GB 50611-2010 电子工程防静电设计规范.pdf

1、S/N: 1580177.499 统一书号，1580177 499 定价，12.00元lJ UDC P 中华人民共和国国家标准19 GB 50611 - 2010 电子工程防静电设计规范Code for design of protection of electrostatic discharge in electronic engineering 2010 - 07 -15 发布2011 - 02 -01实施中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局联合发布中华人民共和国国家标准电子工程防静电设计规范Code for design of protection of

2、electrostatic discharge in electronic engineering ii!; GB 50611 - 2010 主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2 0 1 1 年2 月1 日中国计划出版社JT-北2010 中华人民共和国国家标准电子工程防静电设计规范GB 50611-2010 女中华人民共和国工业和信息化部主编中国计划出版社出版(地址t北京市西城区木樨地北里甲11号国宏大厦C座4层(邮政编码:100038电话:6390643363906381) 人/新华书店北京发行所发行世界知识印刷厂印刷850 X 1168

3、毫米1/32 2印张45千字2010年12月第1版2010年12月第1次印刷印数1-8000册女统一书号:1580177 499 定价:12.00元中华人民共和国住房和城乡建设部公告第672号关于发布国家标准电子工程防静电设计规范的公告现批准电子工程防静电设计规范为国家标准，编号为GB 50611 2010，自2011年2月1日起实施。其中，第9.O. 4 (2、的条(款)为强制性条文，必须严格执行。一f丁。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发中华人民共和国住房和城乡建设部二0一0年七月十五日CJ 一一一/ 目。吕本规范是根据原建设部关于印发(2005年工程建设标准规范制订、修订

4、计划(第二批)的通知(建标函(2005J124号)的要求，由上海电子工程设计研究院有限公司会同中国电子工程设计院、信息产业电子第十一设计研究院有限公司等单位共同编制而成。本规范在编制过程中，编制组遵照国家有关基本建设的方针政策和以人为本、安全第一、预防为主的指导方针，在总结多年来国内的实践经验，吸收近年来的科研成果，借鉴符合我国国情的国际先进标准的基础上，广泛征求国内有关设计、生产、研究等单位的意见，并反复修改，最后经审查定稿。本规范共分9章和1个附录，主要内容包括:总则，术语，防静电材料及制品的基本要求和设计选择，防静电工作区室内装饰设计，防静电工作区电气设计，防静电工作区接地系统设计，防静

5、电工作区空气调节系统和工业管道设计，防静电安全工作台的设计选择，离子化静电消除器的设计选择等。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由上海电子工程设计研究院有限公司负责具体技术内容的解释。本规范在执行过程中，请各单位结合工程实践，认真总结经验，如发现需要修改或补充之处，请将意见和建议寄至上海电子工程设计研究院有限公司电子工程防静电设计规范管理组(地址:上海市丽园路478号，邮政编码:200023 , E-mail: ) ，以供今后修订时参考。 1 本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人

6、:主编单位:上海电子工程设计研究院有限公司参编单位:中国电子工程设计院信息产业电子第十一设计研究院有限公司深圳市电子院设计有限公司上海防静电工业协会信息产业部防静电产品检测中心中国电子基础产品装备公司浙江金华天开电子材料有限公司保定市万达环境技术工程公司上海阳森精细化工有限公司上海惠华环境建筑装潢工程有限公司上海市电子产品质量监督检验站上海市建设工程安全质量监督站中国人民解放军总装备部工程设计研究院厦门永平堂静电工程有限公司主要起草人:杨维垣陈阵朱浩南韩方俊薛长立姬倡文钟景华黄晓春吴昌伟姜俊平范通川邬菊逸孙延林王福良马利洋孙振国王克鲁童子明于刚杜宝强主要审查人:王元光黄群骥马乃祥王寿泰赵建龙蒋

