DB11 T 1764.8-2021 用水定额 第8部分：集成电路.pdf

1、 ICS 13.060.25 CCS P 41 DB 11 北京市地方标准 DB11/T 1764.8 2021 用水定额 第 8部分：集成电路 Norm of water intake Part 8: Integrated circuit 2021 - 12 - 28发布 2022 - 04 - 01实施 北京市市场监督管理局 发布 DB11/T 1764.8 2021 I 目次 前 言 . II 1 范围 . 1 2 规范性引用文件 . 1 3 术语和定义 . 1 4 计算方法 . 1 5 用水定额 . 2 6 管理要求 . 2 附录 A （资料性） 北京市集成电路制造企业年度用水信息表

2、. 4 DB11/T 1764.8 2021 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 2020标准化工作导则 第 1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起 草。 本文件是 DB11/T 1764用水定额的第 8部分。 DB11/T 1764已经发布了以下部分： 第 2部分：蔬菜和中药材； 第 13部分：白酒和啤酒； 第 15部分：整车制造； 第 16部分：中成药； 第 18部分：水泥； 第 19部分：乳制品； 第 20部分：调味品与发 酵 制品； 第 22部分： 焙烤食 品； 第 28部分： 机关 ； 第 30部分： 洗 车； 第 32部分： 餐饮 ； 第 35部分： 高尔夫球场 ； 第

3、39部分： 地铁站 ； 第 40部分： 客运站 ； 第 42部分： 居民生活 。 本文件 由 北京市经 济 和信息化 局 和北京市水 务局提出并归口 。 本文件 由 北京市经 济 和信息化 局 和北京市水 务局组织实施 。 本文件起草 单位 ：中 国航空综合技 术 研究所、 中 芯 北方集成电路制造（北京） 有限公司、 北京 燕东 微 电 子有限公司、赛莱克斯微系统科技 （北京） 有限公司、瑞萨半 导 体 (北京 )有限公司、威讯联合半 导 体 (北京 )有限公司、 中 芯国际 集成电路制造 (天津 )有限公司、 北京市 通州区 水资 源 与 节约 用水 事务 中 心、 中 国 标准化 研究院

4、 。 本文件 主 要起草 人 ： 贾爱娟、李鹤、李亚健、马传辉、 冯 铁 成 、 崔妍 、 蔺增金 、 葛明 、 赵延明 、 徐 伯珺 、 魏会敏 、 齐红 、 王雨欣 、 王雪琪 、 翟光耀 、 王晶 、 白 雪 、 白 岩 、 胡梦婷 。 DB11/T 1764.8 2021 1 用水定额 第 8部分：集成电路 1 范围 本文件规定了集成电路用水定额的计算方法 、 用水定额和管理要求。 本文件 适 用 于 集成电路制造企业的用水管理。 2 规范性引用文件 下 列 文件中的 内容 通 过 文中的规范性引用 而 构成本文件 必不可少 的 条款 。 其 中 ，注日期 的引用文件 ， 仅该日期对应

5、 的 版 本 适 用 于 本文件； 不注日期 的引用文件 ，其最新版 本（ 包括 所有 的 修改 单 ） 适 用 于 本 文件。 GB/T 12452 企业水 平衡测试 通 则 DB11/T 343 节 水 器具应 用 技 术标准 DB11/T 1769 用水 单位 水计 量 与 统 计管理规范 3 术语和定义 下 列 术语和定义 适 用 于 本文件。 芯片制造 chip manufacturing 将硅片 制成集成电路 芯 片 成品的 过程 。 注： 芯 片 制造工 艺过程 主 要 包括硅片 研 磨 、 清 洗、 薄膜 电 极 、 均胶 、 光刻 、 显影 、 刻蚀 （ 包括干 法 刻蚀 和

6、 湿 法 刻蚀 ） 、 扩散 /离 子 注入 、 气相沉积 （ 包括物 理 气相沉积 （ PVD）和化 学气相沉积 （ CVD） 、 金 属 化 、 化 学 机 械抛 光 (CMP) 等 ， 经 过 多次类似 的工 艺 加 工 过程， 形 成 晶 体 管 等元 器 件 图形 结构 ， 并通 过金 属 化 连接 以构成 某种预 期 的 功能 ， 通 过测试最 终 成 为 集成电路 芯 片 成品。 封装 package 将 集成电路 芯 片 封装 成集成电路成品的 过程 。 注： 封装 工 艺过程 主 要 包括对晶 圆 成品 进行来 料 检查 、 贴 膜 、 磨片 、 贴 片 、 划 片 成 为

