GB T 20510-2006 氧化铟锡靶材.pdf

1、ICS 77.150.60 日62国家际GB/20510-2006 氧化锢锡靶部部翩翩销隐隐隐mm翻mmmi l lit-lif-，内U剧剧院剖盯刷刷剖A吁国自目EgaEBEAUUUU们们们们UUnu呻啤咱啤咀EInuuuuuuu川们AUMMM晴晴咱睛。白白tttEEE配配EE配剧口川UHHHHHMMM川4寸aEEEZEti-川U呻叫tes-a【ftili-111inu -囱翩翩翩翻翻篇回阳回剧组宿国l a-自由瞌aa-目EBEIndium-tin oxide target 2007-02翩。1实施发布2006-09-26发布中华人民共和国国家质量监督检验检费总局中国国家标准化管理委员会数码防

2、伪GB/T 20510-2006 制自本标准是根据我国氧化锢锡靶材的生产实践.参考德国贺利氏(Heraeus)、美国Umicore公司氧化锢锡靶材产品标准制定的。本标准附录A为规范性附录。本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准自全国有色金属标准化技术委员会师口并负责解释。本标准由株洲冶炼集团有限责任公司负责起草。本标准主要起草人:钟鸣、彭小苏、陈卫飞、陈敬阳、李晨辉、谭仪文。本标准首次制定。GB/T 20510-2006 氧化锢锡靶材1 范围本标准规定了氧化锢锡(简称IT)靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、钮装、运输和贮存。本标准适用于氧化锢锡靶材。2 规范性引用文件的修改单(不包括勘误

3、的内尔3. 1 3.2 GB/T 351 金属本GB/T 1250极GB/T 5163 GB/T 8170 下列相对密度rel 物质的密度与标准中氧化锢锡靶材3. 3 3.4 3.5 失氧率deoxygenat 氧化锢锡靶材脱氧的电阻率resistivity 在单位长度上通过试样横截面排线膨胀系数Iinear expansivity 密度之比(本的一个物理蠢，以字母p导体，在温度200C时的电阻值。在指定温度范周内，氧化锢锡靶材在单位温度下相对伸长量的平均值。用式(1)表示: .6.L .6. T X Lo ( 1 ) 式中:一一平均线膨胀系数.单位为每摄氏度CC-1); .6.L-室温至所测

4、温度的伸长蠢，单位为毫米(mm); GB/T 20510-2006 f:T-一室温至所温度的温度差，单位为摄氏度(C); Lo -一试祥在室温下的长度，单位为毫米(mrn)。4 要求4. 1 产品分类氧化锢锡靶材按其相对密度分为三个牌号:RD99、RD98、RD9704.2 化学成分4.2. 1 主要成分Inz03 : SnOz =90 : 10(质量分数)，偏差为土0.5%(质量分数)。4.2.2 氧化锦锡靶材的杂质成分应符合表1的规定。表1氧化锢锡靶材杂质成分杂质含量(X10-6)不大于Al Si 15 I 15 4.2.3 需方如对氧化锢锡靶材的化学成分有特殊要求时，由供需双方商定。4.

5、3 物理性能单位为质量分数c%)4.3. 1 相对密度:RD99、RD98、RD97牌号的氧化锢锡靶材相对密度应分别注99%、98%、97%。密度均匀性偏差土0.2%。4.3.2 电阻率:运2.0n. mmz/rno 4.3.3 线膨胀系数:(29) X 10-60C -) 0 4.3.4 失氧率:10%。4.4 物理规格氧化锢锡靶材呈片状或其他形状.其尺寸及偏差由供需双方商定。4.5 表面质量4.5.1 氧化锢锡靶材颜色应均匀。4.5.2 氧化锢锡靶材表面应平整.无裂纹.无明显崩边.气孔直径不大于0.5rnm，且无任何外来夹杂物和污染物。4.6 内部缺陷氧化锢锡靶材内部无裂纹，无异物，气孔直

6、径不大于0.5mmo 5 试验方法5.1 化学成分仲裁分析方法氧化锢锡靶材的化学成分仲裁分析方法由供需双方商定。5.2 物理性能检验方法5.2. 1 相对密度检验方法氧化锢锡靶材相对密度的测定，按GB/T5163的规定测定氧化锢锡靶材的表现密度，然后与氧化锢锡靶材的理论密度之比值，得出氧化铺锡靶材的相对密度。5.2.2 电阻率检验方法氧化锢锡靶材电阻率的测定投GB/T351的规定进行。5.2.3 线膨胀系数检验方法氧化锢锡靶材线膨胀系数的测定按GB/丁16535的规定进行。5.2.4 失氧卒检验方法? GBj20510一2006氧化锢锦靶材的失氧率的跚定按本标准附录A的规定进行。5. 3 氧化