7、守雷罗宏昌周启彤 2 L 、J一一一一一一一卢一f 1总则2术语目次3 防静电材料及制品的基本要求和设计选择( 6 ) 3.1 防静电材料及制品的基本要求(6 ) 3. 2 防静电材料及制品的设计选择.4 防静电工作区室内装饰设计14. 1 地面设计4. 2 顶棚和墙面设计4. 3 门窗和其他装修设计.5 防静电工作区电气设计6 防静电工作区接地系统设计7 防静电工作区空气调节系统和工业管道设计(1 6 ) 8 防静电安全工作台的设计选择9 离子化静电消除器的设计选择附录A防静电工作区设计分级标准适用场所(2 1 ) 本规范用词说明(22) 引用标准名录附:条文说明( 25) 1 Conten

8、ts 1 General provisions ( 1 ) 2 Terms ( 2 ) 3 The basic requirements and design selections of antistatic materials and products ( 6 ) 3. 1 The basic requirements of antistatic materials and products ( 6 ) 3. 2 The design selections of antistatic materials and products ( 6 ) 4 The design of indoor de

9、coration in electrostatic discharge protected area ( 8 ) 4. 1 The design of floor ( 8 ) 4. 2 The design of ceiling and wall surface (1 0) 4.3 The design of door , window and other decoration (1 1 ) 5 Electric design in electrostatic discharge protected area (1 3 ) 6 Grounding system design in electr

10、ostatic discharge protected ar巳a(14) 7 Heating ventilation and air conditioning and industrial pipeline design in electrostatic discharge protected area (1 6 ) 8 The design sel曰tionsof antistatic control worktable . (18) 9 The design selections of ionizating static eliminator (1 9 ) Appendix A Appli

11、cable location for design classification 2 -_二二节了 standard of巳lectrostatic discharge protected area ( 2 1 ) Explanation of wording in this code ( 22) List of quoted standards ( 23) Addition: Explanation of provisions . (25) 3 v 1总则1. 0.1 为适应电子工程室内防静电设计的要求，规范电子工业建设工程防静电工作区的设计、治理的措施和实施方法，制定本规范。1. O. 2

12、 本规范适用于电子工业领域的新建、扩建和改建工程中室内防静电设计。1. O. 3 防静电工作区设计应遵循下列原则:1 应根据工艺配置的技术要求，预估工作区静电控制的期望目标，确定静电电位控制的目标值。2 应根据防静电工作区构成因素和不同的防静电工作区使用要求，选择经济和有效的设计方案。3 应根据防静电工作区质量控制要素，采取对应的预防措施v进行系统综合设计。1. O. 4 防静电工作区设计应选用静电耗散型或导静电型材料，并应建立可靠的静电接地系统，同时应控制环境温湿度。1. O. 5 防静电工作区设计标准应分为三级，一级标准应为室内控制静电电位绝对值不大于100V;二级标准应为室内控制静电电位

13、绝对值不大于200V;三级标准应为室内控制静电电位绝对值不大于1000V。防静电工作区设计分级标准适用场所可按本规范附录A确定。1. O. 6 电子工业领域的防静电设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。 1 2术语2.0.1 静电electrosta tic 一种处于相对稳定状态但不是静止不动的电荷，由它所引起的磁场效应较之电场效应可以忽略不计。可由物质的接触与分离、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。2. O. 2 静电放电(ESD)electrostatic discharge 当带静电物体表面的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质电离而使带电体上的电荷部分或全部

14、消失的现象。2.0.3 静电危害electrostatc harm 因静电放电产生的电磁辐射或静电感应而对电子元器件及仪器产生的有害影响。2. O. 4 电晕放电corona discharge 发生电场不均匀的，场强较高的电离放电现象，并伴有蓝紫色荧光。2.0.5 室内静电电位lnn巳relectrostatic potential 在设定的区域环境内，任一物体对地的静电电位差。2. O. 6 静电放电敏感(ESDS)electrostatic discharge sensi tJve 产品性能受静电放电影响或损坏的敏感性，简称静电敏感。2.0.7 静电噪声electrostatic noi

15、se 由于静电放电产生的电磁波辐射对电子装置、通信设施等产生的电磁干扰。2.0.8 防静电工作区(EPA)electrostatic discharge protec ted area 配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界、适于从事静电防护操作的特定工作环境。2. O. 9 防静电工作区质量控制要素quality control elements i口electrostaticdischarge protected area 决定室内静电电位控制效果的主要环境因素。包括材料和构造形式、气候和环境条件、接地、器材和器具的静电性能、工艺流程、技术管理制度等。2.0.10 静电感应

