VDI 2083 Blatt 9 2-2017 Cleanroom technology - Consumables in the cleanroom.pdf

1、VEREIN DEUTSCHERINGENIEUREReinraumtechnikVerbrauchsmaterialien im ReinraumCleanroom technologyConsumables in the cleanroomVDI 2083Blatt 9.2 / Part 9.2Ausg. deutsch/englischIssue German/EnglishVDI-Handbuch ReinraumtechnikVDI-RICHTLINIENDie deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.ICS 13.040

2、.35 Januar 2017January 2017The German version of this standard shall be taken as authorita-tive. No guarantee can be given with respect to the English trans-lation. Inhalt SeiteVorbemerkung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Anwendungsber

3、eich . . . . . . . . . . . . . . 72 Normative Verweise . . . . . . . . . . . . . . 73 Begriffe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74 Abkrzungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115 Grundlegende Voraussetzungen . . . . . . . 126 Abgrenzung Reinraumtauglichkeit Reinheitstauglichkeit und grun

4、dlegende berlegungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137 Handschuhe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . . . 157.3 Produktdefinition (reinraum- und prozessspezifische Anforderungen). . . . . 197.4 Genh

5、te, gestrickte und teilbeschichtete Handschuhe fr geringe Anforderungen . . 207.5 Spezifische Anforderungen an Reinraum- handschuhe . . . . . . . . . . . . . . . . . 217.6 Weitere Anforderungen . . . . . . . . . . . 227.7 Verpackung . . . . . . . . . . . . . . . . . 227.8 Dokumentation . . . . . . .

6、 . . . . . . . . 227.9 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238 Mehrwegbekleidung . . . . . . . . . . . . . . 248.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . 248.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . . . 248.3 Produktdefinition (reinraum- und prozessspezifische Anforderungen). . . . .

7、 268.4 Pflege und Logistik . . . . . . . . . . . . . 298.5 Dokumentation . . . . . . . . . . . . . . . 328.6 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32Contents SeitePreliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51 Scope . . . . . .

8、. . . . . . . . . . . . . . . . 72 Normative references . . . . . . . . . . . . . 73 Terms and definitions . . . . . . . . . . . . . 74 Abbreviations . . . . . . . . . . . . . . . . . 115 Basic requirements . . . . . . . . . . . . . . 126 Differentiation between cleanroom compati- bility and compati

9、bility with the required cleanliness and basic considerations . . . . 137 Gloves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . 157.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . . . 157.3 Product definition (cleanroom- and process-specific requirements) . .

10、 . . . . . 197.4 Sewn, knitted and partly coated gloves for low requirements . . . . . . . . . . . . 207.5 Specific requirements for cleanroom gloves. . . . . . . . . . . . . . 217.6 Further requirements . . . . . . . . . . . . 227.7 Packaging. . . . . . . . . . . . . . . . . . 227.8 Documentation .

11、 . . . . . . . . . . . . . . 227.9 Checklist . . . . . . . . . . . . . . . . . . 238 Multiple-use clothing . . . . . . . . . . . . . 248.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . 248.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . . . 248.3 Product definition (cleanroom- and process-specific require

12、ments) . . . . . . . 268.4 Care and logistics . . . . . . . . . . . . . 298.5 Documentation . . . . . . . . . . . . . . . 328.6 Checklist . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32Frhere Ausgaben: 10.14Entwurf, deutsch; VDI2083Blatt 5.2:2008-10Formereditions: 10/14 Draft, in German only; VDI 2083 Part 5

13、.2:2008-10Zubeziehen durch /Available at BeuthVerlag GmbH,10772 Berlin AlleRechtevorbehalten /All rights reserved Verein Deutscher Ingenieuree.V.,Dsseldorf 2017Vervielfltigung auchfr innerbetrieblicheZwecke nichtgestattet / Reproduction evenfor internal use not permittedVDI-Gesellschaft Bauen und Ge

14、budetechnik (GBG)Fachbereich Technische GebudeausrstungB974908A824A6748CAAAA99BAB349F63B2C88DD9B0D2BF8368C461B1CCB65CD15BE74F0686BD19CFC1FB2DEE1A29BEST BeuthStandardsCollection - Stand 2017-02 2 VDI 2083 Blatt 9.2 / Part 9.2 Alle Rechte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2017Inh

15、alt Seite9 Einwegbekleidung . . . . . . . . . . . . . . . 339.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . . . 339.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . . . 349.3 Produktdefinition . . . . . . . . . . . . . . 359.4 Pflege und Logistik . . . . . . . . . . . . . 399.5 Dokumentation . . . . . . . . . .

