ISO 10110-14-2007 Optics and photonics - Preparation of drawings for optical elements and systems - Part 14 Wavefront deformation tolerance《光学和光子学 光学元件和系统的制图准备 .pdf

1、 Numro de rfrence ISO 10110-14:2007(F) ISO 2007NORME INTERNATIONALE ISO 10110-14 Deuxime dition 2007-09-15Optique et photonique Prparation des dessins pour lments et systmes optiques Partie 14: Tolrance de dformation du front donde Optics and photonics Preparation of drawings for optical elements an

2、d systems Part 14: Wavefront deformation tolerance ISO 10110-14:2007(F) PDF Exonration de responsabilit Le prsent fichier PDF peut contenir des polices de caractres intgres. Conformment aux conditions de licence dAdobe, ce fichier peut tre imprim ou visualis, mais ne doit pas tre modifi moins que lo

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7、 de lISO dans le pays du demandeur. ISO copyright office Case postale 56 CH-1211 Geneva 20 Tel. + 41 22 749 01 11 Fax. + 41 22 749 09 47 E-mail copyrightiso.org Web www.iso.org Publi en Suisse ii ISO 2007 Tous droits rservsISO 10110-14:2007(F) ISO 2007 Tous droits rservs iii Sommaire Page Avant-prop

8、os. iv Introduction v 1 Domaine dapplication 1 2 Rfrences normatives 1 3 Termes et dfinitions 1 4 Spcifications des tolrances de dformation du front donde. 2 4.1 Gnralits 2 4.2 Units. 2 4.3 Longueur donde. 2 4.4 Aberrations cibles. 2 4.5 lments colls (ou en contact optique) 2 5 Indication sur les de

9、ssins 3 5.1 Gnralits 3 5.2 Numro de code 4 5.3 Forme de lindication 4 5.4 Position de lindication. 5 5.5 Indication dclairage . 6 5.6 Spcification de la position du point image 6 5.7 Indication des aberrations cibles 7 6 Exemples dindications de tolrance 7 Bibliographie 10 ISO 10110-14:2007(F) iv IS

10、O 2007 Tous droits rservsAvant-propos LISO (Organisation internationale de normalisation) est une fdration mondiale dorganismes nationaux de normalisation (comits membres de lISO). Llaboration des Normes internationales est en gnral confie aux comits techniques de lISO. Chaque comit membre intress p

11、ar une tude a le droit de faire partie du comit technique cr cet effet. Les organisations internationales, gouvernementales et non gouvernementales, en liaison avec lISO participent galement aux travaux. LISO collabore troitement avec la Commission lectrotechnique internationale (CEI) en ce qui conc

12、erne la normalisation lectrotechnique. Les Normes internationales sont rdiges conformment aux rgles donnes dans les Directives ISO/CEI, Partie 2. La tche principale des comits techniques est dlaborer les Normes internationales. Les projets de Normes internationales adopts par les comits techniques s

13、ont soumis aux comits membres pour vote. Leur publication comme Normes internationales requiert lapprobation de 75 % au moins des comits membres votants. Lattention est appele sur le fait que certains des lments du prsent document peuvent faire lobjet de droits de proprit intellectuelle ou de droits

14、 analogues. LISO ne saurait tre tenue pour responsable de ne pas avoir identifi de tels droits de proprit et averti de leur existence. LISO 10110-14 a t labore par le comit technique ISO/TC 172, Optique et photonique, sous-comit SC 1, Normes fondamentales. Cette deuxime dition annule et remplace la

15、premire dition (ISO 10110-14:2003), qui a fait lobjet dune rvision technique. LISO 10110 comprend les parties suivantes, prsentes sous le titre gnral Optique et photonique Prparation des dessins pour lments et systmes optiques: Partie 1: Gnralits Partie 2: Imperfections des matriaux Birfringence sou

16、s contrainte Partie 3: Imperfections des matriaux Bulles et inclusions Partie 4: Imperfections des matriaux Htrognits et stries Partie 5: Tolrances de forme de surface Partie 6: Tolrances de centrage Partie 7: Tolrances dimperfection de surface Partie 8: tat de surface Partie 9: Traitement de surfac

17、e et revtement Partie 10: Tableau reprsentant les donnes dlments optiques et dassemblages colls Partie 11: Donnes non tolrances Partie 12: Surfaces asphriques Partie 14: Tolrance de dformation du front donde Partie 17: Seuil de dommage au rayonnement laser ISO 10110-14:2007(F) ISO 2007 Tous droits r