16、electrostatic induction 在静电场影响下引起物体上的电荷重新分布的现象。2.0.11静电泄漏巳lectrostaticleakage 带电体上的电荷通过其内部或表面等途径使之部分或全部消失的现象。亦称静电f世放。2.0.12 屏蔽shielding 把带电体或非带电体置于接地的封闭或近乎封闭的金属外壳或金属栅网内，限制静电场穿过的措施。2.0.13 表面电阻surface resistance 在与材料同一表面上相接触的两个规定形状的电极间施加的直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。2.0.14 体积电阻volume resistance 在材料相对两表面上放置的两个规定

17、形状的电极间施加的直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。2.0.15 表面电阻率surface resistivity 沿试样表面电流方向的直流电场强度与单位长度的表面传导电流线密度之比。2.0.16 体积电阻率volume resistivity 沿试样体积电流方向的直流电场强度与该处的电流面密度之比。2.0.17 对地电阻resistance to earth 在被测物体表面一点对接地连接点或防静电接地装置之间的电阻。 3 2.0.18 静电半衰期electros ta tic half-lif e 外界作用撤除后，带电体上静电电压或静电电荷下降到其初始值的一半时所需的时间。2.0.19

18、静电衰减期electrostatic decay time 外界作用撤除后，带电体上静电电压或静电电荷下降到其初始值的10%时所需的时间。2.0.20 摩擦起电电压triboelectric voltage 用摩擦方法使物体带电的表面对地电位差。2. O. 21 接地grounding 电气连接到能供给或接受大量电荷的大地、舰船或运载工具外壳等物体的措施。2.0.22 静电接地electrosta tic grounding 将金属导体通过接地极与大地进行电气上的连接，将静电电荷安全传导到地的措施。2.0.23 间接接地indirect grounding 为使非金属物体进行静电接地，将其表面

19、的全部或局部与接地的金属体紧密接触的一种接地方式。2.0.24 软接地soft grounding 通过足够阻抗接地，把电流限制在5mA的人身安全电流以下。2.0.25 静电放电接地系统ESD grounding sstem 使静电泄放到大地而配置的接地线分支系统。亦称ESD接地系统、防静电接地系统。2.0.26 接地连接点earth bonding point 接地对象上的一个专用点，此点应被一根接地引线引接到接地线配置系统。2.0.27 防静电接地电阻electrostatic grounding resistance 从防静电对象接地连接点至接地体，包括接地支线、接地干线和接地体电阻的总

20、和。 4 一一十二二一/ f 2.0.28 防静电安全工作台antistatic control worktable 供静电敏感元器件、组件及设备操作的具有静电泄放功能的安全工作台架。2.0.29 静电中和electrostatic dissipation 带电体上的电荷与其内部或外部异性电荷的结合而使所带静电电荷部分或全部消失的现象。2.0.30 离子化静电消除器ionizing static eliminator 利用空气电离产生为中和带电体上的表面异性电荷所必需的正负离子的静电消除装置的统称。 5 3 防静电材料及制品的基本要求和设计选择3. 1 防静电材料及制品的基本要求3. 1. 1

21、 防静电工作区采用的防静电工程材料应符合下列规定:1 静电屏蔽材料应采用表面电阻或体积电阻小于1.0X1030的材料。2 导静电材料应采用表面电阻或体积电阻为2.5X1040 1. OX1060C不含1.0 X 1060)的材料。3 静电耗散材料应采用表面电阻或体积电阻为1.OX 106 O 1. OX1090的材料。4 低起电材料应采用其表面上滚动摩擦后的带电电压绝对值不大于2000V的材料。5 绝缘材料应采用表面电阻或体积电阻大于1.OX10120的材料。绝缘材料在防静电工程中不得作为饰面材料应用。3. 1. 2 由几部分材料组合的防静电制品，其内部构造应具有导静电泄放的功能。其防静电性能

