JJF 1212-1990 平面度副基准操作技术规范.pdf

1、J萄G国忡也和规术:技47作操JJFl212-1990 人华中JJG .1212-90 20010658 平菌度副基准GJJ(长)0452国家技术监督每北京一旦一一一一 丁一一二一 平面度.+lII.+Ufl+叫啊忡咱叫M叫t气副基准操作技术规范f i iJJG1212-90 i Operating Technical Norm oL Sond ,1 雪、:、飞tlltollIIII+i.1I叫忡耐性川啊时，.ary Standard of Flatness t ,., f 固自由回国帽嚣回帽翻-届四-画画画画画面E-町-肉唱-一一一一一一-一一嘀咕回-叮. 咽-障自由自. 基准保存单位:中国

2、测试技术研究院基准保管人员:周患萍张成佛起草人员:张成涕JJG 1212-90 107 共5页第i页平面度副基准操作技术现范概述搜捕平面度量值传递系统的规足，平面度设有基准和副基准，分别函中国汁量科学研究院和中国测试技术研究院负交承担。2 平面度基准与副基准均由平面等倾干涉仪.由四块组成的150平晶主旦210mm长平，1古组及310mm氏平晶组等组成93 作为基准王有副基准的平晶组或氏平品组在平苗等饵干涉仪上以四面互1金，确定其平面度铺盖及其检定不确定度。4 平面度基准和副基准工作面平面度铺盖对于150平晶应小子。.015rn，对于210胞和310mm-l:主予品在工作商同时，旦支承子南端，其

3、工作面平面度偏差f小子。，10m及O.川江应亨其检定不确定度。对于150平晶和210mIll长平晶应不大子。.010m ，对于310mm民子晶应不大子。.015m , 5 作为平面度基准和副基准的平晶或氏平晶其j万年楼走史应不少子5年，且其数据E幸运，各年抢走结果与其平均应最大差不应超过O.006血而一平面度副基准噩值的检定与比对8 平面度基准与副基准的平晶纽应每年位走一次，若平晶具有十年以上历史，且数据E幸运，其性定周期可延民主再练气7 为防止环境条件及骂他因素带来的系统误差，平面度基;在与副器;在的平晶组应每两年进行一次比对，对于已有卡年以二历史数据的平晶组可四年进行一次比对a8 基准与i

4、ITJ准仪器应每年检足-次，且应符合俭足规程的要求。,JJG 1212-90 1仰共5页第3页式中:A!、L、Cj、Dj-一分别为A、B. C、D四块平晶或长平晶)在i点的-f)囱度温差;T，、T川、T，.1101.言Tbd.iTed一一一白为六次互设时，相应两块平品豆J1;t己平品)iXX二F扭过锦茬，平1，其栓.S，平:确定度出(2)式计算A这项憧(2) FA E一一平晶或长子品的检点致:c:l J k. l -平(或长子晶)J和K互检时在i点的嫂萃，J古K为A、B丁、C. D中的;在两块。检ZZ结果的珑差fiJ(3)式汁算?式中:每次检走后应在其历史记录卡上进行登记。U:x才方法9. 1

5、 由基准和副基准中各抽两块平晶p按四百法进行检定，定应在基准仪器和副基准仪器上各进行一次。9. 2 每次的比对应由基准和副基准的捡起员共同进行，值作为一个翻囚的甜量结果。9. 3 比对时的温度环境条件应满足在24h内室温变化应小子lC，lh内的变化应小子O.lC。比对时应对室温进行观察，并予以记载。用于比对的平晶放在室内的时间不得少子24h，每次安装调整后应等温1n，其他待检平晶应放在仪器箱内等温。比对结果应满足第4和第5杂的要求。四面法检豆豆方法自四块平晶(或长平晶依次组合六次互栓，其计算公式如(1)式所示。并以其平均9 在9.4 10 1. J k. l =J t十KI-Tjk.i(3)

6、式C:J t Ki-一平晶(或长平晶)J、E在1点的平面度铺盖;Tjk.t一过苦IlKlf.往日才，飞在L点:于西度偏差之和趴比1才结果如发现基准与副基准i巧有较大系统误差时，应搜据检定时的埠，变ig辑、i.历事:装揭泣?于分jfr.，.以确定哪一荼准条件较莓:并在其改善环境条件;再再作一决桂海、12 对娃;.不嗓;其黑珑萃挠太的lll阻茧吕!U)川、(T bci +Tbdl午Tdl)(T血bl+T.I+T.d1)-2 A! (T. ,! +T.5 N .飞户。沪阳路要卜仲、梅L川捕JU在有hr撬川战擅Ja基割、-: F (T11十Tbd!十T.dl)- (T.bl+Ts.e,+lbe ,)

7、自2 D,= 考核和1:& 副道ll托ft!.，;每括i生于ili(亨丁、同)，J宫否禄准平品的磁V川、，.飞?飞共6页第4页JJG 1212-S自110 一一一一一一比对时，应作好下列准备工作。13. 1 检查基准平品及平面等倾干涉仅是否在栓足周期的有效期内213. 2 憧查仪器工作状态是否正常。13. 3 清洗平晶表面，并检查其表面是否完整无缺，有无j瘦等异常状态。13. 4 检查球m支承架是杏正常。13. 5 检查室内瘟度变化情况。13. 6 检查后在副基准使用登记搏土登记检查情况。14 将仪器照明开启后，等纳光出现后将被翻平晶安装满试，其具体方法参照有关检定规程。15 按憧定规程的要求

8、进行等温，然后进行测量，测量结果应i己在楼定记录上，并进行计算。16 将被按平品的桂王军结果登记在历史记录卡上确若副基准参与互栓，亦应将此次的碰运结果登记在诙副基准的历史记录卡上s其检定不确定度登记在仪器的历史记录卡上c17 副基准使用后应擦净放在包装盒内，并放在指地点。四副基准的维护.使用和保管规定18 副基准的保管和使用人员应遵守基准、副基准、际准管理办法。19 副基准的保管和使用应由专人负责，此专职人员应经过考试合格并取得该项检员证资恪，并有不少于五年的该项捡起历史a20 专职人员应负责将副基准的周期检廷和比对，应在比对年韧与基准单位联系，并制订比对计划，报有关部门批准，拨专款用于tl:

9、x才a21 专职人员出负责本项副基准的主管领导确定，并报有关部门备案。 专职人员负责将副基准的各种资料档案妥善保存，并按时作记载。 专职人员应运期检查基准仪器和基准平晶是否正常，如基准仪器均气JJG 1212-30 共5页第6页i i i 出现异常或基准平品出现碰损时应及时向主管领导汇报，主管领导应根据情况及时作出分析，并提出解决办法和他理意见，重太事故应报院有关部门及国家有关主管机关，并将处理情况记录在案24 对于不适子作副基准平晶的应选行淘汰.白专职人员提出，主管领导批准，报有关部门备案。25 副基准仪器未经主管领导的同意不得随意挪动电拆卸、政装等。其技术改适应由专职入员提出，主管领导同意，并在院立项审描后方可正式进行。26 副基准配套仪器及平晶等一般不得夕归昔，特殊情况专职人员应向主管领导报告，经同意后方可临时借用，并按期归还归还时，专职人员应作全面检查a27 副基准的改造完成后，应由主管领导报院有-*:部门组织鉴定。28 非专职人员不得动用副基准，其他比对人员.实习人员得经主管领导同意后，专职人员在场的情况下方可操作。29 基准平晶要带出比对时，专职人员应负责将其包装好，由主管领导检查，并在记事本上登记，方可外出，比对回来后应对基准平品进行桂查登记，放回指远地点。