JJG(电子) 04031-1989 9200型大规模集成电路测试系统检定规程.pdf

1、7323 中华人民共和国机械电子工业部电子计量器具检定规程9200型大规模集成电路测试系统JJG(电子)04031-89行)原(试北仁出忙呻川UM吓一ZM啤压撞撞撞电晴町iE共26司第1页JJG (电子)04031-89 9200型大规模集成电路测试系统试行检定规程一句匾。一一一讪=-=.，.，._=，=一一一一，、岳。巳wcr.。纠，.路也1;)，.!:I:，t:，;去也巳Jr.巳c.二、! jjG(电子j jm-89; 足。阳的白白的町的回伺机的坷的tn明的S9200墨旦大规模集戒毒!It苦读1试系统世;行检定规程本规程适用于9200型大规模集成电路测试系统的检定。一一一一一一一本检定规梧

2、:经机械电子工业部于1989年12月4日批准，并自990年10月1日起执行。述9200型LSI测试系统是日本MINATOELECTRONICS公司的产品.可测试TTL、CMOS、NMOS等数字集成电路，包括中、小规模数字电路、存储器，微处理机芯片及接口电蹄等等。系统最高测试频率为loMHz，最大管脚数目为480概技术要求1. 直流测量单元1. 1 加电压测电流(VFIM)胆口单位:机城电子.1:业部电子计量测试研究中心起草单位:集成电路测试技术中心骑山微电子公司I :l: (0附4mV+4mV川mA)|土(0.1%+5m V +4m V /100mA) 士(0.1?+8m V +4m/100m

3、A) I :l:( 0阳1削7十-/100mA)度确住户分辨率(mV) i9缸A100加电压量程(V) 4.095 8.190 16.38 30.00 俨-L、l主要豆豆草人:李茹(集成电擦测试技术中J巳)郑木财(前Ll_r微电子公司)10MO 三检定条件6 环境条件环境温度:20士20C:相对湿度:450奋75%;大气压强:86106kPa: 量程80mA 150mA 供电电源:220V士2%;50Hz: 10奋。7 检定用设备7.1 示波器带宽500MHz，四踪准确度土0.5ns，参考型号7904.7.2 数字电压表五位半，准确度0.0050奋，参考型号8520A.7.3 脉冲信号源参考型

4、号EH137A.共26页第3页i 准确度土(1%+lmA) 川mA)761 共26页第4页电JJG (电于)04031-89 7.4 六位数字程序电源准确度。.0005%参考型号TR-6120四栓建项目及栓定方法(一)外观及工作正常性检查8 被检系统应附有详细的技术说明书和随机附件。被检系统应无影响正常工作及操作的机械损伤，各指示灯应亮，拨动开头走位正确。接通电源后，系统能正常工作。9 检寇用设备齐备。10 系统接通电源半小时以后开始检定。11 检定以前，被检系统应首先通过主控计算机，外设及加试部分的自检程序。9200系统主控制机是LSlll/03，外围设备有磁盘驱动器、磁带机、纸带读出机、穿

5、孔机及行式打印机等。运行各部分的检查程序，应全部通过。9200系统测试部分有8个自检程序(PMX92A，.，PMX92H), 检查时钟、功能、直流单元等是否工作正常。检走前应全部通过。(二)直流测量单元的检定12 VFTM准确度检定12.1 检定方法执行检查程序，程序设定使直流测量单元的VF部分输出电压到精密电阻，输出电压但为各量程的满度值和十分之一满度恒。电流测量部分(1M)测出回路中电流，并打印测试数据单，同时用外接数字电压表按附录2表l所列的管脚号逐点测量其实际恒，并填入打印数据单REMARK栏内。762 JJG (电子)04031-89 12.2 检定步骤共26页第5页12.2.1 从

6、磁盘调入检查程序程序名:DSVFIM :1KRTES! TESTB TESTER ALL CLEARED TESPI! PID1=DSVFIlVI PID2= Z TEST STATION=A BY=兰兰兰主:检定人姓名DEVICE NAME=TB9200 LOT# =9200/48一ICOMMENT=DCVFIM ACCUROCT CHECK ! OUTPUT=LP: ! p引TERMODE=! LOG MODE(D =DC ! TEST# =1 ! COND# = t FUNC MODE= NOR ! LOG MODE(z) = Z TES Z MKR t z 注:其中下标横线的字符为键盘

