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GB T 17473.1-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法.固体含量测定.pdf

1、ICS 7712099H 68 a园中华人民共和国国家标准GBT 1747312008代替GBT 1747311998微电子技术用贵金属浆料测试方法固体含量测定Test methods of precious metals pastes used formicroelectronics-Determination of solids content2008-03-3 1发布 2008-09-0 1实施宰瞀嬲鬻瓣警辫瞥鐾发布中国国家标准化管理委员会促111刖 吾GBT 1747312008本标准是对GBT 17473 1998厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法(所有部分)的整合修订,分为7个部分

2、GBT 1747312008微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定;GBT 1747322008微电子技术用贵金属浆料测试方法 细度测定;GBT 174733 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法 方阻测定;GBT 1747342008微电子技术用贵金属浆料测试方法 附着力测试;GBT 174735-2008微电子技术用贵金属浆料测试方法粘度测定;GBT 174736 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定;GBT 174737 2008微电子技术用贵金属浆料测试方法可焊性、耐焊性测定。本部分为GBT 17473 2008的第1部分。本部分代替GBT 174731 199

3、8厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定。本部分与GBT 1747311998相比,主要有如下变动:将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 固体含量测定;删除了引用文件GBT 242l 1989;本部分增加了聚合物低温固化型浆料的固体含量测定内容;对于聚合物低温固化浆料,根据浆料使用温度的不同来确定检测固体含量的温度;浆料平行取样由两份增加为三份;删除了中温烧成浆料的内容,将高温烧成浆料改为烧结型浆料;试料相互之间测试值之差不大于平均值的1测定结果有效。本部分由中国有色金属工业协会提出。本部分由全国有色金属标准化技术委员会归口。本部分由贵研铂业股份有限公司负责起草。本部分主

4、要起草人:陈一、张骏、朱武勋。本部分所代替标准的历次版本发布情况为:GBT1747311998。微电子技术用贵金属浆料测试方法固体含量测定GBT 17473120081范围本部分规定了微电子技术用贵金属浆料中固体含量的测试方法。本部分适用于各种烧结型和固化型微电子技术用贵金属浆料固体含量的测定。2引用文件下列文件中的条款通过本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分,然而,鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本部分。GBT 8170数值修约规则3方法原理贵

5、金属浆料在一定温度下加热一定时间,根据加热前后的质量差测定其固体含量。4仪器与设备41天平:感量为0000 1 g。42箱式电阻炉:最高使用温度1 000,控温精度为20+C。43鼓风式恒温烘箱:最高使用温度300,控温精度为士5。44干燥器:变色硅胶作干燥剂。5试样将样品搅拌均匀,不得引入杂质。6测试步骤实验环境:环境温度1535、相对湿度4575、大气压强86 kPa106 kPa。61试料611烧结型浆料:称取三份1 g的试料,准确到0000 1 g,分别置于已恒重的2 mL瓷坩埚中。612 固化型浆料:称取三份02 go3 g的试料,准确到0000 1 g,分别置于聚酯PET薄膜片上,

6、适当摊开。62实验温度与操作621烧结型浆料:将装有试料的坩埚置于箱式电阻炉中,微开炉门,升温至150C,保温30 rain。关上炉门,继续升温至850,保温30 min。烧结完成后关闭电源,打开炉门冷却至80100。C取出坩埚,置于干燥器中,冷却至室温,称量。622固化型浆料:将载有试料的聚酯PET薄膜置于鼓风式恒温烘箱中,加热到浆料固化温度,保温60 rain,取出薄膜,放入干燥器中冷至室温,称量。7测试结果计算71按式(1)计算,浆料中固体质量分数为w,数值以表示:】GBT 1747312008一堡!二竺100mim式中:u一浆料中固体的质量分数,;m坩埚或聚酯薄膜的质量,单位为克(g);m-坩埚或聚酯薄膜与试料加热前质量之和,单位为克(g);m:坩埚或聚酯薄膜与试料加热后质量之和,单位为克(g)。72测试结果表示至小数点后两位,有效数字的尾数按GBT 8170数值修约规则进行。73取三份试料测试结果的算术平均值作为测定结果。74三份试料相互测试绝对值之差均不大于平均值的1测定结果有效,否则另取试样重新测定。8检测报告检测报告应包括以下内容:a)试样编号;b)试样名称、牌号、规格;c)产品批号;d)测试结果及检测部门印章;e)本标准编号;f)测试人及测试日期。

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