JJG(电子) 04030-1989 SERIES-10型LSI测试系统检定规程.pdf

1、哈72Zi 中华人民共和匮视摄电子工业部电子计量器具检定规程SERIES-l0型LSI翻试系统中JJG(电子)04030-89(试行)? =it 卢口仙第1页共20页JJG (电子)04030-89 SERIES-l0摇lSI1!il!H式系统试行幢定规程飞一一一一一一一二一.-:一本规程适用于SERIES-、10型LSI测试系统的检定。:子):10453G-89、SERIES-l自型LSI去iiji式系统达棋王?试行检定规程本系统是美仨:SENTRY公司产品，用于对TTL、NMOS、ECL9=小规模数字来成i马路呆大规模集J式电站CPU芯片和外国电路酌训试。系统测拭通远敦白为32，4,4 ,

2、 6币，最多可扩充U本检定规程经机械电子工业部于1989年12月4日批准，并自H90年10月1p包执行。120. 摆?在罢求基谁也j王iz:(RVS)程序值CV)0.000 +0.020 -0.020 1. 023 I 1. 046 0.998 -1.023 I -0.998 -1.046 2.000 I 1. 972 2.028 一丁一-1.000I -0.950 -1.050 1 丘旧I 5.150 5.070 I 5.120 I 5.160 5.080 准确度(绝对值V)量程) 归口单位z机械电子工业部电子计量测试研究中心-10.150 -10.300 12.100 11.900 -4.

3、080 19.870 一3.92020.130 -9.900 0.060 10. 2.30 12.000 -4.000 20.000 -10.000 00.000 3 起草单位:集成电路测试技术中心茹主要起草人:李737 nHOHUnu户口咱ELnHV画nHvnHU一一本规程技术条文由起草单位负责解释。736共20页第2页JJG (!江子)04030-8g JJG (电子)04030-89 共20页第3页2 程控电1)反;3 0 1. 2 增强型分辨率负我电流准确度组号加电压量稳分(m辨V)率准确度(V) (mV) (A) (V) 土主土21CDPSs ,:2,:;) 土0.2%土10mV士1

4、0023士0.3%土8皿+20 土201CDPSsl , 2 ,3) 士0.2%士20mV2 土10.2310 -10 3 土40.9240 土O.155i土4JmV土6土83CDPSs4, 5) 主0.2%土10mV4 土102.3100 土0.15%士100mV号组2 3 4 土2.046士1.0.23+20.00 -:10.0。十20.00-100.0。分辨率1阳(血V)21 10 I 组号J U1 U10 U100 Ml M10 1吐1001nA 10nA 100nA 1A HO.1 100A 3 直流参数测量单元3.1 加电压测电流指标3. 1. 1 标准型力口电压量程(V) 些更主

5、| 土1.023A I 士10.23AI 土102.3A土1.023mAI 土10.23mA土l02.3mAI 准确度40 士0.3%土8mV 土0.15%士10mV士0.15%土40mV100 土0.15%士旦V3.2 加电流测电压指标3.2.1 标准型准确度0.5%土10nA0.5%土lOOnA0.15%土200nA0.15%土2A。.15%土20A0.2%土2QOA_._-幅画-a回嗣唱分辨率(A) -Lt飞JAA-JO-Hr-仙到拍到卢二缸，于一土剖一硝MV川一一民U唱iti9臼色-nunuOUOUE 一+一土土十一卢组号加电流;虽程分辨率准确度。土1.023A1nA !土0.5%土1

6、0nA1 土O.1023mA。.1flA土0.15%土200且A2 士10.23mA10A i 土0.15%土均A3 土102.3mA1DCA 土0.15%土200A738 测电流量程(mA) 土1.023A土0.1023土10.23土102.3准确度1nA 0.1 10 100 739 第5页共20页JJG (电子)04030-89 JJG (也于)04030-89 第4页:;t20页准确度:土0.5nsn1i949JV 分辨率ns ns tS s 10 100 1 10 定时单元技术指标测试周期4 4.1 组号准确度土0.15%土100mV识电压量程(V) 组号4 准确度:士1.25ns