7、输入内容，. )为回车键，为控制键。12.2.2 测试头安装测试负载板TB9200Z。精密电阻已焊接在测试板上，电阻准确度应保证优于0.05%763 共26页第6页JJG (电子)04031-89 测试板上精密电阻位置对应的管脚号如下:管脚(Q) 管脚(Q) 管脚(Q) 宫脚(Q) 1 OPEN 6 500k l! JOk 16 200 210M 7 200k 12 5k 17 100 3 5M 8 100k 13 ?, k 18 50 4 2M 9 50k 14 1k 19 20 5 1M 10 20k 15 500 12.2.3 按测试台START键，系统执行检测程序，并打邱检测数据单如附

8、录2表1。12.2.4 数字电压表地线接测试极地，正端按程序设定顺序接测试板管!向位置。12.2.5 设定系统单步执行程序，按测试台的START键，每按一次，系统停在待检定位置，检测一个点的数值，将数字电压表的读数记在输出数据单7的REMARK栏内。(数据单中DATAVALUES栏为系统测量值)(见附录2表1)。13 IFVM准确度检定13.1 检定方法执行检查程序，IF输出恒流到精密电阻，输出值为各量程的满度值和十分之一满度值。VF部分测量电阻上的电压值，并打印数据单。同时用外接数字电压表逐点测量其实际倍，并填入数据单内。(附录2表2)13.2 检定步骤检寇步骤同VFIM检定。程序名:DSI

9、FVM 测试负载板:TB92002 14 钳位电压设寇准确度检定14.1 IFVM钳位电压设定的准确度为z程序设定值土3V.14.2检定步骤764 JJG (电子)04031-89 共26页第7页果。程序输入过程如前所述，运行检查程序，打印检测结程序名:DSCLMP 测试负载板:TB92002 15 VFIM , IFVM测量准备时间的检定运行检查程序，检测结果填入附录2表3、附录2表40程序名:IFVM DSVF T1 (8A，.，800A) DSVFT2 (8mA 150mA) VFIM DSIFT1 (8A，.，800A) DSIFT2 (8mA,., 150mA) 测试负载板:TB92

10、00 2. (三)程控电源的检定16 电压输出准确度检定16.1 检定内容三组偏置电源BS l, BSZ , BS3 三组驱动电平电源VIHt/VIL1 ,., VIH3/VIL3 两组比较基准电源VOH1/VOL1, VOHdVOL2 15.2 检定方法执行检查程序，程控电源以程序设定增量，输出量程内最小到最大各值(oV除外)。系统直流测量单元测量输出值并打印数据单。数字电压表接程控电源输出，测量实际值填入附录2表5中。1(3. 3 检定步骤写VFIM检定过程相同。程序名:DSDPS 测试负载板:TB92003 17 程控电源(BS1，.，3)负载能力检定17 .1 检定方法量程内选8个典型

11、电压值2土3V，土7.5V，士15V，土3oV 765 共26页第8页JJG (电子)04031-39 JJG (电子)04031-89 共26页结9言:系统直流;则是单元检测驱动器输出伯:。应对系统每一管脚驱在越边+i1立岸，打印检测数据，并接数字电压表p测量实际位道入附录2表7。程序名:DSDRV 测试负载板:TB92003 20 驱动器各种调制的时俯、波形及三态方式的捡起20.1 检定方法用示波器在测试板各管脚上检测驱动器输出波形。248告;立即分别与第1管脚比较，驱动器输出波形的起始时间和li皮形的巳升、下降时间，时偏误差在允许范围内则检定合格。20.2 检定步骤程序输入过程如下:MA

12、ETES L TESTB TESTER ALL CLEARED TESPI PID1=兰兰主兰兰兰:检定项目程序名PID2=号TES 2 MKR 2 分别接不用电阻，产生最大负载电流(150mA)，用系统主流测量单元测量所输出的电压值并打印结果。数字电压表接BS3输出，实测值填人附录2表6，17.2 检定步骤运行检查程序，打印检测结果。程序名:DSBS 测试负载板:TB92002 18 IDD测量检定IDD是系统测量器件电源电流的一种方式。18.1 检定方法IDD测量器件电源电流只给出测量合格或不合格(即GO/NOGO)的结果。对IDD测量的检定采用BSl输出设寇值加在电阻上，形成不同的器件电

