft International Standards adopted by the techn

9、ical committees are circulated to the member bodies for voting. Publication as an International Standard requires approval by at least 75 % of the member bodies casting a vote. ISO 23833 was prepared by Technical Committee ISO/TC 202, Microbeam analysis, Subcommittee SC 1, Terminology.The European M

10、icrobeam Analysis Society (EMAS) made contributions to the preparation of the document. This International Standard has a cross-reference relationship with the surface chemical analysis vocabulary prepared by ISO/TC 201 (ISO 18115:2001). ISO 23833:2006(E/F) vi ISO 2006 All rights reserved/Tous droit

11、s rservsAvant-propos LISO (Organisation internationale de normalisation) est une fdration mondiale dorganismes nationaux de normalisation (comits membres de lISO). Llaboration des Normes internationales est en gnral confie aux comits techniques de lISO. Chaque comit membre intress par une tude a le

12、droit de faire partie du comit technique cr cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec lISO participent galement aux travaux. LISO collabore troitement avec la Commission lectrotechnique internationale (CEI) en ce qui concerne la normalisa

13、tion lectrotechnique. Les Normes internationales sont rdiges conformment aux rgles donnes dans les Directives ISO/CEI, Partie 2. La tche principale des comits techniques est dlaborer les Normes internationales. Les projets de Normes internationales adopts par les comits techniques sont soumis aux co

14、mits membres pour vote. Leur publication comme Normes internationales requiert lapprobation de 75 % au moins des comits membres votants. LISO 23833 a t labore par le comit technique ISO/TC 202, Analyse par microfaisceaux, sous-comit SC 1, Terminologie.La Socit europenne danalyse par microfaisceaux (

15、EMAS) a contribu la prparation de ce document. La prsente Norme internationale est lie par rfrence croise la norme relative au vocabulaire de lanalyse chimique des surfaces prpare par lISO/TC 201 (ISO 18115:2001). ISO 23833:2006(E/F) ISO 2006 All rights reserved/Tous droits rservs viiIntroduction El

16、ectron probe X-ray microanalysis (EPMA) is a modern technique used to qualitatively determine and quantitatively measure the elemental composition of solid materials, including metal alloys, ceramics, glasses, minerals, polymers, powders, etc., on a spatial scale of approximately one micrometre late

17、rally and in depth. EPMA is based on the physical mechanism of electron-stimulated X-ray emission and X-ray spectrometry. As a major sub-field of microbeam analysis (MBA), the EPMA technique is widely applied in diverse business sectors (high-tech industries, basic industries, metallurgy and geology

18、 biology and medicine, environmental protection, trade, etc.) and has a wide business environment for standardization. Standardization of terminology in a technical field is one of the basic prerequisites for development of standards on other aspects of that field. This International Standard is re

19、levant to the need for an EPMA vocabulary that contains consistent definitions of terms as they are used in the practice of electron probe microanalysis by the international scientific and engineering communities that employ the technique. This International Standard is the first one developed in a

20、package of standards on scanning electron microscopy (SEM), analytical electron microscopy (AEM), energy-dispersive spectroscopy (EDS), etc., to be developed by ISO/TC 202, Microbeam analysis, Subcommittee SC 1, Terminology, to cover the complete field of MBA. ISO 23833:2006(E/F) viii ISO 2006 All r

21、ights reserved/Tous droits rservsIntroduction Lanalyse de rayons X par microsonde lectronique ou microsonde de Castaing (EPMA) est une technique moderne utilise pour dterminer sur le plan qualitatif et mesurer sur le plan quantitatif la composition lmentaire de matriaux solides, y compris des alliag

22、es mtalliques, des cramiques, des verres, des minraux, des polymres, des poudres, etc., sur une chelle spatiale denviron un micromtre latralement et en profondeur. LEPMA est base sur le mcanisme physique de lmission de rayons X stimule par des lectrons et de la spectromtrie X. tant lun des principau

23、x sous-domaines de lanalyse par microfaisceaux, la technique EPMA est largement applique dans diffrents secteurs de lconomie (hautes technologies, industries de base, mtallurgie et gologie, biologie et mdecine, protection de lenvironnement, commerce, etc.) et elle prsente un vaste environnement comm

24、ercial pour la normalisation. La normalisation de la terminologie dans un domaine technique donn est lune des conditions de base pralables au dveloppement de normes sur dautres aspects de ce domaine. La prsente Norme internationale rpond la ncessit de disposer dun vocabulaire EPMA contenant des dfin

