GB T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分;极限压力的测量.pdf

1、ICS 23.160 J 78 昌中华人民共和国国家标准GB/T 19956.2-2005/ISO 1607-2: 1989 容积真空泵性能测量方法第2部分:极限压力的测量Positive-displacement vacuum pumps-Measurement of performance characteristics-Part 2: Measurement of ultimate pressure (lSO 1607-2: 1989 , IDT) 2005-09-19发布2006-04-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检在总局砸舍中国国家标准化管理委员会叩前言GB/T 19956

2、(容积真空泵性能测量方法分为两个部分e一第1部分体积流率(抽速)的测量;一-第2部分2极限压力的测量E本部分为GB/T19956的第2部分。GB/T 19956.2-2005月so1607-2: 1989 本部分等同采用IS016072:1989(容积真空泵性能测量第2部分E极限压力的测量以英文版。本部分代替JB/T7266-1994(容积真空泵性能测量方法儿本部分等同翻译ISO16072: 1989。为便于使用，本部分做了下列编辑性修改sa) ISO 1607的本部分一词改为GB/T19956的本部分，M 用小数点符号I代替作为小数点的逗号气c) 删除了国际标准的前言;dl 增加了资料性附录

3、A.以供参考使用。本部分由中国机缺工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口。本部分起草单位z山东淄博真壁设备厂有限公司，沈阳真空技术研究所。本部分主要起草人z黄毅、燕洪顺、张连庆、王学智。GB/T 19956. 2-2005/1S0 1607-2, 1989 睿积真空泵性能测量方法第2部分:极限压力的测量1 范围GB/T 19956的本部分规定了容积真空泵极限压力测量方法，所研究的泵是直接排大气的并且单级低于100Pa的人口极限压力。2 规范性引用文件F列文件中的条款通过GB/T19956的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内

4、容或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注目期的引用文件，其最新版本适用于本部分。GB/T 19956.1-2005 容积真空泵性能测量方法第1部分2体积流率(抽速)的测量(1501607-1 :1 993. IDT) 3 术语和定义下列术语和定义适用于GB/T19956的本部分。3.1 极限压力ultimate pressure 泵在正常工作情况下，关闭进气阀门，测试罩内趋向的最低压力。在非可凝性气体极限压力和极限全压力之间必定产生一个差别。3.2 测试罩test dome 是装在泵人口具有规定形状和尺寸的容器，被测暨的气体通过它

5、进入泵内，其上装有压力测量装置，4 晨置4.1 测试罩如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D.此处.D是罩的内径。试验气体进口在罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D.进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测试罩。测量人口压力和极限压力的真空计在距离连接法兰队5D处，其轴线垂直于罩的轴线，测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面测试罩的容积VD至少应是泵一个压缩周期扫过容积Vp的5倍。在泵人口必须连接一个异径接头，其长度不应超过0.5D(见图1)。对于给定规格的泵，罩尺寸在表1中给出。l) 100 Pa= 100 N!rnZ = 1 mbaf 133 Pa= 1 torr GB/T 1995

6、6.2-2005/180 1607-2: 1989 囊1V,/L Vo/L D/mm 。o.26 1. 3 100 。.261.1 5.4 160 1.1乱221 250 4. 217 84 400 1765 32岳630 65260 1 300 1 000 注:实际上，测试罩在形式上与已经采用的窑积真空泵体积流率测量(见GB/T19956. )-2005)是同步的。就极限压力测量而论，气体实际进口不需要按规定安排日罩的温度应保持在20(到25(之间。4.2 压力计测量的极限压力仅限于非可凝性气体，计的校准精度，对于压力高于或等于1Pa时为士5%，对于更低压力，校准精度为土10%。压力计应用适

7、当设计的冷阱与其相连以保证仅响应非可凝性气体的压力。4.3 真空计测量般限压力的真空计，如薄膜计，其灵敏度与气体或蒸汽性质无关。真空计应以被测压力士10%的精度校准，对于这种测量，在罩和计的连接管路间，不应装冷阱-5 试验方法5.1 原理所采用的方法是将规定型式的测试罩接到泵的人口上，在规定的温度下测量极限压力。5.2 程序首先在确保罩内的内表面清洁、干燥以后，将测试罩装到泵人口上，按照测量要求，压力计和真空计(见4.2和4.3)应与测试罩连接。如果罩在测量前烘烤了，冷却后，应在几分钟内充人周围干燥空气，使压力至少到100Pa，然后应关闭罩的进气口。泵应注入规定种类和数量的新泊，并接制造厂规定

8、的转速运转。除另有规定外，环境温度应低于25C。启动后，泵应在气镇下至少运转1h，然后关气镇再运转lh，此后，应以30min时间间隔进行压力测量，当3次连续压力测量表明压力不再进一步降低时，即认为达到了极限压力。上述试验也可以在充分气镇下(气镇阀全开)进行a直到泵已经达到平衡温度，才开始一系列测量。注2真空计的选用参见附录A.6 试验报告全部试验结果报告，应指出试验准确性和试验条件。6.1 -般条件a) 结果指的是极限全压力还是非可凝性气体的压力gb) 在运转中是否有气镇.6.2 附加条件a) 所用测量仪器的类型和工作条件gb) 泵人口上的密封型式和所用密封材料;c) 所用的阱的型式及其在试验

9、时的温度gd) 冷却水流量ge) 泵的转速: f) 环境温度和压力，g) 泵油规格.Z己回固1测试罩GB/T 19956.2-2005/180 1607-2 .1 989 单位为毫来Q GB/T 19956. 2-2005/ISO 1607-2 , 1989 A.1 导言附录A(资料性附景)真空计的选用本附录给出容积真空泵极限压力测量所选用的真空计。A.2 真空计的选用A.2.1 压力低于10Pa.用标准压缩式真雪计。A.2.2 压力在10Pa-4 X 10 Pa之间，用U形管真空计。A.2.3 压力在10Pa1 X 105 Pa之间，用录单管真空计。A.2.4 真空计应具有计量部门签发的有效证书。