16、 . . . . . 399.6 Checkliste. . . . . . . . . . . . . . . . . . 4010 Einwegmasken . . . . . . . . . . . . . . . . 4010.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . 4010.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . 4010.3 Produktdefinition (reinraum- und prozessspezifische Anforderungen) . . . 4210.4 Verpack

17、ung . . . . . . . . . . . . . . . 4410.5 Dokumentation. . . . . . . . . . . . . . 4410.6 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . 4511 Schuhe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4511.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . 4511.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . 4511.3 Schutz des Mita

18、rbeiters (PSA). . . . . . 4611.4 Schutz des Produkts/Prozesses . . . . . 4611.5 Produktdefinition (reinraum- und prozessspezifische Anforderungen) . . . 4811.6 Modellauswahl. . . . . . . . . . . . . . 4911.7 Besonderheiten bei Einwegberzieh- schuhen . . . . . . . . . . . . . . . . . 5011.8 Dokumenta

19、tion. . . . . . . . . . . . . . 5011.9 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . 5112 Reinigungstcher . . . . . . . . . . . . . . . 5112.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . 5112.2 Produktdefinition . . . . . . . . . . . . 5112.3 Anforderungen des Prozesses . . . . . . 5212.4 Grundstzliche An

20、forderungen an Reinigungstcher . . . . . . . . . . . . 5312.5 Prozessbezogene Anforderungen an Reinigungstcher . . . . . . . . . . . . 5512.6 Klassifizierung nach der lschicht- aufnahme. . . . . . . . . . . . . . . . . 5712.7 Logistik . . . . . . . . . . . . . . . . . 5712.8 Dokumentation. . . . . .

21、 . . . . . . . . 5812.9 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . 5813 Reinigungsstbchen . . . . . . . . . . . . . 5813.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . 5813.2 Grundlegendes . . . . . . . . . . . . . . 5813.3 Anforderungen des Prozesses . . . . . . 6013.4 Spezifische Anforderungen an Rein

22、igungsstbchen . . . . . . . . . . . 6013.5 Logistik Lieferformen . . . . . . . . . 6213.6 Dokumentation. . . . . . . . . . . . . . 6213.7 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . 62Contents Page9 Single-use clothing . . . . . . . . . . . . . . 339.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . 339

23、.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . . . 349.3 Product definition . . . . . . . . . . . . . 359.4 Care and logistics . . . . . . . . . . . . . 399.5 Documentation . . . . . . . . . . . . . . . 399.6 Checklist . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4010 Single-use face masks . . . . . . . . . . .

24、 . 4010.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 4010.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . 4010.3 Product definition (cleanroom- and process-specific requirements) . . . . . 4210.4 Packaging . . . . . . . . . . . . . . . . 4410.5 Documentation . . . . . . . . . . . . . 4410.6 Checklist. . .

25、. . . . . . . . . . . . . . 4511 Shoes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4511.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 4511.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . 4511.3 Protection of employees (PPE) . . . . . 4611.4 Protection of product/process . . . . . . 4611.5 Product definition (

26、cleanroom- and process-specific requirements) . . . . . 4811.6 Model selection . . . . . . . . . . . . . 4911.7 Specifics of single-use overshoes . . . . 50 11.8 Documentation . . . . . . . . . . . . . 5011.9 Checklist. . . . . . . . . . . . . . . . . 5112 Wipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

27、 . . 5112.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 5112.2 Product definition . . . . . . . . . . . . 5112.3 Requirements of the process . . . . . . 5212.4 Basic requirements for wipes . . . . . . 53 12.5 Process-related requirements for wipes . 55 12.6 Classification based on oil-film absorption .