7、组号量程分辨率。10s 1. 250s 1 100s 100 ns 2 1 ms 1 s 3 10 ms 10 s 时钟延时或宽度4.2 驱动器指标电压范围:一lV，._.十12V;准确度z士25mV(无负载);分辨率:2mV (低范围)，20mV (高范围);上升/下降时间(10伪90%):0-5V，最大lOns，0-12V，最大25ns;10pF负载电容时，最大为300mV; 5 L产主!VlIff lM IO5%土100A10nA 0.5%土1000A100nA 0.15%士200nAIA i自.15%土2A10A 0.15%土20A100A 0.2%土200A力口电流量程士1.023u

8、A 士10.23A土102.3A土1.023mA士10.23mA土102.3mA时偏z负载电流:比较器指标电压范围z准确度:土25mV;:t: 30mA AC 过冲:5V脉冲，! 10mA DC , 士lns;准确度1 10 40 100 土10mV土20mV土40mV士100mV0.3 % 0.15% 0.15% 0.15% 分辨率(mV) 测电压量程(V) 3.2.2 增强型组号| Ul U10 U100 M1 MlO M100 士1.023土10.23土40.92土102.3组号in，。741 一1V ，_，十12V;6 4 740 共20页第6页:科后:最大201川l;电容:最大50p

9、F;时何:士2ns。一检定条件7 环境条件环境温度:20土20C;相对湿度:45伪75悟:大气压强:86106kPa; JJG(电子)04030-89 供电电源:2Z0V土20奋，50Hz土1%8 检J宅用设备8.1 六位数字电压表:1 V满量程挡准确度为0.010在:参考型号:7150 8.2 双线宽带示波器:带宽200MHz以上，探头loMQ/r12pF 参考型号:TEK485。8.3 测试板:TVFY。8.4 元感标准电阻:200Q 1/2W 0.01%。8.5 元感标准电阻200Q2W 0.01%. 8.6 Sl引出板。8.7 34线带状电缆(PN09902134)。8.8 2个16引

10、线I.C.夹。8.9 计算计数器:PO一10型。四检定项目及雄是法9 扑观及工作正常性检查742 JJG (电子)04030-89 失20页第7页9.1 被测系统应有产品说明书和相皮的随机附件。9.2 被测系统应元影响正常工作的机械损伤，各指示灯应亮，拨动开夫定位正确，接通电源后，系统能正常工作。9.3 检运应在系统开机运行半小时，稳完之后进行。9.4 检定以前，被检系统应首先通过主控计算机，外围设备的自检程序。S-10系统主控制机是FST-2，外围设备有键盘控制终端，行-式打印机，磁盘!JL，磁带机等等。运行计算机及外设的检查程序，包括如下内容zCPU终端设备检查:CPU指令系统检查:如法器

11、检查:变址寄存器保持功能检查;奕址寄存器jJU数功能检查z存储器互换功能检查:磁带机检查;控制终端键盘功能检查;高速行式打印机检查;中速行式打印机检查;卡片读出器检查;磁盘机检查。10 系统基准量的捡起系统基准点的捡起通过运行S10CAL程序来完成。测试台要装校检测试板TVFY。程序调用过程如下:JOB S10 STATX (X=3 , 4) LOAD S10CAL 743; 共20页第8页JJG (电子)040 30-89 DATA DCT 搜测试台START键，VKT屏幕显示校验项目和对应的号码如下z项目号项目名称0 ANALOG COMMON E O 2 El 3 EAO 4 EAl 5

