GB T 19955.2-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法 第2部分;临界前级压力的测量.pdf

1、ICS 23. 160 J 78 共GB/T 19955.2 2005/ISO 1608-2: 1989 真F晶2 级2 压Vapour vacuum pumps Measurement of performance characteristics一Part 2: Measurement of critical backing pressure (lSO 1608-2:1989 ,IDT) 2005国09-19发布2006-04-01实施中华人民共和国中国国家标检验检班总局委员发布中华人民共和国国家标准蒸汽流真空泵性能测量方法第2部分s1恼界前级压力的测量GB/T 19955.2-2005/1

2、S0 1608-2,1989 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码，100045网址电话，6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销晤开丰880X 1230 1/16 印张O.5 字数10千字2006年3月第一版2006年3月第一次印刷 如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话，(010)68533533前GB/T 19955(蒸汽流真空泵性能测量方法分为两个部分z一一第1部分=体积流率(抽速)的测量;一一第2部分2临界前级压力的测量。本部分为GB/T19955的第2部分。GB/T 19955.2-2005/180 16

3、08-2: 1989 本部分等同采用ISO1608-2:1989(蒸汽流真空泵性能测定第2部分临界前级压力的测量以英文版)。本部分代替JB/T8472. 2一1996(蒸汽流真空泵性能测定第二部分=临界前级压力的测定。本部分等同翻译ISO1608-2: 1989。为便于使用，本部分做了下列编辑性修改za) 1巳SO1刊608的本部分一词改为GB/T19955的本部分气; b) 用小数点符号飞.代替作为小数点的逗号c) 删除了国际标准的前言。本部分由中国机械工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。本部分起草单位:兰州真空设备有限责任公司、沈阳真空技术研究所。

4、本部分主要起草人z徐玉江、温发兰、许艳巧、王学智。GB/T 19955.2一2005/1S01608-2: 1989 蒸汽1 范围性能测量方法压力的空临界2 1. 1 GB/T 19955的本部分规定了测量蒸汽流真空泵临界前级压力的方法。 注.临界前级压力是超过了影响泵工作状态的前级压力a当超过此值时，泵不能正常工作。蒸汽流泵的性能对前级压力的依赖关系可用工作范围的入口压力和前级压力的关系曲线图来详尽描述。一般情况下，按3.1所规定的用单一参数规定临界前级压力是合适的。但就某些情况而言，特别是超高真空性能或像氢和氮这样有关气体的情况，可能需要完整的曲线。1. 2 本部分所涉及的泵由下列3种油、

5、家蒸汽泵组成z一一蒸汽喷射真空泵e一扩散泵，扩散喷射泵.2 规范性引用文件下列文件中的条款通过GB/T19955的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GB/T 19955. 1-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法第1部分s体积流率(抽速)的测量ISO 1608-1: 1993. IDT) 3 术语和定义下列术语和定义适用于GB/T19955的本部分。3. 1 l恼界前级压力critical back

6、lng pr，四川四3. 1. 1 一般情况general c田e对于指定流量来说，在最低前级压力下，前级压力增加微小百分数就引起人口压力规定的百分数增加。注g在本部分中，该规定的百分数增加的最小值为10%。3. 1. 2 空载1恼界前级压力;:;:no-Ioad critical backing pressure 对应于零流量时的临界前级压力.3. 1. 3 满载临界前级压力full-load critical backing pre臼ure对应于泵稳定工作最大流量时的临界前级压力。GB/T 19955.2-2005/180 1608-2: 1989 3.2 测试罩test dome 是装在

7、泵入口具有规定形状和尺寸的容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。3.3 极限压力ultimate pr国sure泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向的最低压力。注z实践中，极限压力被认为是经足够的抽气时间后所达到的压力，此时压力进一步降低可以忽略。4 装置4. 1 测试罩如图1所示，并按GB/T19955. 1-2005中3.1所述。测试装置的一般排列如图2所示，需要下列设备za) 将气体引入测试罩的可控阀(A).该阀联有适宜的流量测量装置;b) 装配在前级泵入口的可控进气阀(B).用于调节前级压力.阀(B)和规管座之间的前级管路长度应大于200mm(见图2)，c)

