1、q .J 中华人民共和国航天工业部嚣标准Q.J 1 501 -88 E牵化需晶体立错密度测试方法1988-04-25发布1988一11-01实施中华人民共和重黠天工盘韶发布中华人民共和医航天工业部部标准暗化睡晶体f主错蜜度嘱试方法QJ150HI8 1 主皇室内容与适用范雹本标准边走了南腐蚀法il!J言蹄化精单品的位错密度4二标准适!llf li牵f七百毒品1辛门11 )面if守诺的温辰手写密度消最被i都很偏离，1 1 1) 1哥哥;kf32 n事理穗化阔单是经适当的潜蚀液i药法忌.在?黑体在缺泊的地h就会形成i占3击性坑手ol1; fi2 flf 痕，在佳话线与11 ! )碌的定点-_f;dl
2、i!fL旱三111形塔金特i辰1慧镜袤干涉IH衬!王银镜4以观察到各持要想的缺!机3 ;li式仪器与试剂3. 1 测试仪器金权!追缴镜去于i辛辛H衬可言唆镜3_ 2 试和a. 6声辙，在堪。5%以t.给沂地令h. ifl格曦河2分恢掩zx 1O-3cm2之l司、记录视场面内位镶蚀坑总数。凡种常见的缺陷特征见附录A气B 结果处理6. 1 位错窑度的计算晶体部位错密度楼下式计算:式中到r位错密凄.于Icm: 到位错浊坑数.个-S 视场累积cm2_.，2 :D = _n_ S Q.I1501-88 6. 2 n值的确定a. 测l点取法取网点.一点是lIJi测丽的自然中心.另一点是被测面内|悔自然中心
3、外位错密度最高的一点b. n值计算两点数据的平均值为n(1白、3 QJ1501-88 猢录A几种常见约缺珞(参考件1Al (IIP馄湿泣错浊坑，主黑色三角形.且图AIA2 (111)磅面位错浊坑旱白色主角形，觅i哥A2飞A 3 I主错待?主镶边坑按川J)jj牛肉挂PIJ成行.每蚀坑的底边都在惊:一条宦线上R蚀坑数目每mm大于10个.暗号梅成了主结推.长度不远Imm若不川.见i翌J是3A 4 小输安品界:lI错蚀坑呈现一系列以给顶着底边的排手IJ形式，豆蚀主主敏每回m菩f 15于.则将戒小角度占主界.士是度不足Imm苦不计1总i萄A4、A 5 君主纹单品均出现的不连续民域-裂纹两边往往就是靠平理00.!足i到A5 A 6 ( 11 ，)捂住错饿坑=旱寄腰三角彤.也医主84 Q.f 1 501 - 8 8 i苦1A I : 1 )镜面在法诠坑(100 x ) p l-切 l弩，1.2(lll路面1万错在挂坑(200 x ) 5 Q.l l 501 - 8 8 i萄A3 I命结排(200 x ) 自司A4小梅毒品荠(:?50 x ) 6 QJ 1 501 串串-r e -圄回号￥i !辑A5 辛苦纹( 25:) x ) A A 着t层A6(IOf)J原位读位主坟(25nX)亏(1.1 1501 -88 附加i茸辆丰标准也就大王业部七口八所提出丰标准出航走王业部八三五八既负责也与王a