22、应由制品的表面电阻、对地电阻和摩擦起电电位等参数确定。3. 1. 3 防静电材料应有长效型和短效型的区别。长效型防静电材料其防静电性能应与材料寿命同步，在使用期限内防静电性能应保持稳定。3. 1. 4 防静电材料及制品的其他各项性能尚应符合国家和行业现行有关标准的规定。3.2 防静电材料及制晶的设计选择3.2.1 室内防静电工作区应根据设计分级，选用不同性能的防静电材料及制品，并应符合下列规定:人/1 一级防静电工作区的地面和墙面、柱面应选用导静电材料。导静电型地面、墙面、柱面应满足下列技术指标:1)表面电阻、对地电阻应为2.5X 10401. OX 1060; 2)摩擦起电电压绝对值不应大于

23、100V;3)静电半衰期不应大于O.15 0 2 二级防静电工作区的地面、墙面、柱面、顶棚和门表面、软帘应选用静电耗散材料。静电耗散型地面、墙面、柱面、顶棚和门表面应满足下列技术指标:1)表面电阻、对地电阻应为1.OX10601. OXI090; 2)摩擦起电电压绝对值不应大于200V;3)静电半衰期不应大于15，但软帘的摩擦起电电压绝对值可不大于300V。3 兰级防静电工作区的地面、墙面、柱面视工艺技术要求可选用静电耗散材料或低起电材料。顶棚和门表面等可选用低起电材料。选用静电耗散材料的地面、墙面和柱面，应满足本条第2款的技术指标;选用低起电材料的地面、墙面、柱面、顶棚和门表面等，应满足摩擦

24、起电电压绝对值不大于1000V的要求。3.2.2 防静电工作区室内设计不得选用短效型防静电材料及制口口口。 7 4 防静电工作区室内装饰设计4. 1地面设计4. 1. 1 室内防静电地面设计应符合下列规定:1 应根据不同的基础条件及防静电目标合理选择地面种类，可选用贴面地面、活动地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移动式地垫等。2 应具有长效和稳定的导静电性能。3 应具有可靠的静电世放接地系统。地面导电层接地引出点不应少于2处，且相邻间距不应大于25m。4. 1. 2 贴面地面应符合下列规定:1 应合理选择贴面地面的材质和形式。可选用塑料贴面(块、砖、卷材)、陶瓷地砖、大理石板等。2 贴面地面的

25、结构宜由基础地坪、底涂、导电层、面层组成。3 贴面地面的结构应符合下列规定:1)基础地坪应满足含水率不大于8%，混凝土强度等级不小于C30，表面平整度不大于2mm的要求;2)底涂宜满足封底、粘结桥、绝缘隔离层的要求;3)导电层应铺设接地金属筒带网格，并用导电粘胶与上铺面层粘结，导电粘胶的电阻值应小于面层材料的电阻值;4)面层应符合本规范第3.2.1条的规定。4 接地金属锚带网格宜选用宽10mm20mm、厚O.03mm 0.10mm的紫铜锚带，网格大小可为600mmX 600mm，当贴面地面为卷材时，网格可为1200mmX1200mm;网格引出铜锚带应与室内接地干线焊接;网格交叉点应锡焊或用导电

26、粘结剂粘结。4. 1. 3 活动地板应符合下列规定:L/ 1 应合理选择活动地板的材质和支撑方式。活动地板按支撑方式可分为四周支撑式活动地板和四角支撑式活动地板。四周支撑式活动地板可由地板、可调支撑、横梁、缓冲垫等组成;四角支撑式活动地板可由地板、可调支撑和缓冲垫等组成。2 活动地板的防静电贴面板应选用导静电型、静电耗散型材料，其性能要求应符合本规范第3.2.1条的规定。3 活动地板及其配件的材质和技术性能指标应符合现行行业标准防静电活动地板通用规范SJ/T10796的有关规定。4 活动地板支撑的底部宜设绝缘衬垫。接地连接导线(接地支线)应采用截面积不小于1.5m旷的多股塑铜线。5 室内接地干

27、线在活动地板下敷设时，应与地面绝缘。4. 1. 4 树脂涂层白流平地面应符合下列规定:1 树脂涂层自流平地面结构应由基础地坪、底涂层、找平层、导电层和面层组成。树脂涂层自流平地面厚度应为底涂层、找平层、导电层和面层厚度的总和，树脂涂层自流平地面厚度不应小于2mm。2 树脂涂层自流平地面结构应符合下列规定:1)基础地坪、底涂层、导电层应符合本规范第4.1. 2条第3款的规定;2)找平层应符合补充底涂的封底、粘结桥、缓冲找平的要求;3)面层应采用符合导静电或静电耗散性能的树脂面层涂料，厚度不宜小于0.8mm。3 导电层撞地金属宿带网格要求应符合本规范第4.1.2条第4款的规定。4 树脂涂层白流平地