8、 用来测量前级管路压力的规管(口，它靠近蒸汽泵的出口.该规管装在前级管路直的、均匀的部分上，前级管路的通径应等于蒸汽流泵的出口直径.规管接管应与这部分前级管路的轴线垂直，接管管端与前级管路内表面平齐。规管(C)的接管尺寸应保证其最大流导。规管接管与前级管路之间的长度不应超过150mm, d) 用于测量测试罩压力的规管(0).该规管插入罩内的长度不应超过接管直径(d，)的O.5倍。测量压力的真空计应进行校准，当压力高于或等于1Pa1)时，其校准精度为士5%.在较低压力时，校准精度为土10%。4.2 试验气体除另有规定外，应该使用干燥空气。注E例如，一般用硅胶干燥空气是合适的。5 试验方法5. 1

9、 概述为了测量临界前级压力，蒸汽流泵应按制造厂规定的泵液种类及用量、加热功率和冷却运行。试验过程中，室温应在15C-25C之间。在进行试验前，泵应达到热平衡。在引人气体前，应对测试罩进行抽空，直到极限压力。在这些条件下，泵入口以上装置(见图1)温度和泵出口法兰与阅(B)间连管(见图2)温度应稳定在土1C.且应在15C-250C之间.注可以在其他室温下测量临界前级压力。如果在其他室温下测量，应适当提供所用测量仪表的工作矗件.5.2 空载程序当测试罩达到极限压力时，逐渐打开前级管路进气阀(B).前级压力增加了一个小增量。如此连续进行直到近似3.1. 1注所规定的条件。然后通过进气阀(B)的适当调节

10、，对该临界区域进行详细测定，从而得出以前级压力为函数的人口压力曲线。在这个曲线上对应于3.1.14注所规定的条件的点便确定为空载1临界前级压力。在没有气流的情况下，前级管路中的初始压力应低于测得的临界前级压力的10%。1) 100 Pa = 100 N/m2 = 1 mbar 2 GB/T 19955.2-2005/180 1608-2: 1989 5.3 满载和申闽载程序5. 3. 1 开启测试罩上的进气阀(A)，直至达到所需的蒸汽流泵人口压力，并测试流量。然后，重复进行5.2所述的气流通过进气阀(B)的操作程序。连续操作期间，关闭进气阀(B)，直至达到泵正常稳定工作的最大流量。注.泵正常稳

11、定工作的最大流量取决于前级泵流率，当前级泵流率小于蒸汽泵正常工作的最大额定流量除以在该流量下临界前级压力所对应的值，需要用足够大容量的前级泵来进行这个试验程序，以使达到最大额定流量。5.3.2 在进行5.2和5.3. 1所述的试验时，蒸汽流泵的输入功率应保持在正常值的土4%内，且试验开始前至少30min保持在这个范围内.冷却率应在制造厂推荐值的士10%内保持不变。试验报告6 6. 1 试验结果临界前级压力应以帕(Pa)、气体流量以帕升每秒(PaL/s)表示。除另有规定外，临界前级压力与气体流量间的对应关系应以曲线图示出。在3.1. 1中用来确定临界前级压力的人口压力上升百分数应在此曲线图中表示

12、出来。在高真空侧压力没有突然升高的情况下，应提供零流量时表示前级压力与高真空侧压力间的关系曲线。6.2 试验条件整个试验报告应包括试验期间下列试验条件的说明za) 所用测量仪器的类型和工作条件;b) 试验期间泵的加热功率及其变化范围p试验期间如果用水或冷剂冷却蒸汽流泵，其最高和最低进、出口温度$如果用冷却水，其流量:试验期间的最高和最低环境温度;蒸汽流泵液的种类和用量s使用处对环境某种特殊热传导的特征。c) d) g) e) f) 单位为毫未压力计接生Q 一气体入口/ vMM【川、呵。丁、晴同U 测试罩固1GB/T 19955.2-2005/150 1608-2 ,1989 1 可控阅(8); 2一-可控阀(Al;3 测试罩g中规管(0)，5 蒸汽流泵，6 规管(Cl，7 机械泵.11、卡6 固2测试装置0。c。万, F . c。v。CU3 2 F N N F 、H、。阁版权专有僵钗必究司岳书号;155066. 1-27293