7、锢锡靶材的物理规格用卡尺测量。5.4 氧化锢锡靶材的表由质量用自视法检验。5. 5 氧化锢锡靶材的内部缺陷用超声波扫描显散镜检验。6 栓验规则6.1 检查和验收6. 1. 1 氧化锢锡靶材应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准或订货单(合同)的规定，并填写质量证明书(合格证)。6. 1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不符时，应在收到产品之日起30d内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取祥在需方共同进行。6.2 组批氧化锢锡靶材应成批提交检验，每批应由同一炉次或同一靶坯切割下来的产品组成。6. 3 检验项目每批氧化

8、锢锡靶材应进行化学成分、物理性能、物理规格、表面质量及内部缺陷的检验。6.4 仲裁取样和制样仲裁取祥和制样应符合表2的规定。表2检验项目取祥规定要求的章条号| 试验方法的章条号化学成分化学分析仲裁样的采取和制备方法由供需双方商定4.2 5.1 机明但不少于1片咐|相对密度的中心线等距分取20rnmX 20 rnm的样品34块。用4. 3 1 5.2.1 超声波清洗器清洗干净后进行检验每批按10%取样，但不少于1片(件)，每片(件)沿靶材电阻率的边切割下截图为6mrnX 6 mrn、长120rnrn的矩形长4.3.2 5.2.2 条试祥2个。用超声波清洗器清洗干净后进行检验每批按10%取祥.但不

9、少于1片(件)，每片CI牛)沿革在材的边切割下与GB/T16535中规定的标准试样长度形状线膨胀系数4.3.3 5. 2. 3 一致的试祥2个3用超声波清洗器清洗干净后进行检验失每批按10%取样.但不少于1片(f牛)，每片(牛)切割出大小不等的块状祥.取样总重量不小于生00g .1. 3. 4 5.2. -1 物理规格遂片(f牛)检查4.4 5.3 表面质量逐片(件)检查4. 5 5. -1 内部缺陷|逐片(件)检资4. 6 ;). ;) 6.5 检验结果的判定6.5.1 氧化锢锡靶材检验结果的数值修约按GB/T8170 中的有关规定进行。修约后的数值的判定按GB/T 1250中的有关规定进行

10、。6.5.2 氧化锢锡靶材的化学成分、物理性能的检验结果与本标准4.2、4.3的规定不符时，按扯判废。3 GB/T 20510-2006 6.5.3 氧化锢锡靶材的物理规格、表面质量和内部缺陷与本标准4.4，4.5，4.6的规定不符时，按片(件)判废。7 标志、包装、运输和贮存7. 1 标志每片(件)氧化锢锡靶材的包装上应标注注册商标(或企业标志)，产品名称、批号、牌号及产品合格标志。7.2 包装每片氧化锢锡靶材应单独采用真空包装，7.3 运输和贮存运输及贮存过程中应注意防震7.4 其他需方如对氧化锢锡靶材7.5 质量证明书(合格证每批氧化钢锡靶材b) 产品名称;c) 牌号:d) 批号;e)

11、净章和件。分析检验g) 本标准编h) 8 订货单(或合同a) 产品名称;b) 产品牌号:c) 化学成分、物d) 数量:e) 本标准编号;f) 其他需要协商或增4 GB/T 20510-2006 附录A(规范性附录)氧化销锡(lTO)靶材失氧率测定方法A.1 范围本附录规定了氧化锢锡(110)靶材失本附录适用于各种方法制备A.2 方法原理( A. 1 ) 锡化锢氧化温氧升定据测根法重. ( A.2 ) 17.7%。A. 3.1 A. 3. 2 A. 3. 3 A.4 试样A. 4.1 A. 4. 2 将清洗干净的样品破碎、A. 4. 3 制样过程中不能带入任何影响检测结果的杂质。A.5 测定步黯

12、A. 5.1 将试样置于温度为120C土5C烘箱中，烘干至恒重。A. 5. 2 准确称取20g200 g试样(精确至O.000 1 g)，装入氧化铝增塌中.放进马弗炉。A. 5. 3 按5C/min10C /min的升温速度，根据靶材的具体情况升至700C800C，保温3h，随炉冷却至200C以下.取出.放入干燥器中冷至恒章后称章。A. 5. 4 每个样品应平行测定2次，取其平均值。D GB/T 20510一2006A.6 结果计算按式CA.3)计算失氧率:式中:7一氧化锢锡靶材的失氧率;W一一氧化后的恒重，单位为克(g); w。一氧化前的恒童，单位为克(g); wl_W = x 100% W

13、X17.7% 17.7%-90%Inz03与10%的SnOz配比制备的靶材的理论氧含量(%)。测定结果表示至二位小数。6 .(A. 3) goNiOFmONH础。国华人民共和国家标准氧化锢锡靶材GB/T 20510-2006 中品中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045闷址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销争令印张O.75 字数12千字2007年2月第一次印刷1/16 开本880X12302007年2月第一版定价10.00元如有p装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533书号:155066 1咽28751G8/T 20510一2006