DB34 T 4099-2022 平板显示用剥离液精馏法再生利用技术要求.pdf

1、 ICS 13.030.30 CCS Z 23 34 安徽省地方标准 DB34/T 40992022 平板显示 用剥离液 精馏法再 生利用 技术要求 Technical requirements for regeneration and utilization of stripper distillation method for flat panel display 2022-03-29 发布 2022-04-29 实施 安徽省市 场监督 管 理局 发 布 DB34/T 40992022 前 言 本文件 按照GB/T 1.12020 标准 化工 作导则 第1 部分：标准化 文件 的结构 和起

2、草 规则 的规 定起草。请注意 本文 件的 某些 内容 可能涉 及专 利。本文 件的 发布机 构不 承担 识别 专利 的责任。本文件 由合 肥茂 腾环 保科 技有限 公司 提出。本文件 由安 徽省 节能 减排 及循环 经济 标准 化技 术委 员会归 口。本文件起草 单位：合 肥茂 腾环保科技 有限公司、安徽理工大学、安徽省质量和标准化研究院、安徽省产品 质量 监督 检验 研究 院、安徽省合肥市庐江县生态能源局、绵阳茂睿环保有限公司。本 文 件主 要起 草人：倪进娟、冯 卫文、王 浩、黄崑 成、孙志 龙、鲍大 利、罗唐 富、李孟 婷、季立 仁、徐镇。I DB34/T 40992022 平 板显示

3、 用剥离液 精馏法 再生利用 技术要 求 1 范围 本文件 规定 了平 板显 示用 剥离液 精馏 法再 生利 用技 术的原 料、技术 要求、污 染 控制要 求和 安全 要 求。本文件 适用 于平 板显 示用 溶剂系 剥离 液精 馏法 再生 利用。2 规范性 引用 文件 下列文 件中 的内 容通 过文 中的规 范性 引用 而构 成本 文件必 不可 少的 条款。其 中，注日 期的 引用 文件，仅该日 期对 应的 版本 适用 于本文 件；不注 日期 的引 用文件，其 最新 版本（包 括所有 的修 改单）适 用 于 本文件。GB/T 3143 液体 化学 产品颜 色 测定 法(Hazen单位 一铂-钴

4、色 号)GB/T 6283 化工 产品 中水分 含 量的 测定 卡尔.费 休法(通用 方法)GB/T 9722 化学 试剂 气相 色 谱法 通则 GB 12348 工业 企业 厂界 环境噪 声排 放标 准 GB 16297 大气 污染 物综 合排放 标准 GB 18597 危险 废物 贮存 污染控 制标 准 GB 18599 一般 工业 固体 废物贮 存和 填埋 污染 控制 标准 GB 50160 石油 化工 企业 设计防 火规 范 HJ 2025 危 险废 物收 集、贮 存、运输 技术 规范 HG/T 20559.1 管道仪表流程图设计内容及深度的规定 HG/T 20559.2 管道仪表流程

5、图设备图形符号 HG/T 20559.3 管道仪表流程图管道和管件图形符号 HG/T 20559.4 管道仪表流程图管道编号及标注 HG/T 20559.5 管道仪表流程图物料代号和缩写词 HG/T 20559.6 管道仪表流程图隔热、保温、防火和隔声代号 HG/T 20559.7 管道仪表流程图设备位号 HG/T 20570.1 设备和管道系统设计压力和设计温度的确定 HG/T 20570.2 安全阀的设置和选用 HG/T 20570.5 泵的系统特性计算和设备相对安装高度的确定 HG/T 20570.6 管径选择 HG/T 20570.8 气-液分离器设计 HG/T 20580 钢制化工容