28、面各层结构的凝胶材料应为同一性能的树脂涂料，涂料的耐磨性、附着强度和涂膜硬度尚应符合现行行业标准防静电地坪涂料通用规范SJ/T11294的有关规定。4. 1. 5 水磨石地面应符合下列规定: 9 1 水磨石地面应由防静电水磨石面层、导静电泄放层和绝缘隔离层组成。2 防静电水磨石地面面层的厚度宜为12mm18mm。面层的石粒应采用粒径4mm10mm的大理石、白云石或其他石料。拌和时不得棍入金属杂质。面层的水泥拌和料宜掺加一定比例的导电料，水泥强度等级不应小于32.5。水泥和石粒的体积比宜采用1:1.51: 2.50 3 水磨石地面的导静电泄放层应采用如肉的钢筋网，网格的问距宜为2mX2m，并应在

29、网格交叉点阴角处焊接。网格的分布应与水磨石面层的分格条位置错开，并应与防静电接地系统连接。4 水磨石地面的底涂绝缘隔离层宜采用环氧树脂涂料底漆满涂两遍，厚度不宜小于O.lmm。5 水磨石面层磨光后可采用防静电液体地板蜡罩面。4. 1. 6 移动式地垫应符合下列规定:1 移动式地垫可选用防静电塑胶地垫和防静电地毯。2 防静电塑胶地垫可为三层结构，底层应为导电橡胶材料，中间是布，面层应为静电耗散型塑胶材料。防静电塑胶地垫下应敷设接地金属网，并应可靠接地。防静电工作区内防静电塑胶地垫面层应选用长效型防静电材料。3 防静电地毯宜为三层结构，底层应为静电耗散型基材，中间应为导电胶，上层应为由导电纤维编织

30、或植绒的静电耗散型材料。防静电地毯下应敷设接地金属网，并应可靠接地。4.2 顶棚和墙面设计4.2.1 顶棚和墙、柱面装饰有导电层要求时，应制订合理的导电层方案，并应采用十字形构造铜销或设置多点间接接地的接点;当顶棚和墙、柱面装饰设置基层骨架时应选用金属材料，金属骨架应接地。接地连接点的设置每个房间不应少于4处，相邻连接点之、/间距离不应大于18m。4.2.2 顶棚和墙、柱面装饰的罩面板应选用导静电型、静电耗散型材料，其性能要求应符合本规范第3.2.1条的规定。4.2.3 一级防静电工作区的墙、柱面应设置导电层;二级防静电工作区的墙、柱面不设置导电层时，应涂刷防静电涂层或装饰静电耗散层，其性能应

31、符合静电耗散材料的指标要求。4.2.4 空气洁净度5级以上洁净环境或严格限制静电吸附场所的顶棚和墙、柱罩面层的静电耗散指标，应根据工艺要求和试验确定。使用导静电元机板材时，表面不应另覆涂层;表层使用金属面板时，应具有静电耗散性能的防静电面层。4.2.5 般抹灰墙面或使用水性涂料、天然或人造石材作为表层时，应涂刷具有静电耗散性能的涂层或做其他防静电处理;当场所的环境湿度能稳定保持在45%65%时，可不做防静电处理。4.3 门窗和其他装修设计4.3.1 防静电工作区的门窗设计应符合下列规定:1 一、二级防静电工作区应选用静电耗散材料制作门或采用静电耗散材料贴面。兰级防静电工作区可选用低起电材料。2

