QJ 2861-1996 氦质谱检漏最小可检漏检验方法.pdf

1、L.I 中国航天工业总公司航天工业行业标准QJ 2861-96 氨质谱检漏最小可检漏率检验方法1996-12-30发布1997-07-01实施中雪航天工业总公司发布中型航天工业总公司黠天工业行业提准QJ 2861-96 氧层i彗检漏最小可捡漏率检验方法1范围1.1 主题内容本标准规定了氮质i普检漏最小可检漏率的检验原理、检验仪器设备、检验条件、检验步骤、数据处理和检验文件等。1.2 适用范围本标准适用于氮质谱检漏时在检漏状态下最小可检漏率的草草定。2 引用文件GB岳308.1橡胶密封真空规营接头GB岳308.2金属密封真空规管接头QJ 2675.l 低温容器夹层真空度试验方法3 定义本章无条文

2、。4 -I量要求4.1 位验原理在检漏状态下，通过漏孔的示漏气体进入检漏仪进行显示对，最小可检信号所代表的漏孔漏率部为检漏最小可检漏率，后Q,表示。检验方法有4种：a. 真空法，其示意图见IE1; b. 压力一真空法，其示意图见图2; 吸检法，其示意图见IE3; d. 吸检累积法，其示意愿觅茵4o4.2 检验场地环绕a. 温度：1030；b. 相对湿度：小于75%;中国航天工业总公司199币一口30批准1997-07-01实施I l ，、. 主图1真空法检验示意图1一检漏仪；2被检件；3真空规：4渗氮型标准漏孔；5扩散泵；6革E抱阂，7租抽泵l , , 3 4 因3吸检法检验示意图I检漏仪；2

3、吸枪；3被撞件4氯气源；5正压校准毒草孔5 4 QJ 2861-96 2 3 4 图2压力真空法检验示意图I 检漏仪；2真空室；3被检件；4 渗氮型标准禄孔，5氯气源；6手动截止凋；7租抽泵，8桓抽间, . 3 4号004 吸枪累积法检验示意图5 6 7 I淦漏仪，2吸抢；3正压校推漏孔或定量氮气量，4集氮罩，5撞撞件；65在扇；7氮气源c. 无强电磁场干扰、无剧烈振动、无腐蚀气体；d. 环境通风平稳，氮本底要低。4.3 检验仪器及设备4.3. l 捡漏仪检验仪的最小可检漏率应满足被检件的漏率要求。4.3.2 漏率校准装置2 QJ 2861一%a. 应备有标准漏孔和正压校准漏孔；起在吸检累积法

4、中，应备有使检漏仪显示出不少于噪声的510倍信号的定量氮气量装置； 渗氮型标准漏孔、正压校准漏孔和定量氮气量装置应定织检定，并在有效期内使用。定量氮气量值误差小于1%。4.3.3 真空机组a. 真空主11.纽选用油扩散泵机组或涡轮分子泵机组；毡，真空机组的极限真空度优于510-pa; 真空机组的抽速银据被检容器大小、拍气阀通径及拍气时间合理选定。4.3.4真空计a. 真空i十的量程和精度应符合QJ2675.1中5.2.2.1条表1的规定；如真空计定期检定合格，并在有效期内使用。4.3.S 稳抽泵a. 粗抽泵一般选用机械真空泵；粗主主泵极限真空度优于5101Pa，饱速按4.3.3条中C项的规定合

5、理选定。4.3.6租抽阀袒抬阀一般选用草草率小于被检件允许漏率1%的真空瓣。4.3.7 抽气管路a. 抽气管路上安装标准漏孔和真空妮管的接头可参照GB6308.1或GB6308.2的规定；b. 拍气管路漏率一般小子被检件允许漏率的！%；c. 拍气管路与被检件连接一般采用金属软管。4.3.8吸枪吸枪应保持清洁，吸气孔畅通，调节灵活。4.4检验条件a. 备有三相和单相供电插座，电压稳定度10%; b. 备有大气压力和环境温度检测仪器；c. 仪器设备运转正常；d. 备有满足要求的氮气和氮气；e. 备有氮气加压装置（由所需压力而定）；f. 检验人员上岗前应考核合格。5详细要求5.1 检验前准备5.1.