25、itions cohrentes de termes qui sont utiliss dans la pratique de lanalyse par microsonde lectronique, par les communauts scientifiques et techniques internationales qui emploient cette technique. La prsente Norme internationale est la premire norme labore parmi une srie de normes sur la microscopie l

26、ectronique balayage (SEM) , la microscopie lectronique analytique (AEM), la spectroscopie slection dnergie (EDS), etc., qui seront labores par le comit technique ISO/TC 202, Analyse par microfaisceaux, sous-comit SC 1, Terminologie, pour couvrir le domaine de lanalyse par microfaisceaux dans son ens

27、emble. DRAFT INTERNATIONAL STANDARD PROJET DE NORME INTERNATIONALE ISO 23833:2006(E/F) ISO 2006 All rights reserved/Tous droits rservs 1Microbeam analysis Electron probe microanalysis (EPMA) Vocabulary Analyse par microfaisceaux Analyse par microsonde lectronique (microsonde de Castaing) Vocabulaire

28、 Scope Domaine dapplication This International Standard defines terms used in thepractices of electron probe microanalysis (EPMA). Itcovers both general and specific concepts classifiedaccording to their hierarchy in a systematic order. This International Standard is applicable to allstandardization

29、 documents relevant to the practicesof EPMA. In addition, some parts of this InternationalStandard are applicable to those documents relevantto the practices of related fields (e.g. SEM, AEM,EDX) for definition of those terms common to them. La prsente Norme internationale dfinit des termes employs

30、dans la pratique de lanalyse par microsonde de Castaing (EPMA). Elle couvre la fois des concepts gnraux et des concepts spcifiques, classs selon le rang hirarchique quils occupent dans un ordre systmatique. La prsente Norme internationale est applicable tous les documents de normalisation relatifs l

31、a pratique de lEPMA. En outre, certaines parties de la prsente Norme internationale sont applicables aux documents relatifs la pratique de techniques apparentes (par exemple MEB, AEM, EDX) pour la dfinition des termes communs ces techniques. 1 Abbreviated terms 1 Abrviations BSE backscattered electr

32、on CRM certified reference material EDS energy-dispersive spectrometer EDX energy-dispersive X-ray spectrometry EPMA electron probe microanalysis or electronprobe microanalyser eV electronvolt keV kiloelectronvolt SE secondary electron SEM scanning electron microscope WDS wavelength-dispersive spect

33、rometer WDX wavelength-dispersive X-ray spectrometry BSE lectron rtrodiffus CRM matriau de rfrence certifi EDS spectromtre slection dnergie EDX spectromtrie X slection dnergie EPMA analyse par microsonde lectronique ou microsonde de Castaing eV lectronVolt keV kilolectronVolt SE lectron secondaire M

34、EB microscope lectronique balayage WDS spectromtre dispersion de longueur donde WDX spectromtrie X dispersion de longueur donde ISO 23833:2006(E/F) 2 ISO 2006 All rights reserved/Tous droits rservs2 Definitions of general terms used in electron probe microanalysis 2 Dfinitions de termes gnraux utili

35、ss dans lanalyse par microsonde de Castaing 2.1 electron probe microanalysis EPMAtechnique of spatially-resolved elemental analysisbased upon electron-excited X-ray spectrometry with a focussed electron probe and an electron interaction volume with micrometre to sub-micrometredimensions 2.1 analyse

36、par microsonde de Castaing EPMAtechnique danalyse lmentaire rsolution spatiale, base sur la spectromtrie X par excitation dlectrons, utilisant une sonde lectronique focalise et un volume dinteraction des lectrons ayant des dimensions micromtriques submicromtriques 2.1.1 qualitative EPMA procedure in

37、 EPMA leading to the identification of theelements present in the electron-excited interactionvolume by a systematic method for the recognitionand assignment of X-ray spectral peaks to specificelements 2.1.1 EPMA qualitative mode opratoire de lEPMA entranant lidentification des lments prsents dans l

38、e volume dinteraction provoqu par lexcitation dlectrons, par une mthode systmatique de reconnaissance et daffectation des pics de spectres de rayons X des lments spcifiques 2.1.2 quantitative EPMA procedure leading to the assignment of numericalvalues to represent the concentrations of elementalcons

39、tituents measured in the electron-excitedinteraction volume and previously identified duringthe qualitative analysis phase in EPMA NOTE Quantitative analysis can be accomplished bycomparing the unknown X-ray peak intensities to X-ray peak intensities measured under the same conditions using reference material(s) or by calculating theconcentration from first principles (also known asstandardles