13、流值，系统的累加器不断修改IDD的设定值，比较GO/NOGO呈合格与不合格的交点，并打印此点的值，与流经电阻的电流值比较，符合准确度要求则检定合格18.2 检定步骤运行检查程序，系统自动打印检测结果。程序名:DSIDD 测试负载板:TB92002 0 (四)驱动器检定19 驱动电平准确度检定19.1 检定方法程序设定程控电源给出驱动器电平(直流)。设定数值如下:俯dJ后户口H/白则由悯-iv称U时if式名反人式均方开取训方方/程器丑或定动阳或与异检驱页J 各VIH 1 十2.4V十3V+10V TIL VFf 飞TIL十O.8V20VOV I1十5V-5V -5V 十5V-10 一20766

14、ISKEW l-.TSKE飞矿I1sm ;lSAI MSEI 76 1 6 JJt三10 -:f JJG (二)31一日(、马民葫若是1皮%D且VxxV (共-xx沟摇手j掉在出;幅度O.4V，3V, 10V , 20V)。检寇三态方式TRIBY X (其中X为三态方式选二之归A豆豆5)。测试负载板:空负载板(五)比较器检完21 比较器灵敏度检定21 . 1 检应方法出号摞输出O1V脉冲，将脉冲信号依次加却每一管脚，执行程序，系统分别对每一管!闯进行检测，打印显示图形。21.2 检寇步骤程序输入如前。现其二十T印格式过程如下:7 68 TESLG t TESTER=A! BY=X x x t;

15、检寇人姓名DEvrCE NAME=MODEL EH 137A t LOT# =9200/48-IA t COMMENT=COMP A.RISON ACCUR A.CY BY VO H: (VOL) _j OUTPUT=P: t POMER MODE= t LOG MODE (1) =MAR t TEST# =1 COND# =10 t (11) FONC MODE=NOR t LOG MODE (2) = 1三JJG (电于)040:31-89 共26页第11页TES 二MKR t 2 程序名:VOH RANGE VOL RANGE 测试负载板:BNC板22 比较器基准电平准确度检定22.1

16、检定方法程序设定比较器基准电平为OV，十3V，十7V，-3V, 一7V，BSl作比较器的输入电平，BSl电压但在设定范围内变化，比较器判另ij失效时的BSl值为实际基准电平值，与程序但比较应在误差允许范围内。检定结果填入附录2表8022.2 检定步骤程序输入过程如前。程序名:DSCMP 测试负载板:TB92001 23 比较器输入电压范围及读出时偏的检定运行检查程序，打印检测图形程序名:VOH RANGE VOL RANGE HVC SCAN LVC SCAN 则试负载板:BNC板(六)程控时钟检定执行程序，在测试负载板上用示波器检测程序设定值的准确度e检起项目程序名时钟延迟校验769 共26

17、页第12页JJG (电子)04031-89 (CLOCK DELA Y CHCK) .时钟宽度校验(WIDTH CHECK) .时钟分级校验D豆LAYWIDTH (SPLlT CHECK) SPLlT 测试负载板:空测试板(六)功能控制部分检定功能控制部分通过运行系统各功能模块的检查程序检测，并nr:p检测结果.各模块检查程序名如下:检寇内容程序名输入管!即矩阵(INPUT PIN MA TRIX CHECK) INMAT .地址多路转换(ADDRESS MUL TIPLEX CHECK) MUL TCK .实时测j式管脚屏蔽控制位(REAL TIME CARE PIN MASK) REAL

18、TIME BIT RBO ,.,3 R TCM 1 REAL TIME BIT RB47 .地址丘常和刷新方式校验(ADDRESS CHECK) NORMAL ADDRESS CHECK REFRESH ADDRESS CHECK .选通的选择和实时控制技验770 (STROBE CHECK) STROBE SEL CHECK STROBE REAL TIME C HECK STROBE OR CHECK RTCMZ NORMCK REFCHK STSEL1 ,., 4 STBOR JJG (电子)04031-89 去26页注13页COMPARATI二BYST且OBE0 R CO.M PO:K

