GB T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件.pdf

1、中华人民共和国国家标准多探针测试台通用技术条件国家技术监督局 批准 实施主题内容与适用范围本标准规定了多探针测试台以下简称探针台 的术语技术要求试验方法检验规则 包装贮存等要求本标准适用于手动半自动全自动多探针测试台 其他类型的探针测试台亦可参照使用引用标准包装储运图示标志出口机械电工仪器仪表产品包装通用技术条件电工成套装置中的导线颜色电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色噪声源声功率级的测定简易法设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案机床电气设备通用技术条件运输包装收发货标志术语探针台利用金属探针将晶片上芯片的电极与测试仪联接以完成芯片电参数中间测试的设备手动探针台

2、操作步骤全部由人工完成的探针台半自动探针台能自动完成除图像识别自动对准之外的所有其他探测步骤的探针台全自动探针台能自动完成包括图像识别自动对准在内的所有探测步骤 并具有多种功能的探针台探针具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针测试支架可在一定范围内分别调节探针的 向距离用以安装固定探针的部件探针卡根据被测芯片电极所需探针的数量及布局将探针对应固定于一块基板上的卡片探边器用来探测探针是否已测至被测晶片边缘的部件打标记器给性能参数不合格的芯片打上标记的部件矩阵控制方式用键盘或拨码开关输入 方向的图形数目及图形间距 用以控制工作台的移动产品分类按探针台的自动化程度可分为手动探针台半自动探针台全自动探

3、针台技术要求一般要求探针台上指示润滑 操作安全等的标牌或标志应符合有关标准的规定探针台一般应有测试完毕后的自动回零 停机报警等功能导轨轴承齿轮等运动部件应润滑良好 各润滑部位应在具体产品说明中明确规定探针台测试控制方式一般应具有矩阵控制方式和探边器控制方式使用条件探针台应能在下列使用条件下正常工作环境条件温度相对湿度 不大于空气洁净度 优于 级供电条件外观要求探针台外表面不允许有凸起 凹陷毛刺 粗糙不平和其他损伤现象外表喷漆颜色均匀 色调一致 平整光滑不得有脱落 龟裂流挂 起泡划痕及误喷等现象 套色不得相互污染电镀及化学涂覆的零件表面应光滑无斑点锈蚀起泡脱层及明显划痕等缺陷操作面板及各种标牌应

4、清晰耐久 其中的刻线数字文字和图形符号等标志应正确均匀并有涂色工作台精度要求步进工作台 向的垂直度应在具体的产品标准中规定其值不得大于步进工作台的定位精度应在具体的产品标准中规定 其值不得大于步进工作台行进分辨率应在具体的产品标准中规定 其值不得大于步进工作台重复精度应在具体的产品标准中规定其值不得大于承片台承片台在高位时吸盘端面圆跳动应不大于 包括吸盘回转及承片台沿 向移动时的示值误差承片台重复精度应在具体产品标准中规定 其值不得大于承片台 向行程应能在不小于 的范围内可调承片台回转角度应不小于测试支架调节范围向不小于向不小于向不小于探边器的调节范围向不小于向不小于向不小于打标记器的调节范围

5、向不小于向不小于向不小于上下片机构上下片输片机构传送应灵活 平稳 准确预定位应准确 可靠 定位角度 应不大于机械手吸片应牢固 动作平稳 准确自动对准机构探针台自动对准时间不大于探针台自动对准精度应不大于电气控制系统向步距范围 一般为印制线路板与相应插座应接触可靠不得有错位 卡死等现象同一型号的探针台其相同印制线路版应能机间互换 并保证互换后电气性能和逻辑功能的正确导线颜色应符合 的规定指示灯和按钮的颜色应符合 的规定内部走线应用线卡或线糟等结构件固定 并紧贴电气箱壁而走线 不得悬浮或空中飞线线路完整绝缘层无破裂 无漏电现象导线安装不得产生机械拉力 外部移动导线应附设在耐腐材料的管内 以免损伤需

6、要从机箱中抽出的部件 其连接导线应留足够余量元器件或电气部件等电气项目应按规定标记项目代号并与相应图纸一致导线端应按规定标记噪声探针台空载运转时其噪声应小于振动探针台运转时其振幅在 三个方向均应小于可靠性要求探针台平均无故障时间 的 项值 不小于 平均维修时间 不大于安全要求探针台必须设置接地螺钉和明显的接地标志动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻不得小于成套性要求制造厂提供探针台时应包括主机附件易损件备件和随机技术文件以及满足合同规定的其他技术要求 附件 备件和随机技术文件应在具体产品说明中明确规定和说明制造厂提供探针台时必须随机供给维修指导文件试验方法一般检查按设计文件产品说明书等有关技术

7、文件并实际操作探针台对照检查外观检查用目测法对探针进行外观检查工作台精度测试用标准角尺和分度值为 的电感化比较仪在针盘下有效测试区检测步进工作台向的垂直度用 级量块和分度值为 的电感比较仪在 向的有效区间内检测探针台步进工作台定位精度用分度值为 的电感比较仪检测探针台步进工作台行进分辨率用分度值为 的电感比较仪在 向的有效测试区间内检测探针台步进工作台的重复精度 测量次数 记录每次电感比较仪示值 按公式 求出算术平均值 再按公式 求出均方差 取 作为步进工作台的重复精度承片台测试用分度值为 的电感比较仪在有效测试区间内检测探针台承片台吸盘在高位时的圆端面跳动承片台的重复精度检查方法按本章 条用