6、器设计基础规定 SJ/T 11637 电子 化学 品 电感耦 合等 离子 体质 谱法 通则 3 术语和 定义 下列术 语和 定义 适用 于本 文件。1 DB34/T 40992022 3.1 剥离 stripping 使用溶 液来 剥除 玻璃 基板 上光刻 胶的 工艺 过程。3.2 剥离液 stripper 用于剥 离玻 璃基 板上 光刻 胶的溶 液。3.3 剥离液 废液 waste stripping 剥离液 使用 至无 法满 足剥 离要求 时的 废弃 溶液。主 要含有 机溶 剂、少量 的光 刻胶、水、金属 离 子 杂质等。3.4 再生利 用 recycling 通 过 对废 液进 行处 理

7、将其 中 有价 值的 物料 集中 回收 后，成为 可再 利用 的物料 的 过程，不包 括对 能量的回 收和 利用。4 原料 剥离液 废液。5 技术要 求 基本要 求 5.1 5.1.1 平板显示用剥离液精馏法再生利用相关的总平布置应满足 GB 50160，化工容器设备应按照 HG/T 20580 相关 规定 设计、设 备与 管道 系 统涉 及温度 和 压力 应按 照 HG/T 20570.1、HG/T 20570.2、HG/T 20570.5、HG/T 20570.6、HG/T 20570.8 相关规定设计、管道仪表流程图应按照 HG/T 20559.1、HG/T 20559.2、HG/T

8、20559.3、HG/T 20559.4、HG/T 20559.5、HG/T 20559.6、HG/T 20559.7 对乙 类可 燃液体的相关 规定 设计。5.1.2 平板显 示用 剥离 液精 馏法 再生利 用过 程中 废物 收集、贮存、包 装、运输 应满 足 HJ 2025 的规定。5.1.3 平板显 示用剥 离液 精馏法 再生利 用过程 中危 险废物 的贮存 容器、贮存 设施的 选址与 设计原 则、贮存设 施的 运行 和管 理、安全防 护与 检测 等应 满足 GB 18597 的规 定。5.1.4 精馏法 再生 技术 对有效 组分 的 回收 得率 应不 小于 90，残 液的 排放 数量

9、应小于 4 倍光 刻胶 的含量。5.1.5 应控制 系统 运行 温度 在设 定温度 的 3内，压 力在 设 定压 力的 5 mmHg 内。5.1.6 整个系 统配 备氮 气保 护系 统。5.1.7 保证系 统真 空度、温 度满 足精馏 要求，冷 却水 应宜 采用7 低温 水冷。工艺流 程 5.2 再 生 工艺 流程 如下图 1 所示。2 DB34/T 40992022 图1 废液再 生利 用工 艺流 程图 工艺流 程技 术要 求 5.3 5.3.1 过滤 剥离液 废液 经不 小于50目 的过滤 器过 滤，滤出 的固 体杂质 作为 危废 交由 有资 质单位 处理。5.3.2 蒸发 经过过 滤的

10、剥离 液废液 进入 蒸 发器 蒸发，蒸发 的气相 再 进入 一级 精馏 塔。宜采 用 列管 式蒸 发器，应保持蒸 发器 液位 不低 于2/5到1/2 液位 高度。蒸 发器 定 期排放 残液 数量 应不 大于 废液中 光刻 胶含 量的3倍。残液符 合条 件可 继续 进入 残液蒸 发器 蒸发，进 一步 提高得 率。否则 作 为固 废交 由 有危 废处 理资质单位处理。5.3.3 一级精 馏 蒸发后 的气 相进 入一 级精 馏塔，精 馏塔 高位 槽至2/5 到1/2 液 位时，打开 回流，在 此 过程 中一 级精馏塔液位 逐渐 升高，逐步 加 大一级 精馏 塔再 沸器 供热 量，在塔 釜液 位升 高

11、至2/3 到4/5 时，将塔 釜液 打至 二级精馏 塔。控 制精 馏塔 温 度、压力 等工 艺参 数，进行 减压精 馏，脱 除废 液中 的 轻组分（水、低沸 点杂 质）杂质，经冷 凝收 集入 高位 槽，进 入高 位槽 的溶 液后 作为废 水处 理。一级 精馏 的温度、压 力、回 流 比 区 间宜为：50 160；100 mmHg 140 mmHg；（13）：1。5.3.4 二级精 馏 3 DB34/T 40992022 经泵输 送至 二级 精馏 塔的 塔釜 液，精馏 塔塔 釜至2/5到1/2 液位 时，逐步 加大 二 级精馏 塔再 沸器 供热量，当 精馏塔 高位 槽至2/5到1/2液 位时，打