18、servs v Introduction La prsente partie de lISO 10110 permet de spcifier une tolrance fonctionnelle pour la performance (exprime en longueurs dondes de dformation du front donde en simple passe) dun systme optique. Cette tolrance comprend donc leffet des dformations de surface, les htrognits et les i

19、nteractions possibles entre les diffrentes erreurs individuelles. Il est possible de spcifier une tolrance de dformation du front donde uniquement, sans avoir spcifier les tolrances de chaque surface. Dans ce cas, le fabricant doit sassurer que le front donde satisfait la tolrance spcifie, mais il n

20、est pas li par les tolrances de forme des surfaces individuelles de llment et il est libre, par exemple, de tolrer de fortes dformations de surfaces pourvu quelles sannulent mutuellement. Il est galement possible dindiquer une tolrance de dformation du front donde, selon la prsente partie de lISO 10

21、110, en plus des tolrances de forme des surfaces individuelles et/ou de lhtrognit (respectivement selon lISO 10110-5 et lISO 10110-4). Dans ce cas, le fabricant doit sassurer que toutes les tolrances individuelles (dformations de surface et htrognit) sont satisfaites et galement que le front donde p

22、ossde la qualit spcifie. Les lments optiques sont souvent soumis essai dans une configuration en double passe o le front donde passe travers ou, dans le cas des systmes optiques rflchissants, se rflchit sur llment soumis essai deux fois, comme illustr dans lISO/TR 14999-1:2005, Figure 18. Dans le ca

23、s dun essai en double passe, la dformation supplmentaire du front donde, cause pas le second passage dans llment doit tre prise en considration lorsque les rsultats de mesure sont compars avec les tolrances spcifies. Si le front donde nest pas trop dform en simple passe par llment soumis essai et qu

24、il se rflchisse sur un miroir de grande qualit, il retourne alors travers la mme partie de llment soumis essai vers linterfromtre. Alors, la dformation du front donde observe est gale deux fois la dformation du front donde (en simple passe) (dfini dans lISO 14999-4:2007, 3.2.3). Cela signifie que la

25、 dformation du front donde est gale la moiti de la dformation du front donde observe. Si le front donde est trop dform par llment soumis essai, alors, les rayons individuels ne passent pas par les mmes positions de llment soumis essai sur le trajet de retour et la dformation du front donde nest pas

26、exactement gale deux fois celle rsultant dune configuration en simple passe. Si le mesurage du front donde nest pas le front donde de spcification, il est prfrable de faire attention. Au moins la dformation du front donde doit tre recalcule. NORME INTERNATIONALE ISO 10110-14:2007(F) ISO 2007 Tous dr

27、oits rservs 1 Optique et photonique Prparation des dessins pour lments et systmes optiques Partie 14: Tolrance de dformation du front donde 1 Domaine dapplication La srie de lISO 10110 spcifie la prsentation des exigences de conception et des exigences fonctionnelles applicables aux lments et aux sy

28、stmes optiques sur les dessins techniques utiliss pour la fabrication et le contrle. La prsente partie de lISO 10110 donne des rgles pour indiquer la tolrance de dformation dun front donde transmis travers ou, dans le cas des systmes optiques rflchissants, rflchi sur un lment ou un sous-ensemble opt

29、ique. La dformation du front donde se rfre sa dviation par rapport la forme souhaite (front donde thorique nominal). Linclinaison du front donde par rapport une surface de rfrence donne est exclue du domaine dapplication de la prsente partie de lISO 10110. Il ny a pas dexigence dindication de la tol

30、rance de dformation du front donde. Si une telle tolrance est indique, elle ne prend pas le pas sur une tolrance de forme de la surface, conformment lISO 10110-5. Si des tolrances sont indiques la fois pour la forme de surface et pour la dformation du front donde, elles doivent toutes les deux tre r

31、espectes. 2 Rfrences normatives Les documents de rfrence suivants sont indispensables pour lapplication du prsent document. Pour les rfrences dates, seule ldition cite sapplique. Pour les rfrences non dates, la dernire dition du document de rfrence sapplique (y compris les ventuels amendements). ISO

32、 10110-1:2006, Optique et photonique Indications sur les dessins pour lments et systmes optiques Partie 1: Gnralits ISO/TR 14999-2, Optique et photonique Mesurage interfromtrique de composants et systmes optiques Partie 2: Mesurage et techniques dvaluation ISO 14999-4:2007, Optique et photonique Mes

33、urage interfromtrique de composants et de systmes optiques Partie 4: Directives pour lvaluation des tolrances spcifies dans lISO 10110 3 Termes et dfinitions Pour les besoins du prsent document, les termes et dfinitions donns dans lISO 14999-4 sappliquent. NOTE LISO 14999-4 fournit les dfinitions po