32、 金属门窗表面应涂刷具有静电耗散性能的涂层，并应接地。选用静电耗散材料贴面的门及窗的外框应有导静电泄放的接地连接。3 二级防静电工作区的建筑外层有采光窗时，应设计为双层，其内层窗应符合本条第1、2款的规定。4 门窗与墙体周边应选用具有静电耗散性能的弹性密封材料填嵌。5 、二级防静电工作区室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时，其内表面应粘贴具有静电耗散性能的透明薄膜，或采用透明的防静电塑料板和具有防静电性能的玻璃板。4.3.2 防静电工作区的其他装修设计应符合下列规定: 11 1 各类装修材料应具有表面静电耗散性能。严禁使用未经表面改性处理的高分子绝缘材料。不宜使用强吸温性材料。2 各类装修设计的饰

33、面应平整简洁，不宜过于复杂。 12 L0 5 防静电工作区电气设计5.0.1 防静电工作区中供电电源质量分级应按工艺要求执行。5. 0.2 防静电工作区中电子设备宜由变电所或低压总配电间的专用回路供电，各种专用电源设备应靠近由其供电的电子设备。5.0.3 防静电工作区供配电系统设计宜根据供电电网的电源质量，以及系统内可能产生的瞬变干扰和脉冲干扰，采取相应抑制谐波干扰的措施。5.0.4 防静电工作区电源进线浪涌保护器的设置，应符合现行国家标准建筑物电子信息系统防雷技术规范)GB50343的有关规定。5. O. 5 低压配电系统中的单相负荷应均匀分配在兰相线路上，应使三相负荷不平衡度小于20%，并

34、应根据负荷实际运行情况可能产生的谐波电流值，选择放大中性线的导线截面积。5.0.6 防静电工作区中电子设备和设施的电源线、接地干线、信号线和通讯线应分别敷设。电源线宜远离信号线和通讯线，当不可避免时，应采取相应的屏蔽措施。电子设备和设施的工作电源插座和普通电器插座应分别设置，并应有明显区别标志。5.0.7 防静电工作区中电气设备外壳应可靠接地，电气设备对电磁兼容性的要求尚应符合现行国家标准电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验)GBjT17626. 2的有关规定。 13 6 防静电工作区接地系统设计6.0.1 防静电工作区应设置防静电接地系统。6. O. 2 防静电工作区接地系统应由接地体、

35、接地干线、接地支线、接地端子板、接地网格或闭合铜排环组成。6. O. 3 防静电工作区中由TN交流配电系统供电时应采用TN-S或TN-C-S系统的接地方式。6.0.4 防静电工作区中应含有不同功能要求的接地系统，各接地系统的设计都应符合等电位连接的要求，不同接地系统在接入等电位端子前不应混接。6. O. 5 防静电接地宜选择联合接地方式。当选择单独接地方式时，接地电阻值不应大于10D，并应与防雷接地装置保持20m以上的问距。6. O. 6 防静电工作区中整个接地系统的设计应以防雷接地系统设计为基础。防雷接地系统设计应符合现行国家标准建筑物防雷设计规范)GB50057和建筑物电子信息系统防雷技术

36、规范GB 50343的有关规定，特定行业、特定地面及设施的防雷接地尚应符合国家现行有关标准的规定。6. O. 7 防静电工作区顶棚、墙面、地面的防静电接地、人体防静电接地、操作装置和仪器的防静电接地，应分别选择适当位置设置接地连接装置。接地连接装置可使用易于装拆的各种夹式连接器，但应保证电气连接可靠。在防静电工作区内应设置防静电接地端子板、接地网格，或截面积不小于100mm2的闭合接地铜排环。防静电接地引线应从防静电接地端子板、接地网格或闭合铜排环上就近接地，接地引线应使用多股铜线，导线截面积不应小于1. 5mm2 6.0.8 防静电接地系统在接入大地前应设置总等电位接地端子板、楼层等电位接地

37、端子板、防静电接地端子板。从总等电位接地端子板或楼层等电位接地端子板上引出的接地主干线，其截面积不应小于95mm2，并应使用绝缘屏蔽电缆或采用绝缘导线穿金属管敷设。接地主干线引到防静电工作区时应与设置在该区域内的防静电接地端子板连接。防静电接地系统各个连接部位之间电阻值不应大于O.lDo6. O. 9 防静电接地主干电缆应避免与非屏蔽电源电缆长距离平行敷设，并应远离防雷引下线。防静电接地主干电缆的屏蔽金属层应两端接地。6.0.10 防静电接地连接应采用焊接或用连接器具连接的方式，连接器具应能与接地对象可靠地连接。当接地对象采取间接接地时，应在接地对象上装设紧密结合的可靠的金属导体，并应在金属导