6、1 被检件应进行清洁处理。S.1.2 连接被检件的管道和检漏装置总漏率一般应小于被检件允许漏率的1%o5.1.3 根据被检件特点和要求，可选用如图1囹4表示的方法进行校准。3 QJ 28“-96 5. I .4 检小型被检件时可直接用检漏仪自带标准漏孔校准。5.1.5检中、大型被检件时应外接粗抽泵或真空机组，将检漏仪按在机组前级管路或高真空部位，标准漏孔应接在被检件上校准；若被检件无连接标准漏孔的位置，则应把标准漏孔按在拍气口附近的插气管路上校准。5.1.6 正式检测前仪器应充分预热，直至每个检验周期内漂移可以忽略。5.1. 7 应尽量模拟工况校准。5.1.8 漏率不确定度一般应小于或等于50

7、%05.2检验程序s.2.1 捡漏量，如可检漏率约栓验步骤5.2.1.l 真空法的检验步骤如下：a. 接检漏仪使用说明书，校准出检漏仪本身的最小可检漏率，以判断仪器是否工作正常；b. 用租主主泵或真空机组将被检伶抬到所需要的真空度；c. 部分开启或全开启检漏仪节流阀，关小或全关闭前级真空泵抽气阂，使质谱室维持在正常的工作压力；d. 待全部检验系统处于检漏状态后，读出检漏仪输出本底Io和噪声In; 读出标准漏孔标称值比；f. 事露出标准漏孔施氮后在输出表上的稳定指示I; g. 如果所施氮气非一个标准大气压的纯氮，要进行压力修正05. 2 .1.2 压力一真空法的检验步骤与真空法相筒。5.2.1.

8、3 吸检法的检验步骤如下：a. i可5.2.Ll条中的a项带满好的吸检；b. 读出检漏仪输出本底Io和噪声In; c. 用吸枪对正压校准漏孔进行模拟检漏，读出检漏仪输出表最大指示值Io5.2.1.4 吸枪累积法和检验步骤如下：a. j司5.2.l.1条中的a项带满好的吸枪；b. 用权氮罩将被检件罩住并密封好；c. 罩内泪满足要求的氯气置换；d. 读出检漏仪输出本底儿和噪声In; e. 用积氮罩上安装的正压校准漏孔施氮或在罩内放置定量氮气量的方法施氮；f. 军内气体用风窥搅拌均匀；g. 正压校准漏孔按规定累积时间t:.t累积，用定量氮气量校准则不需要累积对间。h. 在罩内用吸枪探测，读出t:.t

9、时间后韵检漏仪输出表指示值I，或者测出定量氮气量时的指示值。当需要重复检验时，应先排除积量在罩内累积的氮气。5.2.2 检验后检查a. 检漏前和检验到才应保持检漏仪工作状态一致；4 QJ 2861-9岳应复校检漏最小可检漏率，并在检验前后应保持一致。5.2.3 给验中新处理检验中断后应从5.2.1条开始重新检验。5.3数据处理5 .3.1 真空法最小可检漏率按公式1计算：In = Q。川I - I0 式中：Q，一检漏最小可检漏率，Pam3/s;人一一噪声或最小可读信号，v、Pam3/s或相对单位格沁人本底，V、Pam3/s或相对单位（格；I 输出表指示值，V、Pam3/s或相对单位（格；Qn

10、渗童在型标准漏孔标称值，Pam3/so当采用遥遥型标准漏孔对，若示漏气体非纯氮，应将标准漏子L净输出信号修正为1个1 10 标准大气压的纯氮信号后，方可代入公式，修正系数为，其中氮分压力P性的单位P，公为Pao5.3.2 压力一真空法最小可检漏率按5.3.l条进行计算c5.3.3 吸枪法最小可检漏率按公式2计算：= _!_._Q。.I - I0 式中：Q。正压校准漏孔的标称漏率值，Pa皿3/so5.3.4 吸抢累积法最小可检漏率计算有二种方法：a. 当用正压校准漏孔校准时按公式2计算；b. 当F吕定量氮气量校准对按公式3计算：Q = _!_._ _!_ .， I - I 0 D.t 式中：q一

11、一定量氮气量，Pam3;.6t 检漏时累积时间，Sc校准时，定量氮气量反应值不需要累积，旦检漏最小可栓漏率Q，却与检漏累积时间占有直接关系，不同的累积时间对应不同的Q,o5.4 检验文件5 QJ 2861-96 5.4. l 毯验记录内容一般包括：检验日窃、当地大气压力、环境温度、仪器设备编号及公式13中出现的参数值和检验人员等。5.4.2徨验报告6 a. 产品名称、型号规格、产品编号、出广日期；b. 受检单位； 检验类别、检验依据；d. 检验条件； 检验结果和结论；f. 检验人、复验人、审核人、日期。附加说明：产本标准由中国航天工业总公司七0人所提出。本标准由中国航天工业总公司五院五o所负责起草。本标准主要起草人：曹t真诚、冯毅明、刘煌。咱WAt嗡N。中国航天工业总公司航天工业行业标准氨质潜栓漏最小可检漏率检验方法QJ 2861-96 中国航天工业总公司第七。八研究所出题发行七OA所排版司3毒自1997年7月出放定价：2.00元