12、 50 6 51 7 EBo 8 EB1 9 ECO 10 ECl 11 DP51 12 DPS2 13 DPS3 14 PMU 15 ANALOG REF 16 SAO 17 5A1 1 X X 指定打印数据单计算机等待输入项目号，首先执行的必须是0号(即零点校输)，然后依次送入待检项目号，按START键后，系统进入岛该项目检测，VKT屏幕提供一系列提示，按提示逐步执行检测.注意:数字电压表及示波器必须浮地连接。11 TCOM缓冲器零点的检定.744 T JJG (电子)0 40 30-89 共20页第9页检应系统总电源失调误差.按START键，VKT须对应号码Ilot，测试头安装TVFY板

13、.11. 1 外接DVM(数字电压表)，负端按PMV(精密测量单元)ANALOGl板的检测点TP斗，板位置SLOT52-F6。正端接ANALOG1 TP-5 , DVM读数应为O.OV，士O.05mV。11. 2 装TCOM连接器(p.N. 97739110)，将主机模拟地线连接到TP-2和3X1缓冲器板上的TP-3oDVM负端jTP-3，正端到TP一5，读数应为+40OmV，士1mV。11. 3 DVM正端连接TP斗，读数十4OOmV，士lmV。11.4去掉TCOM连接器。被检测试台联机。连接DVM负端到联机负载板TP(标记TI-lRC)。正端到TP-3(SLOT SI-3)。DVM读数应为

14、O.oV，土O.lmV。11.5连接DVM负端到PMUANALOG 1 TP-4，正端到jTP-l (SLOT S1-3)，读数应为O.OV，:tO.1mV。11. 6 连接DVM正端到TP-5(在转机柜中双DPS板SLOT53-22上)，TP-:5是J-B连接器上第一个测试点。DVM读数应为O.OV，土O.lmV0 12 0组基准电压的检定检定内容项目号板位置EO 1 S1-1 EAO 3 S1-1 50 5 51-1 EBO 7 51;2 ECO 9 S1-2 5AO 16 51-2 对于每一个检定内容，输入相应的项目号后，做以下步骤z745 共20页第10页JJG (电子)04030-8

15、9 JiG (电子)04030-89 共20页第11页12.1 检定板上的DACDYM负端接PMUANALOG 1 TP-4，正端接DAC(xx) -15。其中xX =H2，对应Eo，EBO; D2对应EAO，ECo; B2对应So，SAo。依次按START键，DYM读数应顺次符合下列数据:O.oY，土0.5mV10. 23V，士1mY -10.23Y，土1mV 10. 23Y，土1mY o.oy，士1.0my-10.24Y，土5mY 12.2 运放偏移电压检定DYM负端接PMUANALOG 1 TP-4 SLOT S2-F6，正端按J1/J2-(X)。其中x=L，对应Eo，EBO; F对应E

16、i.O，ECO; R对应SO，SA0。3 依次按START键，确认DVM应)1民次读出下列各值2o.oY，土5mV2.0Y，土1mV-1.0V，土1mV6.0V，土5mY13 1组基准电源的检定对于每一检吴三内容，输入相应的项目号以后，1&以下步事号:13.1 检定板上的DACDVM负端接PMUANALOG 1 TP-4，正端接DAC(xX) -15。其中xX =F2对应E1，EB1; C7对应EA1，EC1; A7对flS1 , SA10 依次按START键，DYM读数应JIIJ次符合下列数据zO.OV，土0.5mV10. 23V，士1mV -10.23V，土1mY 10. 23V，土1mV

17、 o.oy, :C l. omY -10.24V, :i: 5 mY. 13 .2 运放;偏移电压检定DVM负端接PMUANALOG 1 TP-4 SLOT S2一F6，正端接J1/J2一(x)。其中x=J，对应El.EBl; D对应EA1，EC1; S对应Sl，SAl。依次按START键，确认DVM)I民次读出下列各值:O.oV，土5mV，2.0V，土11卫V，一l.oY，:i: 1mV, 6.0V，土5mV。检定内容项目号板位置E1 2 S1-L EA1 4 S1-1 S1 6 S1-1 EB1 8 S1-2 EC1 10 S1-2 SA1 17 S1-2 746 14 DPS的检定检定内

