VDI VDE 5575 Blatt 7-2011 X-Ray optical systems - Refractive X-ray lenses.pdf

1、ICS 17.180.30 VDI/VDE-RICHTLINIEN Mai 2011 May 2011 VEREIN DEUTSCHER INGENIEURE VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK Rntgenoptische Systeme Refraktive Rntgenlinsen X-ray optical systems Refractive X-ray lenses VDI/VDE 5575 Blatt 7 / Part 7 Ausg. deutsch/englisch Issue German/Eng

2、lish Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authori-tative. No guarantee can be given with respect to the English translation. VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA) Fachbereich Optische Technologien VDI/VD

3、E-Handbuch Optische Technologien VDI/VDE-Handbuch Prozessmesstechnik und Strukturanalyse VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik Vervielfltigung auch fr innerbetriebliche Zwecke nicht gestattet / Reproduction even for internal use not permitted Frhere Ausgabe: 12.07 Entwurf, deutsch Former editi

4、on: 12/07 Draft, in German only Zu beziehen durch / Available at Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2011Inhalt Seite Contents Page Vorbemerkung 2 1 Anwendungsbereich . 2 2 Normative Verweise 2 3 Formelzeichen . 2

5、4 Physikalische Grundlagen . 3 5 Typen refraktiver Rntgenlinsen . 5 5.1 Refraktive Linsen mit Linienfokus 5 5.2 Refraktive Rntgenlinsen mit Punktfokus 8 6 Bestimmende Parameter und Definitionen . 9 Schrifttum . 11 Preliminary note 2 1 Scope 2 2 Normative references 2 3 Symbols 2 4 Physical principle

6、s 3 5 Types of refractive X-ray lenses 5 5.1 Refractive lenses with line focus 5 5.2 Refractive X-ray lenses with point focus . 8 6 Determining parameters and definitions . 9 Bibliography . 11 B55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF8AD9NormCD - Stand 2012-04 2 VDI/VDE 5575 Blatt 7 / Part 7 Alle R

7、echte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2011 Vorbemerkung Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der Richtlinie VDI 1000. Alle Rechte, insbesondere die des Nachdrucks, der Fotokopie, der elektronischen Verwendung und der berset

8、zung, jeweils auszugsweise oder vollstn-dig, sind vorbehalten. Die Nutzung dieser VDI-Richtlinie ist unter Wah-rung des Urheberrechts und unter Beachtung der Lizenzbedingungen (www.vdi-richtlinien.de), die in den VDI-Merkblttern geregelt sind, mglich. Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung diese

9、r VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. Eine Liste der aktuell verfgbaren Bltter dieser Richtlinienreihe ist im Internet abrufbar unter www.vdi.de/5575. Preliminary note The content of this guideline has been developed in strict accordance with the requirements and rec-ommendations of the gu

10、ideline VDI 1000. All rights are reserved, including those of reprint-ing, reproduction (photocopying, micro copying), storage in data processing systems and translation, either of the full text or of extracts. The use of this guideline without infringement of copyright is permitted subject to the l

11、icensing con-ditions specified in the VDI Notices (www.vdi-richtlinien.de). We wish to express our gratitude to all honorary contributors to this guideline. A catalogue of all available parts of this series of guidelines can be accessed on the internet at www.vdi.de/5575. 1 Anwendungsbereich Diese R

12、ichtlinie beschreibt refraktive (das heitauf Brechung von Strahlung beruhende) rntgen-optische Systeme fr den Wellenlngenbereich wenige mm Bildweite (in x- und y-Richtung) f2,xund f2,ym wenige mm Hauptebenenabstand (in x- und y-Richtung) hxund hym 0 bis einige cm Eingangsarbeitsabstand r1m 1 m Ausga

13、ngsarbeitsabstand (in x- und y-Richtung) r2,xund r2,ym 1 mm Eingangswinkelakzeptanz Erad 0,05 m Spektrale Intensittserhhung K 1 few mm Image distance (in x- and y-direction) f2,xand f2,ym few mm Distance of principal planes (in x- and y-direction) hxand hym 0 to few cm Entrance working distance r1m

14、1 m Exit working distance (in x- and y-direction) r2,xand r2,ym 1 mm Entrance acceptance angle Erad 0,05 m Spectral intensity enhancement K 1 5 104(for 18 keV and quadratic reference area of 157 m2 157 m2) B55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF8AD9NormCD - Stand 2012-04All rights reserved Verein

15、 Deutscher Ingenieure e.V., Dsseldorf 2011 VDI/VDE 5575 Blatt 7 / Part 7 11 Schrifttum / Bibliography Technische Regeln / Technical rules VDI 1000:2010-06 VDI-Richtlinienarbeit; Grundstze und Anleitungen (VDI Guideline Work; Principles and proce-dures). Berlin: Beuth Verlag VDI/VDE 5575 Blatt 1:2009

16、-11 Rntgenoptische Systeme; Begriffe (X-ray optical systems; Terms and definitions). Ber-lin: Beuth Verlag Literatur / Literature 1 W. Jark; F. Prenns; M. Matteucci; L. De Caro: CLESSIDRA: focusing hard x-rays efficiently with small prism arrays, Modern Developments in X-Ray and Neutron Optics, Spri

17、nger Series in Optical Sciences , Vol. 137, pp. 331351, Springer (2008) (ISBN: 978-3-540-74560-0) 2 C. G. Schroer; O. Kurapova; J. Patommel; P. Boye; J. Feldkamp; B. Lengeler; M. Burghammer; C. Riekel; L. Vincze; A. van der Hart; M. Kchler: Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005) 3 B. Lengeler; C. G. Sc

18、hroer; M. Kuhlmann; B. Benner; T. F. Gnzler; O. Kurapova; F. Zontone; A. Snigirev; I. Snigireva: J. Phys. D: Appl. Phys. 38, A218 (2005) 4 C. G. Schroer; B. Lengeler: Phys. Rev. Lett. 94, 054802 (2005) 5 V. Nazmov; E. Reznikova; M. Boerner; J. Mohr; V. Saile; A. Snigirev; I. Snigireva; M. DiMichiel;

19、 M. Drakopoulos; R. Simon; M. Grigoriev: Refractive lenses fabricated by deep SR lithography and LIGA technology for X-ray energies from 1keV to 1MeV, AIP conference proceed-ings, 705 (2004), pp. 752755 (2004) 6 V. Nazmov; E. Reznikova; A. Somogyi; J. Mohr; V. Saile: Planar sets of cross X-ray refra

20、ctive lenses from SU-8 polymer, Proceedings of SPIE 5539, pp. 235243 (2004) 7 B. Lengeler; C. G. Schroer; M. Richwin; J. Tmmler; M. Drakopoulos; A. Snigirev; I. Snigireva: Appl. Phys. Lett. 74, 3924 (1999) 8 B. Lengeler; C. Schroer; J. Tmmler; B. Benner; M. Richwin; A. Snigirev; I. Snigireva; M. Dra

21、kopoulos: J. Synchrotron Rad. 6, 1153 (1999) 9 A. Snigirev; V. Kohn; I. Snigireva; B. Lengeler: A com-pound refractive lens for focusing high-energy X-rays, Nature 384, pp. 4951 (1996) 10 T. Tomie: X-ray lens, Japanese Patent 1994000045288, priority 18.02.1994 (1996) B55EB1B3E14C22109E918E8EA43EDB30F09DCCB7EF8AD9NormCD - Stand 2012-04