34、ur toutes les fonctions de dformation. ISO 10110-14:2007(F) 2 ISO 2007 Tous droits rservs4 Spcifications des tolrances de dformation du front donde 4.1 Gnralits Les tolrances de dformation du front donde sindiquent en spcifiant les valeurs maximales admises de lerreur sagittale, de lirrgularit et/ou

35、 de lirrgularit symtrie de rvolution. De plus, il est possible de spcifier les tolrances pour les trois mesures des moyennes quadratiques (rms) de la dformation du front donde (moyenne quadratique totale, moyenne quadratique dirrgularit et moyenne quadratique de rvolution variant de la dformation du

36、 front donde). Voir lISO 14999-4:2007, 3.3 pour les dfinitions. NOTE 1 Lerreur sagittale du front donde na de sens que lorsque lemplacement de limage est spcifi. Si lemplacement nest pas spcifi, lerreur sagittale du front donde est gale zro par dfinition. NOTE 2 Les mthodes de dtermination de limpor

37、tance de lerreur sagittale, de lirrgularit et de lirrgularit symtrie de rvolution pour un front donde donn sont spcifies dans lISO 14999-4. Il nest pas ncessaire de spcifier les tolrances pour tous les types de dformation du front donde. 4.2 Units Il convient de spcifier en nanomtres les valeurs max

38、imales admises pour lerreur sagittale, lirrgularit et lirrgularit symtrie de rvolution et, le cas chant, pour les aberrations cibles. Si les longueurs donde doivent tre utilises, la longueur donde doit tre indique sur le dessin. NOTE 1 Ces quantits sont dfinies par rfrence un front donde passant une

39、 fois travers llment soumis essai (simple passe). Si une spcification doit tre fournie pour un ou plusieurs type(s) de dformation moyenne quadratique du front donde, la spcification doit galement tre donne en units de longueurs donde (simple passe, voir NOTE 1). NOTE 2 Une longueur donde est 1 la lo

40、ngueur donde (en nanomtres) pour laquelle la dformation du front donde est spcifie. NOTE 3 La spcification dune tolrance pour le type de dformation moyenne quadratique exige que le systme optique soit digitalement analys. 4.3 Longueur donde Si les units de longueur donde doivent tre utilises, la lon

41、gueur donde doit galement tre indique sur le dessin pour rduire toute confusion. Si rien nest spcifi, la longueur donde est suppose tre de 546,07 nm. 4.4 Aberrations cibles Frquemment, le front donde thorique nominal est sphrique ou plan. Dans certains cas, pour permettre la prsence de petites quant

42、its daberration rsiduelle dans la conception dun systme optique, des valeurs cibles non nulles peuvent tre spcifies pour les types daberration polynomiale. 4.5 lments colls (ou en contact optique) Si deux ou plusieurs lments doivent tre colls (ou tre en contact optique), les tolrances de dformation

43、du front donde donnes pour chaque lment sappliquent galement aux lments aprs assemblage, cest-dire aprs collage (ou contact optique), sauf indication contraire. Voir lISO 10110-1:2006, 4.8.3. ISO 10110-14:2007(F) ISO 2007 Tous droits rservs 3 5 Indication sur les dessins 5.1 Gnralits Dans tous les c

44、as o il est ncessaire dindiquer une tolrance de dformation du front donde, laxe optique de llment doit tre indiqu sur le dessin conformment lISO 10110-1:2006, 4.2. La position de la surface du diaphragme ou de la pupille doit tre indique conformment lISO 10110-1:2006, 5.3. Voir Figure 1. La tolrance

45、 de dformation du front donde doit tre indique par un numro de code (voir 5.2) et par les indications de tolrance de lerreur sagittale, de lirrgularit, de lirrgularit symtrie de rvolution et les types de dformations moyennes quadratiques, selon le cas (voir 5.3). Il convient de spcifier la dformatio

46、n du front donde en nanomtres. Cependant, si les units de longueur donde doivent tre utilises, il convient dindiquer la longueur donde. Toutes les quantits doivent tre spcifies avec leurs units. En labsence dunit explicite, lunit implicite est la longueur donde. Aucune exigence nest dfinie pour la spcification de la tolrance admise pour la dformation totale du front donde (cest-dire incluant la fois lerreur sagittale et lirrgularit). Si ce type de spcification est ncessaire, cette information doit tre indique dans une note sur le dessin, par exemple Dformation