1、中华人民共和国电子工SJ 2195 81 电子级一l一本标准适用于牛导体材料、分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮，按其使用要求电子级氮，分为三级，代号为2电子E级氧代号为:DZN2 1: 电子E级氮代号为IDZN2 :U: I 电子I级氮代号为zDZN且一1 1 技术要求1. 1 电子应符合表1中的要求z1 电子银氯搜指标序号指标名称E级E级I级一一一一一一一!一一一一一一一一一-一一一-一-二l 氮含蠢，伪2岁99 99自699.9983 9 .99 一【一一2 氢含章.ppm 2 5 视只体工艺要求确7J一一-3 氧含量.ppm 1 1 0 ) 4 一氧化碳十二氧化碳含量.pp
2、m O.G ) & 一一一一一一一一一一一一5 甲统含孟.ppm 。.5一一-，一一-一一一一一一1一一6 7K价含量.ppm 3 1 0 -一一二一一_.I -一一一一一- 颗粒合适，个/子:t.; I 3 ( 0 .2m)l (.!-1ffi 视具体工艺要求确何一1-一一一一一一一一一-1一一一一_o!一一-i-._-千卢卢一一叫8 用选举例用于部分大| 规模和越大规模集成电路及相反器件高温处j!1用于部分大规模和中小现模集成电路及相应器件高温处理用于吹扫，手煤等常温用气注，我111气体含量均为体积lt 电子工业部1981-0518发布1988-10-01实四-1-SJ 2795-87 1
3、.2 电子级氮的(C氮)按下列公式计丹:c .， 1 0 0 % ;:;g c杂式中zC咒一一电子级氮的体积百分含C杂一-杂质的体积百分含础。2 iit瞌方法2.1 电子氮中杂质古量应战表2规寇方法进2 电子级氯中Jl ，丁31质种类扒拉力Lk il;_号- -响F一-一一一1 氧GB 6285-86 一一一-一-一一一一一一一一一2 虱SJ 2807 -7 8 一一一月3 1: it 1战SJ 2 R 0 - 87 4 二叹化碳SJ 2802 -87 一一一SJ 2790-37 5 ;j.份GB5832.-86 6 颗粒SJ 2798-87 。检验方法名称气本中微量氧的l!Il运:也化学法d
4、 也下级气体中耳01:号在的训定方法气敏色诺:去电子级气lirl :毛!lI:一:1tf，碳的，II .二/立法写y:1转化色谱法电子级气体中ff量二氧化般的汩i!;立方法氢焰转化色谱法电子C气体中痕量水份的洲之方法目视;在点法气体rl微量水份的洲运也解?去也子级气体中颗粒的测定方法)(;散射法表gIU0.5ppmt:下氧合量剧，方法标准待之.(争。.3 m以下颗粒列定方法ff，准待F立，3幢a 3.1 电子级氮由用气单位的质iI检验部门按技术指标经常检验，应符合本标准的规寇-3.2 电子级氮的检验(取样)点在纯化装置至用气设备的管段。见下图所示z左f沪f.V)J、回一2-纯ft装世检验点图检验(取样)点的位置用气设备SJ2795 87 3.3 当检验点前的气据改变时，必须检验表1中27项各种指标，应符合本标准中的规定。3.4 纯化装。置至用气设备的管路、管接件和过滤器更换与维修后检验表中3和7两项指标，应符合本标准中的规寇。3.5 检验用的仪表与检验点之间使用的金属管道硬接连接，管道应尽量短、不得有叫和二次污染.t 本标准由中国电子学会洁净技术学会提出，由电子工业部标准化研究所主办.本标准由电子工业部第十设计研究院陈霖新和谭易和，电子工业部标准化研究所赵长春和北京市半导体器件试验中心周寇华起草和修订9-3一崎