19、 .选通位置极限的校验(STROBE POSITION) HIGH LIMIT CHECK HILIMIT LOW LIMIT CHECK .调制校验(MODULATION CHE CK) OR MODULATION CHECK AND MODULA TION CHECK EXC MODULATION CHECK DRIV MODULATION CHECK 蹦试负载板:空测试板LOLIMIT MSOI MSAI MSEI MSEDI 五检定结果的处理及检定周期24 经检定合格的系统，出具检定证书:检定不合格者出具检定结果通知书，并注明不合格项目。25 检定周期为一年，必要时可随时送检。771

20、共26页第14页JJU (电子)04031-89 JJG (电子)04031-89 共26页第15万:咽气续表附录1栓定证书格式(略)测试条件了iJj:ji库且:_.:t. 飞vFRL(Q) i范围基准值管脚数据附录2检定记录表格式+30V 500k 800!lA 60A 6 +4V 500 8mA 8mA 15 十4V5k 8mA 0.8mA 12 装1VFIM准确度(的+8V 1k 8mA 8mA 14 +8V 10k 8mA 。.8mA11 测试条件测量+16V 2k 8mA 8mA 13 +16V 2fJ k 8mA 。.8mA10 VF RL(Q) 范围基准值管那数据十30V5k 8

21、mA 6mA 12 十30V50k . 8mA 0.6mA 9 +4V 500k 8A 8!lA 6 +4V 50 80mA 80mA 18 +4V 5M 8A 0.8A 3 +4V 500 80mA 8mA 15 +8V 1M 8A 8A 5 +8V 100 80mA 80mA 17 +8V 10M 8A 0.8A 2 十8V1k 80mA 8mA 14 +16V 2M 8A 8A 4 +16V 200 80mA 80mA 16 +16V 2k 80mA 8mA 13 +16V 10M 8A 1.6A 2 +30V 500 80mA 60mA 15 +30V 5M 8A 6A ，。、十30V

22、5k 80mA 6mA 12 +30V 10M 8A 3A 2 十3V20 150mA 150mA 19 十3V50 150mA 60mA 18 +4V 50k 8A 80A 9 :一7.5V50 150mA 150mA 18 +4V 500k 80A 8lA 6 十8V100k 80A 80A 8 表2IFVM准确度(A)十8V1M 80A 8A 5 测试条件测量十16V200k 80A 80A T IF RL(Q) 范围基准值管脚数据+16V 2M 80A 8A 4 +30V 500k 80A 60A 6 十2A2M 十4V十4V4 十30V5M 80A 6A 3 十1.6A511 +8V

23、 十8V3 +4V 5k 800A 800!lA 12 +1.6A 10M +16V 十16V2 十4V50k 800A 80A 9 十8A500k 十4V+4V 6 +8V 10k 800A 800A 11 十60四A500 十30V十30V15 +8V 100k 800A 80A 8 +150mA 20 十4V十3V19 +16V 20k 800A 800A 10 十150mA50 +8V 十7.5V18 +16V 200k 800A 80A T 十150mA100 十16V+15V 17 +30V 50k 800A 600A 9 + 150mA 200 十30V十30V16 772 77

24、3 油MO到栓查加电压到Et!施(VFIM)稳定时间准确度表3精-o四川己。击咐)。在-!C30V 1 lv I 3川4V8Vjl叫8V 4V VF 44AF 选道时间选适时间1M 1M I I 10 15 20 25 30 35 300 50 60 70 100 80 90 400 己白(E山30品。巳ig30V 16V 8 V 30V 16V 8 V 4V w一叶了4V 续裴3选适时间讲MO剧精=到44mF 如NOW州栓量加电珠测电压(IFVM)稳定时间准确庭IF (A) 81201 80 12叫8叫主11601叫161 80 11601叫叫600VM 通间。选时也8 1 6160 rFC

