DB12 046.87-2008 集成电路单位产量综合能耗计算方法及限额.pdf

1、 ISC 27.010 F01 DB12 天 津 市 地 方 标 准 DB12/046.87-2008 集成电路单位产量综合能耗 计算方法及限额 Calculation method and stipulation of comprehensive energy consumption norm for per unit product of molectron 2008-01-21发布 2008-03-01实施 天津市质量技术监督局 发 布 DB12/046.872008 前 言 本标准的第5章是强制性条款，其余是推荐性条款。 DB12/046.872008集成电路单位产量综合能耗计算方法及

2、限额为产品单位产量综合能耗计算方法及限额系列标准的第87项。本系列标准的其它标准见DB12/046.012008附录A。 本标准的编写符合 GB/T 1.12000 标准化工作导则第一部分:标准结构和编写规则，同时符合DB12/046.012008产品单位产量综合能耗计算方法及限额制定总则的规定。 本标准由天津市经济委员会资源环保处提出。 本标准负责起草单位：天津市节能协会检测与标准专业委员会。 本标准参加起草单位：天津市节能监测四站、天津市节能监测中心。 本标准主要起草人：张温习、刘峰、周永山、韩瑞国、贾军、任长青、王景良、朱天利、李志、张莹。 364 DB12/046.872008 集成电

3、路单位产量综合能耗计算方法及限额 1 范围 本标准规定了集成电路单位产量综合能耗计算方法及限额指标。 本标准适用于天津市辖区内集成电路生产企业。 2 规范性引用文件 下列文件的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 DB12/046.012008产品单位产量综合能耗计算方法及限额制定总则 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1集成电路总综合能耗 comprehensive ene

4、rgy consumption norm of molectron 报告期内企业生产集成电路从原材料进厂至成品入库的生产全过程中，所消耗的综合能耗。包括直接生产系统（工序）与间接生产系统（辅助、附属、损失）综合能耗之和。 3.2集成电路单位产量综合能耗comprehensive energy consumption per unit product of molectron 企业生产集成电路的总综合能耗与同期内产出的该种产品合格品总量的比值。 4 计算方法 集成电路的总综合能耗及其单位产量综合能耗的计算按DB12/046.012008规定的方法进行。 4.1集成电路产量计算 4.1.1 集成电

5、路产量计算单位采用同行业及上级管理部门相一致的单位：千片。 4.1.2 集成电路以本企业检验合格品产量计算，M千片。 4.2集成电路直接生产综合能耗 4.2.1 集成电路直接生产工序综合能耗包括： a 光刻工序综合能耗：E1 吨（标准煤）； b 热扩散离子注入工序综合能耗：E2 吨（标准煤）； c 源漏结构工序综合能耗：E3 吨（标准煤）； d 化学气相淀积工序综合能耗： E4 吨（标准煤）； e 平坦化技术工序综合能耗：E5 吨（标准煤）； f 湿法蚀刻和干法蚀刻工序综合能耗：E6 吨（标准煤）； g 多层金属化工序综合能耗：E7 吨（标准煤）； h 栅金属化工序综合能耗：E8 吨（标准煤）

6、； I 氧化工序综合能耗：E9 吨（标准煤）； J 硅片清洗和沾污控制工序综合能耗：E10 吨（标准煤）； k背面研磨工序综合能耗：E11 吨（标准煤）； l 铜工艺工序综合能耗：E12 吨（标准煤）。 4.2.2 集成电路直接生产综合能耗按（1）式计算： 365 DB12/046.872008 Ez =nsEs1（1） 式中： Ez集成电路直接生产综合能耗，吨（标准煤）； Es报告期内集成电路第s道工序的综合能耗，吨（标准煤）； n报告期内该产品生产工序数。 4.3集成电路间接生产综合能耗 集成电路间接生产综合能耗等于企业的辅助生产系统和附属生产系统，在统计报告期内为生产该产品所实际消耗的综

7、合能耗，加上同期内各种能源及耗能工质在企业内部储存、转换、分配供应中的损失综合能耗之和，详见 DB12 /046.012008第5.1.2条。 集成电路间接生产综合能耗包括： a 辅助综合能耗： 1E 吨（标准煤）； b 附属综合能耗： 2E 吨（标准煤）； c 损失综合能耗： 3E 吨（标准煤）。 集成电路间接生产综合能耗按（2）式计算。 JE 1E +2E +3E （2） 式中： JE 集成电路间接生产综合能耗，吨（标准煤）。 4.4集成电路总综合能耗 集成电路总综合能耗按（3）式计算： EEz + JE （3） 式中： E 集成电路总综合能耗，吨（标准煤）。 4.5集成电路单位产量综合能耗 集成电路单位产量综合能耗按（4）式计算： e ME 1000（4） 式中： e 集成电路单位产量综合能耗，千克（标准煤）/千片。 5 集成电路单位产量综合能耗限额指标 集成电路单位产量综合能耗应不大于1.95105千克（标准煤）/千片。 366