38、体上引出接地导线。金属导体的紧密结合面积不应小于20cm20 6.0.11 防静电工作区中不得有对地绝缘的孤立导体，所有金属结构件都应可靠接地。当两个以上的金属结构件相互绝缘时，应将各自的金属结构件进行接地，或在其相互之间连接跨接线，并应接地。6.0.12 易燃、易爆特定环境的接地尚应符合现行国家标准爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范)GB50058的有关规定。 15 7 防静电工作区空气调节系统和工业管道设计7.0.1 防静电工作区宜设置空气调节系统。7.0.2 当防静电工作区和其他房间空调参数不同时，宜分别设置空调系统。7. O. 3 防静电工作区的温度及波动范围应满足工艺要求，宜为180

39、C 280C。7.0.4 防静电工作区的相对湿度及波动范围应满足工艺要求，直为45%65%。7.0.5 防静电工作区的气流组织形式应根据洁净室(区)空气洁净度等级和生产工艺特点的不同要求确定。7.0.6 防静电工作区中空气调节系统的送、回风口和风管以及各种工业管道的输出、输入口装置，应选用导电材料制作，或表面涂刷防静电涂层，也可按工艺要求进行防静电处理。送、回风口和各种输出、输入口装置与配管系统之间应有可靠的电气连接，并应接地。7.0.7 防静电工作区中空气调节系统的风管和各种工业管道均应采取接地措施，接地连接点之间的距离不应大于30m，接地连接点的构造应符合设计要求。采用普通的法兰或螺栓连接

40、，且中间存在非导体隔离时，应采取跨接措施。7.0.8 防静电工作区的配管系统中，使用部分绝缘性材质的配管时，应在配管表面安装紧密结合的金属网，并应将金属网接地。使用导电性非金属软管时，应在软管上安装与其紧密结合的接触面积不小于20cm2的金属导体，并应用接地引线与金属导体可靠连接接地。7.0.9 防静电工作区空气调节系统配置离子化静电消除器时，应 16 Lj 符合本规班第9章的有关规定。7.0.10 防静电工作区空气调节系统的设备对电磁兼容性的要求尚应符合现行国家标准电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验GB/T17626.2的有关规定。7.0.11 易燃、易爆环境以及各种流动液体或气体、粉

41、体管道安装的防静电措施尚应符合现行国家标准工业金属管道设计规范GB 50316的有关规定。 17 8 防静电安全工作台的设计选择8.0.1 防静电安全工作台可用于制造和应用静电敏感元器件的场所。静电敏感元器件、组件及设备的操作，应在防静电安全工作台上进行。一、二级防静电工作区及有明确防静电要求的台式精密电子设备的兰级防静电工作区，应根据工艺要求配置防静电安全工作L. 口。防静电分级为一级的微电子制造和测试场所，防静电安全工作台应使用硬质台垫及无表面涂覆的难氧化金属台架;除微电子电路制造和测试以外的电子产品或整机产品的生产或调试场所的防静电安全工作台，其台面可采用软质台垫，台架可采用木质或金属。

42、8. O. 2 防静电安全工作台应由工作台、防静电台面或台垫、腕带连接装置、限流电阻和接地引线组成。8. O. 3 防静电安全工作台按台面基材可分为普通型和专用型。专用型防静电安全工作台宜用于洁净室工作站。防静电安全工作台台面的防静电性能指标应符合本规范第3.2.1条的规定。8. O. 4 硬质和软质防静电台垫，其表面电阻和体积电阻范围应为2.5 X 104o，1. OX 1090, 0 8.0.5 防静电安全工作台应设置腕带连接装置，防静电腕带应便于人体佩戴，并应接地。腕带连接装置应布置在工位的左、右两侧。8.0.6 防静电安全工作台应接地，腕带连接装置的下端应采用截面积不小于1.5mm2多