7、单芯 片， 并 对 单芯 片 进行装 片 、 键 合、 塑封 /固 化 、 打印 /切筋 、 切割 、 引 线 电 镀 ， 通 过测试 检验 最 终 成 为 集成电路成品。 4 计算方法 取水水源 DB11/T 1764.8 2021 2 取 水水 源 包括 自来 水 、 自备井 水 、 市 政再 生 水 ， 以 及从 市 场 购得 的 其 他 水 或 水的 产 品（ 如蒸汽 、 热 水 、地 热 水 等 ）。 取水量供给范围 4.2.1 集成电路 取 水 量包括 芯 片 制造 取 水 量 和 封装取 水 量 。 4.2.2 芯 片 制造 取 水 量 的 供给 范围 包括 主 要 生 产 用水

8、（ 包括 工 艺 设备 用水 、 工 艺 冷却 用水 等 ） 、 辅助 生 产 用水（ 包括 废 气 洗 涤塔 用水 、 POU净 化 循环 系统 用水 、 冷却塔补 水用水 、空 调 系统 用水 等 ）和附 属 生 产 用水（ 包括 办 公生活 用水 、食 堂 用水 、 绿 化用水 等 ） ，不包括 外供 水 、 基建 用水 、 消防 用水和 生活 区 用水。 4.2.3 封装取 水 量 的 供给 范围 包括 主 要 生 产 用水（ 包括 工 艺 设备 用水 、 工 艺 冷却 用水 等 ） 、 辅助 生 产 用水（ 包括 冷却塔补 水用水 、空 调 系统 用水 等 ）和附 属 生 产 用水（

9、 包括 办 公生活 用水 、食 堂 用水 、 绿 化 用水 等 ） ，不包括 外供 水 、 基建 用水 、 消防 用水和 生活区 用水。 单位产品取水量 单位 产 品 取 水 量 按 式 （ 1）计算： i ui V V Q = （ 1） 式 中： Vui 单位 产 品 取 水 量， 芯 片 制造 产 品 单位 为立 方 米每 片 （ m 3 /片 ） ， 封装产 品 单位 为立 方 米每万 块 （ m 3 /万块 ）； Vi 在一 定计 量 时间 内 的 取 水 量， 单位 为立 方 米 （ m 3 ）； Q 在同一 计 量 时间 内 的 合 格产 品 产 量， 芯 片 制造 产 品 单位

10、为 片， 封装产 品 单位 为万块 。 5 用水定额 表 1规定了集成电路用水定额。 表 1 集成电路用水定额 产 品 类别 产 品规 格 单位 单位 产 品 取 水 量 先进 值 a 通 用 值 b 芯 片 制造 产 品 c 65nm及 以 上 线 宽 m 3 /片 7.2 8.6 60nm 20nm线 宽 m 3 /片 8.1 11.5 封装产 品 - m 3 /万块 4.6 6.4 a 先进 值 用 于新 建 （ 改 建 、 扩 建 ）企业的水资 源 论证 、 取 水 许 可 审批 和 节 水 评价 。 b 通 用 值 用 于 现 有 企业的 日 常 用水管理和 节 水 考核 。 c 芯

11、 片 制造 产 品是 指 300mm（ 12英寸 ） 芯 片 制造 产 品。 6 管理要求 DB11/T 1764.8 2021 3 再 生 水 输配 水管 线 覆盖 地区 内， 满足使 用要求的 ，应 使 用 再 生 水。 用水计 量器具 的 配 备 和管理 应 符 合 DB11/T 1769的要求。 企业水 平衡测试应 符 合 GB/T 12452的要求。 节 水 型 生活 用水 器具应 符 合 DB11/T 343的要求 ， 安 装 率 应 达到 100%。 集成电路制造企业 应 每 年 统 计用水信息 ， 年度用水信息 统 计 参见 附录 A。 DB11/T 1764.8 2021 4

12、 A A 附录 A （资料性） 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 见 表 A.1。 表 A.1 北京市集成电路制造企业年度用水信息表 填 表 日期 ： 年 月 日 单位 名称 填 表部 门 水 量 计算起 止 时间 联系人 联系 电 话 一、基本信息 产 品 名称 产 品规 格 投 产时间 占 地 面 积 m 2 职 工 人 数 人 建 筑面 积 m 2 产线 数 条 绿 化 面 积 m 2 年 产能 片 （ 万块 ） 宿舍面 积 m 2 本年度年 产 量 片 （ 万块 ） 下 一 年计 划产 量 片 （ 万块 ） 二、设施情况 循环冷却 水 设备 有 无 循环 利 用 率 % 废 水 处 理 设 施 有 无 设 计 处 理 量 m 3 /d 实际 年 废 水 总 量 m 3 废 水 处 理 回 用 率 % 雨 水 收 集 利 用 设 施 有 无 蓄 水 池 容积 m 3 三、用水信息 分水 源 年 取 水 量 自来 水 m 3 分用 途 年用水 量 主 要 生 产 用水 m 3 自备井 水 m 3 辅助 生 产 用水 m 3 市 政再 生 水 m 3 附 属 生 产 用水 m 3 其 他 m 3 外供 水 m 3 总 计 m 3 总 计 m 3 四、备注 （单位盖章）