18、容项目号板位置DPSl DPS2 DPS3 噜iolM。04E占4A.，.EAS1-1 51-1 S1-2 对于每一个捡起内容，输入相应的项目号后，做以下步骤z747 共20页第12页JJG (电子)04030一的14.1 连接DVM负端到PMUANALOG 1 TP-4，连接DVk正端到DAC(x X) -150其中xx=巳7对应DPS1，DPS3; G7 对应DPSz。依次按START键O.oV士O.马ElT DVM读数应顺次符合下列数据z10.23 V土1mV 一10.23V士1mV 10.23V土1rnV O.oV土lmV 一10.24V土5mV 14.2 遥接DVM正端到J1/J2一

19、(X), 负喘不变。其中X=-C对应DPSl，DPS3;人对应DPS20依次按START键，DVM读结j主)1民次衍合下列骂(括:O.OV , O.OV , 2.0V, 一2.0V，土0.5mV，土10mV 土10mV , 士10mVo DVM负端连接不变，i丘端依次连到测试负载板DPS13(t 输出上。依次按START键，DVM读数应)1民次符合下列数据=O.oV，土0.5mV，20.0V, 土10mV , 一10.0V，土10mV。15 PMU的检运校验精密测量单元电压和电流的俯T。VKT输入检寇项目对应号码15以后，DV，l每读出一个数据或进行一项检定后，汰。748 按下表进行检寇，按S

20、TART链-JJG (屯子)04030-8U -_.= DVM连接位置(ANALOG 1板上的检测点)正;TP-7;负;TP-18 正;TP-5;负;TP-4 正:TP-l;负:TP-5 正:TP-8;负:TP-5 正:TP-3;负:TP-5 正:TP-7;负:TP-5 E: TP-18:负:TP-5 正:TP-14:负:TP-5 正:TP-15:负:TP-5 正:TP -16:负:TP-5 去201二第1;) JJ-C 实际值OV，土50VOV，土50V-10.23V，土100V十10.24V，0.3mV OV，土100V-5. 110V，土3mVOV，士100V10.24V，土100V10

21、.23V，土100V。V，士100V5.12V，士3mV1.1rnV，士100VOV，士3mV一51.10V，土100mV-20.44V，土40mV-5.l1V，土10m-1.022V，土2mV5.llV，土10mV1.022V，士2mVOV，土100j.LVOV，士100VOV, :t O.5mV g蝠-回E配-罩匾-749 二!芒芒!旦oIJr歹r?结:引i14叹页肌(何屯怔m二子刊严月)叫续呈奈罢DJVI运接仨旦(ANALOG 1板上的检测点)实际值主:TP-I0:负:TP与I OV，士川VTP-!; , I 示泼器探头到示设部地线到TM j 轮出波形内为阳则占空比DVMlE端:TP-O

22、，负TP-RCI -1.石?二二iS 时间基准量检定对定时单元的检定，通过运行!全查理序。查程序时，会自动停止在每一个待检查状态，信息，用示波器检定时钟信号的精确定R!叫定时单元的检定项目和方泣装入检定程序JOB S10C STAT X (X=3.4) LOAD S10TIM DATA DCT S-10系统在执行检同时VKT给出检应按测试台START或回车键，VKT显示下面;命运项目1TEST1 = TZERO TIM1NG CALIRRAT10N TEST2 TIM1NG GENERA TOR 1-8 1NIT1AL CALIBRA TION TEST3 = TIMING GENERATOR