8、百分表和钢板尺检测承片台的 向行程开机实际操作用角度尺检查承片台的回转范围测试支架测试实际操作用目测法检查测试探头在 三个方向的调节范围在 倍显微镜下逐个检查针头移动过程的稳定性探边器检查实际操作用目测法检查探边器在 三个方向的调节范围打标记器检查实际操作用目测检查打标记器在 三个方向的调节范围上下片机构检查开机实际操作用目测法检查上下片机构自动对准机构测试开机操作用秒表检测自动对准时间用 倍的读数显微镜检测自动对准精度电气控制系统测试任选 个步距用钢板尺百分表检查步距范围用目测法检查印制线路板与插座的接触情况任选两台同一型号的探针台互换印制线路板后 开机检查印制线路板机间互换性用目测法检查导

9、线颜色用目测法检查指示灯和按钮的颜色用目测法检查导线装卡走线情况用目测法检查导线是否承受机械拉力并检查外部移动导线的敷设情况抽出机箱中的部件用目测法检查连接导线是否留有足够的长度用目测法对照图样检查电气项目代号的标记是否合理 清晰牢固用目测法对照图样检查导线标记情况噪声测试探针台空载运转 按 规定的方法测量整机的噪声振动测试开机运行 将测振计置于主机台面上 检测整机振动情况可靠性试验探针台的可靠性按 中规定的定时截尾试验方法检查方案编号为 截尾时间为截尾失效数为安全试验用目测法检查有无接地螺钉及标志情况用 兆欧表测试动力电路与保护电路之间的绝缘电阻按 第 条的有关规定检测探针台的耐压情况对照具

10、体产品标准 说明书和供货合同检查设备是否齐套检验规则检验分类定型检验交收检验例行检验定型检验探针台在设计定型和生产定型时 应通过定型检验定型检验的项目按表 规定进行表序号 试验项目 技术要求条 目 试验方法条 目 定型检验 交收检验 例行检验一般要求 条 条 外观要求 条 条 工作台精度要求 条 条 承片台 条条测试支架 条 条 续表序号 试验项目 技术要求条 目 试验方法条 目 定型检验 交收检验 例行检验探边器的调节范围 条 条 打标记器的调节范围 条 条 上下片机构 条条自动对准机构 条 条 电气控制系统 条 条 噪声 条 条 振动 条 条 可靠性要求 条 条 安全要求 条 条 成套性要

11、求 条 条 注表示该类检验中应进行的检验项目定型检验的样品数量为 台检验中出现故障 或某项目不合格时应停止检验 待查出发生故障的原因 排除故障并提出故障分析报告后重新进行该项检验 若在以后的检验中再次出现故障 或某项目不合格时 在停止检验待查明故障原因排除故障并提出故障分析报告后 重新进行检验交收检验交收检验由生产单位质量检验部门负责进行批量生产或连续生产的探针台 每台都应进行交收检验方可出厂交收检验的项目按表 规定进行交收检验中出现任一故障时 应停止检验 待查出故障原因 排除故障后重新进行检验 重新检验后再次出现故障则该探针台判为不合格例行检验正式生产的探针台至少每隔两年应进行例行检验 当材

12、料工艺有较大改变或影响产品性能时也应进行例行检验例行检验由生产单位质量检验部门负责进行例行检验的项目按表 规定进行例行检验的样品应在交收检验合格的产品中随机抽取 其数量应不少于 台检验中出现故障 或某项目不合格时应查明故障原因 排除故障后继续进行该项检验 若在以后检验中再次出现故障或某项目不合格时在停止检验查明故障原因排除故障后 重新进行例行检验 重新进行例行检验又出现某一项目不合格时 则判例行检验不合格标志包装 运输贮存标志探针台的指示控制操作等部分应有表示各功能名称 位置状况方向接地指示警告等标志探针台应有铭牌 并应固定在设备明显部位 铭牌上至少应标出下列内容产品名称产品型号或标记制造厂名

13、称制造日期或日期代号出厂编号包装探针台的包装应符合 中 箱装 防潮包装 及 防震包装 的规定探针台的包装箱上应按 的规定 至少应标上 小心轻放 向上 怕湿 重心点由此起吊五种包装储运图示标志探针台的包装箱上应按 的规定至少标出 品名规格 重量 体积 收发货地点和单位 运输号码运输探针台在运输过程中应平稳 避免大于 的冲击加速度贮存探针台必须放在防潮防尘风通良好的室内不得露天存放 贮存期间每半年抽查一次 一年后全面检查一次清除锈迹和霉斑 然后封箱贮存附加说明本标准由中华人民共和国电子工业部提出本标准由电子工业部标准化研究所归口本标准由电子工业部平凉半导体专用设备研究所负责起草本标准主要起草人何继红 赵志扬 廖温初