28、 . . . . . . . . . . . . . . . 5712.7 Logistics . . . . . . . . . . . . . . . . . 5712.8 Documentation . . . . . . . . . . . . . 5812.9 Checklist. . . . . . . . . . . . . . . . . 5813 Swabs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5813.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 5813.2 Fundamentals

29、. . . . . . . . . . . . . . 5813.3 Requirements of the process . . . . . . 6013.4 Specific requirements for swabs . . . . 60 13.5 Logistics Delivery options. . . . . . . 6213.6 Documentation . . . . . . . . . . . . . 6213.7 Checklist. . . . . . . . . . . . . . . . . 62B974908A824A6748CAAAA99BAB349F6

30、3B2C88DD9B0D2BF8368C461B1CCB65CD15BE74F0686BD19CFC1FB2DEE1A29BEST BeuthStandardsCollection - Stand 2017-02VDI 2083 Blatt 9.2 / Part 9.2 3 All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2017Inhalt Seite14 Moppsysteme . . . . . . . . . . . . . . . . . 6314.1 berblick . . . . . . . . .

31、 . . . . . . . 6314.2 Grundlegendes . . . . . . . . . . . . . 6314.3 Grundanforderungen an Moppbespannungen . . . . . . . . . . 6514.4 Spezifische Anforderungen an Moppbespannungen . . . . . . . . . . 6614.5 Klassifizierung von Moppbespannungen . . . . . . . . . . 6914.6 Dekontamination . . . . . .

32、. . . . . . 6914.7 Handhabung und Kreuzkontaminationsrisiko. . . . . . . 6914.8 Logistik . . . . . . . . . . . . . . . . . 6914.9 Dokumentation . . . . . . . . . . . . . 7014.10 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . 7015 Papiere und Notizbcher . . . . . . . . . . . 7115.1 berblick . . . . . . . .

33、 . . . . . . . . 7115.2 Grundlegendes . . . . . . . . . . . . . . 7115.3 Grundstzliche Anforderungen . . . . . 7215.4 Spezifische Anforderungen . . . . . . . 7315.5 Schnittkantenbehandlung . . . . . . . . 7415.6 Logistik . . . . . . . . . . . . . . . . . 7415.7 Checkliste . . . . . . . . . . . . . .

34、 . . 7516 Verpackungsmaterialien (Beutel, Folien). . . 7616.1 berblick . . . . . . . . . . . . . . . . 7616.2 Grundstzliche Anforderungen . . . . . 7616.3 Qualittssicherung . . . . . . . . . . . . 7816.4 Reinheitsnachweis . . . . . . . . . . . . 7916.5 Anforderungen . . . . . . . . . . . . . . 7916.

35、6 Checkliste . . . . . . . . . . . . . . . . 79Anhang A Messverfahren . . . . . . . . . . . . 80A1 Handschuhe . . . . . . . . . . . . . . . . 80A2 Mehrweg-Reinraumbekleidung . . . . . . 82A3 Einwegmundschutz . . . . . . . . . . . . 84A4 Reinraumschuhe/berschuhe . . . . . . . 84A5 Wischmittel . . . .

36、 . . . . . . . . . . . . 84A6 Papier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88A7 Verpackungsmaterialien. . . . . . . . . . 88Anhang B Parameter von Verbrauchs- materialien Empfehlungen. . . . 90B1 Einweghandschuhe . . . . . . . . . . . 90B2 Reinraumoberbekleidung . . . . . . . . 91B3 Masken . . . . .

37、 . . . . . . . . . . . . 96B4 Tcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96B5 Reinigungsstbchen . . . . . . . . . . . 98B6 Papier . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98Anhang C Kriterien zur Auswahl eines Reinraumtextils. . . . . . . . . . . 100C1 Rckhaltevermgen gegenber luft- getragenen Partikeln.