25、!A) 21 1.61811. 6 4V I 8V I 16V 1 30V 表4通问时选时归440 精EM用问问白(mw咐)ZOM川ig口。FJ叩)CB巳ig辘石同30V 16V 10 1 15 2 20 4 25 6 30 B 35 10 40 15 45 20 50 25 60 1 0 70 3S 80 40 90 50 100 60 150 :W (J 2UO 250 300 500 续表4IF (mA) 80 11川6I 8! 16 8丽5011. 5 f 6 15 I 60 1150 1 VM 8V 4V 选通时间(ms) 如NO同30V 16V 4V 咀iqAALPOOOOURun

26、URunURUAUnununu112233456切444 旧机Ma剧精MO到口。(EL叫，)20巳iE值-JH国同时一哪一ZHB巴一程序自川忖叫什讨刊刊刊坤一值-NJokr一一际-NEOKY十一-zokr实-HE一一序期瞌门一12345678工程预悔一十十十十十+十十一-ghr一一旦的吕二一-NJHkr-一际fill!-il-il!1i-i!1一-NEkr一一实El-Ill-HZE一序期拮川J一12345678mMUm-程预说川口一十+十斗十+十十十十二值-EQ二际-N自己-实-ZLQ一序期瞌门一123程预趾P一十十+序程姐。-44程且且趾口一十十检查各程序电嚣(DPS)设置电卒准确度AAA川

27、哩。十+十8十8+8 十16+16 +16 十16十80十:l()斗lO寸J()十4+5 十6+7 十8+10 十12十ltl寸16十1日十20十.(;十JIJ表S叫叶己(-EV)C品。巳lgU巾MOU只且巴问续表5值JEE一际一|l!实一同时间同时间-*l-程序值何一斗才J。也Ef-!i|-NEO一际一-|!l一叫JC头-HZC一山厅期拉门一12345678程预自一一一一一一一-、巾以)二的AHP一值二的EHV一际-N呻阿-二十NEHK-fHJF-EH-F范值)-0245出即幢何一寸寸4值一白川。一际一时的nHQ二itbil-J川-1川卜川时-EV 序期值)-02468260-8程预谴何一斗

28、斗叫斗斗叫寸寸寸一们ll|-li-li-只序程抽。-4444888BMU凶四川川划到刘一*程量肚们一-一一二一-一一一一一一，一飞e一，一44。共26页第23页JJG电子)04031-89 JJG (电子)04031-89 共26页第22页表T。on叶nHV14吁ld4 VSPO伊i，表8十8十四十四十30+30 -.1 检查空辑与满载时电源准确踵-。鸣叫Vnb-称-B一名-il-ll!|lllt的一一cu-JV-EUk 查-E全一!=lllli-1111ill-被一1-一肉、4-B-LL流)后二电A-到omo0000二浅m-PAhhhMMM闭/过二如(-+十扪查-1|1:!112且怕也)JL

29、卢bpb二-主。一3311日回到MM11叩-+十+卡卡刊a /LJ-55 夜。一3311臼归刘MMU+十川一hut，一、值一国。一448门口、-+置设值望现咛lhH。344vDtit&iijFL 。十1500 十150。十1500 H3wb iF吐气55ool-1133 一一一一一叫叫wbwb -whdwDnunu t巧teiiQdqd-F一一作。在unonUA佳。06嘈i唱i内司、3甲-一一一叫叫16 1 i QUQd句u1iqqu飞-qM句但句吨，年l、一781 780 第25页共26页JJG (电子)04031-89 JG (电子)431 89 第24页共2页检查输出比较电平VOH，VO

30、L设置准确踵V I -3V I一白飞7- PIN非表8-DnbT 续表7! lrTt_T i f rTT I.,.TTT A,-T. r .TTT T i .，. -:. I _ ! _. _ I _ f P旧|士?!VIL?iVIL;vmvIIJV旧VIL! VIH: VIL I V胆;VIL号!2川31 32! _;n 00 34 I OOQUAHUT息。49uA嘻tA4BAa-A4h44rA 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24.1舆一一一一甲一午一-.=一一一WDnbH-QUGdnu-9白qu4-MAURUV问ioo333334444444位4r783 782 共26页第26页JJG (电子)04031一89, 续表8+7V PIN非+3V 。v-3V 一7VVOH VOL VOH VOL VOH VOL VOH VOL VOH VOL 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 /fi 41 42 43 44 45 46 47 48 . 784