12、开 回流，全回流1h，系 统稳 定运行1 小时后，打开 出料，控制进料 和采出 平衡，精馏 过程中 严格控 制温 度、压 力、回 流比等 工艺 参数，经精馏 脱除金 属离 子杂 质、极 少 量的 光刻 胶和 有机 物重 组 分杂 质后，经冷 凝收集 得 到冷 凝液。冷凝 液待分 析。二级 精馏 塔塔 釜物料根据温 度应 定期 排放 残液。二级精 馏的 温度、压 力、回 流比区 间宜 为：120 170、55 mmHg160 mmHg、回流比（2 5）：1。5.3.5 残液蒸 发 蒸发和 二级 精馏 塔塔 釜排 出的残 液（主要 组成 为：光刻胶、有 机组 分、金 属 离子以 及水 等），经检验

13、残 液中 的有 机组 分50 时，则可 进入 残液 蒸发器 继 续回 收有 机组 分，如未 达 到要 求，则作 为固 废交 由 有危 废处 理资 质单 位处 理。残液 蒸发 冷凝 液作为 原 料进 入剥 离液 废液 储罐，待 下次 生产。残液 蒸发温度压 力范 围宜 为：160 200、80 mmHg 100 mmHg。5.3.6 分析 按 GB/T 3143、GB/T 6283、GB/T 9722、SJ/T 11637 对二级 精馏塔 塔顶冷 凝液 的色度、水分、有机组分 含量、金 属离 子含 量 进行分 析。分析 结果 符合：色度应不 大于 20 度，水分含 量 应不 大于0.10，有效

14、有 机组分含量应不小于 99.00；金属 Li、Na、Mg 等 应不大于40 ug/L，则为电 子级再生剥离液，泵入电 子级 再生 剥离 液储 罐。5.3.7 不合格 回用 检测不 合格 品则 切换 回剥 离液废 液罐 中供 再次 生产。6 污染控 制要 求 废气宜经 吸收处理 后应按 照企业取 得的排污 许可证 或环评批 复中相关 要求标 准排放。可参 照 GB 6.1 16297 的规定 执行。废水经 预处 理后 应按 照企 业取得 的排 污许 可证 或环 评批复 中相 关要 求标 准排 放。6.2 噪声按 照 GB 12348 的规定执行。6.3 一般工 业固 体废 物处 置按 照 GB

15、 18599 的 规定 执行；产生的 残液 等危 废贮 存应 按照 GB 18597 的 规 6.4 定执 行。7 安全要 求 再生剥 离液属 于乙 类可燃 液体，生产、包装、储存、运输 过程中 应严 格遵守 国家有 关危险 品 的 消 7.1 防、安 全条 例。再生剥 离液储 存地 点应干 燥、通 风、远 离火 源及其 他危险 品或禁 配物，避免 阳光直 射，应 具 备 消 7.2 防器材 和救 护设 施。再生剥 离液应 避免 明火、曝晒以 及与有 机物、金属 粉末等 接触。当用 槽车运 输时，不应在 容 器 附 7.3 近抽烟 或动 用明 火。如被再 生剥 离液 灼伤 皮肤 应立即 用大 量水 冲洗，并 立即就 医。7.4 4 DB34/T 40992022 再生剥 离液运 输须 使用有 资质的 危险化 学品 运输承 运。运 输工具 应清 洁、卫 生，不 应与有 毒、有 7.5 害、有 腐蚀 性、易挥 发或 有异味 的物 品混 装运 输。再生剥 离液储 存地 点应干 燥、通 风、远 离火 源及其 他危险 品或禁 配物，避免 阳光直 射，应 具 备 消 7.6 防器材 和救 护设 施。5