38、. . . . . . . . . . 100C2 Luftdurchlssigkeit . . . . . . . . . . . 100Contents Page14 Mop systems . . . . . . . . . . . . . . . . . 6314.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 6314.2 Fundamentals . . . . . . . . . . . . . 6314.3 Basic requirements for mop covers . . 65 14.4 Specific requirements

39、 for mop covers . 66 14.5 Classification of mop covers. . . . . . 6914.6 Decontamination . . . . . . . . . . . . 6914.7 Handling and risk of cross-contamination . . . . . . . . . . 6914.8 Logistics . . . . . . . . . . . . . . . . 6914.9 Delivery options . . . . . . . . . . . . 7014.10 Checklist . .

40、. . . . . . . . . . . . . . 7015 Papers and notebooks . . . . . . . . . . . . 7115.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 7115.2 Fundamentals . . . . . . . . . . . . . . 7115.3 Basic requirements . . . . . . . . . . . 7215.4 Specific requirements . . . . . . . . . . 7315.5 Edge treatment . . . .

41、 . . . . . . . . . 7415.6 Logistics . . . . . . . . . . . . . . . . . 7415.7 Checklist. . . . . . . . . . . . . . . . . 7516 Packaging materials (bags, films) . . . . . . 7616.1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . 7616.2 Basic requirements . . . . . . . . . . . 7616.3 Material selection . . . .

42、 . . . . . . . . 7816.4 Proof of cleanliness . . . . . . . . . . . 7916.5 Requirements . . . . . . . . . . . . . . 7916.6 Checklist. . . . . . . . . . . . . . . . . 79Annex A Measurement methods . . . . . . . . 80A1 Gloves. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81A2 Multiple-use cleanroom clothing . .

43、 . . . 83A3 Single-use face mask . . . . . . . . . . . 86A4 Cleanroom shoes/overshoes . . . . . . . 86A5 Wipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86A6 Paper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89A7 Packaging materials. . . . . . . . . . . . 89Annex B Parameters of consumables Recommendations .

44、. . . . . . . . . 90B1 Single-use gloves . . . . . . . . . . . . . 90B2 Outer cleanroom garments . . . . . . . . 91B3 Face masks . . . . . . . . . . . . . . . . 97B4 Wipes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97B5 Swabs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99B6 Paper . . . . . . . . . . . . . . .

45、. . . . 99Annex C Criteria for selection of cleanroom textiles. . . . . . . . . . 100C1 Retention efficiency for airborne particles . . . . . . . . . . . . 100C2 Air permeability . . . . . . . . . . . . 100B974908A824A6748CAAAA99BAB349F63B2C88DD9B0D2BF8368C461B1CCB65CD15BE74F0686BD19CFC1FB2DEE1A29BE

46、ST BeuthStandardsCollection - Stand 2017-02 4 VDI 2083 Blatt 9.2 / Part 9.2 Alle Rechte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2017Inhalt SeiteC3 Migrationsverhalten (im Hinblick auf die Zwischenbekleidung) . . . . . . . . 100C4 Bestimmung des Widerstands gegen den Keimdurchtritt im

47、 trockenen und feuchten Zustand (DIN EN ISO 22 610 und DIN EN ISO 22 612) . . . . . . . . 101C5 Tragekomfort . . . . . . . . . . . . . . 101C6 Elektrostatisches Verhalten . . . . . . . 102C7 Abriebfestigkeit und Aufrauneigung . . 103C8 Konfektion von Reinraumbekleidung . . 103C9 Empfehlungen zur Spe

48、zifikation der Reinraumbekleidung in Abhngigkeit von der angestrebten Partikelreinheits- klasse der Luft. . . . . . . . . . . . . . 104Anhang D Reinraumgerechte Dekontamination von Mehrweg-Reinraumbekleidung und berwachung der Dekonta- mination, Sterilisation . . . . . . . 107D1 Allgemeines . . . .

49、. . . . . . . . . . . 107D2 Auslegung und Dimensionierung des Dekontaminationsverfahrens . . . . . . 108D3 Anforderungen an Waschmittel fr Mehrweg-Reinraumbekleidung . . . . . 110D4 Sterilisation . . . . . . . . . . . . . . . 110Anhang E Barriereeigenschaften von Einwegbekleidung . . . . . . . . . 111Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112VorbemerkungDer Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter Be-achtung der Vorgaben und Empfehlungen der