23、 1-6 DELAY 8r飞VIDTHCALI BRATION TEST4 = STROBE 7&8 DELA Y & WIDTH CALIBRA TION I TEST5 = S立EWINITIAL CALIBRATION AND VERIFICA TION TEST6 STROBE 7&8 ROUNOTRIP VERJFICATION SELECT TEST NUMBER (1-6) 750 第15页对8钟波7茧的测量，TTLr己?齐白测试点在被形的500在位置，ECL G的测试点立一1.?5V位莲。JJG (电子)04030-39 共20页17 时钟起点的检定(Tzero)当系统已经在工

24、厂做完町、t:it好调整之后，这部分憧定不需要重复，除非更换系统定时单元的线路板后。输入对应号码1，VKT则显示下面内容:TESTl = TI.ME CONTROL JUMPER CHART (INITIAL CALIBRA TION ONL Y) TEST2 = TZERO TIMING VERIFICA T10N TEST3 = EXIT TZERO TEST SELECT SUBTEST (1-3) 照示波器和计算计数器检测系统主时钟信号的精确定时。依次按测试台启动键，VKT会给出每一步检定的详细情，忌，指出示技嚣的观测点和需要调整的位置。这部分检定TESTl需要4步完成pTEST2需妥

25、3步完成，TEST3需要8步完成。18 起时立生器1，.，8起点检定南入对应号玛2，VKT显示下围内容:冷冷冷女冷.l(，t半女才:*玲斗目女叔斗，0争主萨卡食玲卡杀女1NITIALCALIBRATION OF T.C.S 1-8 A萨食卡玲单玲玲半冷卷卷卷冷冷玲玲玲排主萨卡女女INIT1AL CALIBRAT10N 1S TO BE RUN ANYT1lIE T.C.-A IS REPLACED, A T.G X4A IS REPLACED-OR THE i T.G.XS ARE SWAPPED AROUND. TH1S 1S TO INSURE ii ST ABLE OPERA TION川

26、TIME1 T.G.X4-A 15 REP山叫751 第17页用示波器按VKT给出的各种检测点位置，逐点检测时钟信号均精确定时。选通时钟发生器7-8延时和宽度的检定共20页JJG (r虱子)04030-89 -JJG (电子)04030-89 第16页共川页20 BOTH DO T日E1N1T1AL CALIBRA TION ON 输入对应号码4。VKT显示下面内容:CORRECT ADJUSTMENT OF ALL T.G.S. TEST1 = 1N1T1AL CAL OF T.G.S 1-8 SLOTS 13& 15 TEST2 = 1NITIAL CAL OF T.G.S 1,2,3,&

27、8 SLOT Sl-13 TEST3 = 1N1TIAL CAL OF T.G.S 4,5,6,&7 SLOT SH5 TEST4 = EXIT 1NITIAL T. G. CALIBRATION 1NSURE TESTl = STROBE 7 & 8 IN1TIAL CALTBRA TION TEST2 = STROBE 7 & 8 ALlGNMENT VERIFICA T10N TEST3 = STROB;: 7 & 8 MIXED RANGE VER1F1CA T10N TEST4 = EXIT STROBE 7 & 8 CALIBRAT10N SELECT SUBTEST (1-4)

28、1NITIAL CALIBRAT10N NEEDS TO BE RUN ANYT1ME T日EI T1ME CONTROL- A 1S REPLACED, A T.G.X4 IS REPLAED, OR THE T. G.X4-A S ARE SWAPPED AROUND. THIS 1S TO j mSURE S?ABLE OPERATION-用示波器检定各时钟信号的精确定时。-dddfJTioFUUalli-用示波器检定时钟信号的精确定时。检测信号在TGX4板，具体位置参照VKT给出的检定信息。19 时钟发生器1-6延时和宽度的检定按测试台启动键，VKT等待回答所确定检定部件的对应号n码，