43、股塑铜线与防静电接地系统连接。多台防静电安全工作台的接地连线不得串联连接。L斗9 离子化静电消除器的设计选择9.0.1 一、二级防静电工作区配置的设备机台局部，以及防静电安全工作台等对静电敏感元器件有明确防护要求的场所，应选用离子化静电消除器。9. O. 2 离子化静电消除器的设计选择应根据现场条件和消除静电的控制目标，并结合静电消除器的消电效能和综合性能确定。9.0.3 离子化静电消除器的离子平衡度、消电时间、臭氧发生量、噪声等技术指标应符合国家现行有关产品标准的规定。9.0.4 离子化静电消除器的设计选择应符合下列规定:1 气流组织形式为单向流的洁净空调系统，宜选择脉冲式高压静电消除器。2

44、 易燃、易爆环境应选用自感应式静电消除器、高频高压型静电消除器，以及具有防爆通凤型结构的离子化静电消除器。3 空气洁净度等级5级以上的洁净环境，不宜使用有风扇的离子化静电消除器，其他洁净环境的风扇式离子化静电消除器应具有自清扫功能。4 选用同位素静电消除器时，应按现行国家标准电离辐射防护与辐射源安全基本标准)GB18871的有关规定进行防护设计，并应符合对射线屏蔽、人体防护的要求。5 选用高频高压型静电消除器时，电气间隙和基本绝缘试验电压等限值应符合现行国家标准测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第一部分:通用要求)GB4793. 1的有关规定，场感应电流和磁场强度限值应符合现行国家标准工业

45、、科学和医疗。SM)射频设备电磁骚扰特性限值和测量方法)GB4824的有关规定。 19 6 选用离子化静电消除器时，臭氧发生量的容许浓度值应符合国家现行有关工业场所有害因素职业接触限值的规定。9. O. 5 离子化静电消除器外壳应采用金属材质，其外壳及金属支承体应有可靠的保护接地。 20 入/附录A防静电工作区设计分级标准防静电级别一级二级三级适用场所表A防静电工作区设计分级标准适用场所举例适用场所1.电子电路制造和测试的场所2芯片制造:氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP，光刻，外延，在线检测，设备区等工序和场所;芯片封装z划片、粘片、键合，封装、测试等工序;TFT液晶显示屏制造阵

46、列板(薄膜、光刻、刻蚀、剥离)，成盒(涂复、摩擦、液晶注入、切割、磨边)、模块等工序;彩色滤光片(C/F)制造;LED芯片制造2.电子产品生产过程中操作一级静电敏感元器件的场所:硬盘制造(HDD):制造区;等离子显示屏(PDP):核心区;彩色显像管2表面处理工序;高密磁带制造;磁头生产:核心区1.静电敏感精密电子仪器的测试和维修场所2静电敏感元器件制造和测试场所:半导体材料制造:拉单品、磨、抛等工序;太阳能硅片电池制造(扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷); STN液晶显示器制造;硬盘制造除制造区外的其他区;等离子显示屏(PD凹的支持区;铿电池制造z干工艺和其他区;彩色显像管制造z锥石墨涂覆、荫罩装配

47、工序;印制板的成像、制版干膜工序;光导纤维制造z预制棒、拉丝工序;磁头生产:清洗区;片式陶瓷电容、片式电阻等制造z丝印、流延工序;声表面波器件制造:光刻、显影、镀膜、清洗、划片、封帽工序1.除上述范围以外的电子元器件和整机的组装调试场所2.存在外部电磁干扰，必须对环境中的电子设备和设施提供最基本的防静电保护的场所 21 本规范用词说明1 为便于在执行本规范条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下:1)表示很严格，非这样做不可的:正面词采用必须，反面词采用严禁;2)表示严格，在正常情况下均应这样做的:正面词采用应，反面词采用不应或不得;3)表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的:正面词采用宜，反面词采用不宜;4)表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用可。2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为应符合.的规定或应按执行。 22 人/引用标准名录建筑物防雷设计规范)GB50057 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范)GB50058 工业金属管道设计规范)GB50316 建筑物电子信息系统防雷技术规范)GB50343 测量、控制和实验室用电气设备的安全要求第一部分:通用要求)GB4793. 1 工业、科学和医疗(ISM)射频设备电磁骚扰特性限值和测量方法)GB4824 电离辐射防护与辐射源安全基本标准)GB18