29、键入对应号码13，则VKT显示下面的内容:(其中TEST币1-4为此项检寇的内容和顺序)SELECT SUBTEST (1-4) 各检测点的具体位置自VKT指示。时钟俯斜的检定输入对应号码50VKT则显示下面内容z21 TEST 1 = IN1T1AL TEST HEAD SKEW CALIBR么TION(DRIVER AND COMPARATOR) TEST 2 = TEST日EADSKE飞1EXAM1NA T10N (DRIVER AND COMPARATOR) TEST 3 = EXIT SKEW TEST SELECT SUBTEST (1-3) NOTE: TEST 1 1S A F

30、ROM SCRATCH PROCEDURE AND TEST 2 1S FOR SYSTEMS T日ATDO NOT REQUIRE 1NITIAL TEST HEAD CALIBRA T10N. TEST1 = LOCAT10N AND LAYOUT OF TGX4-A BOARD TEST2 = TIM1NG GENERATOR 1-6 DELA Y &飞NIDTHCALIBRA TION TEST3 = TIMING GENERATOR 1-6 DELA Y &飞.VIDTHVERTFICA TION TEST4 = EXIT T1MING GENERA TOR CALlBRA TION

31、 SELECT SUBTEST (1-4) TEST2 1S TO BE USED IN CONJUNCTION W1T日SIOTIMTEST2 FOR 1NITIAL CALlBRATION. 753 i 2 共20页第18页JJG (电子)04030-89 这项捡起用系统运时单元的边远!;J钟7-80选通时钊I循环移位，测量各通过汀钟信号的精确定时。这部份检定要求有两个偏斜适配器(PN97239939)和一个SKEW/RTD电缆(PN97739085)。22 选通时钟7-8的位移功能检定输入对应号码6，VKT则显示下面内容:1 TEST 1 = ROUNDTRIP VERIFICATION

32、 CHART-TEST 2 = STROBE 7 & 8 ROUNDTRIP VERIFICA TIO N TEST 3 = EXIT ROUNDTRIP VERIFICA TION SELECT SUBTEST (1-3) 执行程序，如果对于每一项子测试VKT都显示继续下一项则检定合格。23 系统的检定和诊断系统的检定和诊断是利用已通过校验的基准电压，时钟系统和靖密测量单元(PMU)对全系统进行检定测试和诊断。检定步骤如下:23.1 测试头安装TVFY板。调入程序JOB S10D STAT X (X=3.4) LOADHSTVY DATALOG DCT USE CP 要求打印全部测试数据和图

33、形。23.2 按START键，输入测试号0，确定系统自动检定所存项目。754 y 1在JJG (电子)04030-89 共20页第19页捡起肉窑和对应测试号如下:测试号检定，内容Short regis,cr icS (短寄存器检测)2 Time delay test (定时延迟检测)3 Sta! ion controllr long register test (台站控制器长害存器检测)4 Local m巳roorytes (图形存贮器检测)5 Mernory control tes i: (存储器控制检测)6 Local memory cycle steal (因?在存贮器周期窃取检测)7

34、Loop coun!-er test (循环计数撰检测)8 Test llcad 1巳akagetest (测试头满电流检测)9 PMU test (精密测量部件检测)10 PMU Clamp t(st (精密测量部件钳位检测)11 I/O open impedance test (I/O开路阻扰检测)lZ Interenal node test (内部节点检测)!:) Test head dc test (测试头直流精确度检测)755 共20页第20页JJG (电子)04030-89 14 Driver impedance test (驱动器输出阻抗检测)15 Pin electronics

35、 function test (管脚电路检测)16 Pin control II test (管脚控制电路E检测)17 Timing generator assignment test (定时发生器赋值检测)18 Timing generator delay width test (定时发生器延时和宽度的检测)19 Control function test (控制功能检测)2U Latch mode test (锁存方式检测)系统从1到20连续执行，每一项都应通过，并打印检定数据或图形数据。五栓定结果的处理和检是周期24 经以上各项检定合格的系统，出具检定证书，检定不合格的系统，出具检定结果通知书，并注明不合格项目。25 检定周期为一年，必要时可随时送检。756