GB T 20228-2006 砷化镓单晶.pdf

1、ICS 29.045 H 83 GB 中华人民共和国国家标准GB/T 20228-2006 呻化镣单晶Gallium arsenide single crystal 2006-04-21发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员去2006-10-01实施本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由信息产业部(电子)归口。目自昌本标准起草单位:北京有色金属研究总院。本标准主要起草人:王继荣、武壮文、于洪国、张海涛。GB/T 20228-2006 I GB/T 20228-2006 呻化嫁单晶1 范围本标准规定了呻化嫁单晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装等。

2、本标准适用于各种方法生长的呻化镣单晶，产品主要用于光电器件、微波器件、集成电路、传感元件和窗口材料等的制作。2 规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法GB/T 4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法GB/T 8760 碑化嫁单晶位错密度的测量方法GB/T 14264 半导体材料术语GB/T 14844 半导体材

3、料牌号表示方法GJB 1927 碑化嫁单晶材料测试方法3 术语、定义GB/T 14264确立的以及下列术语和定义适用于本标准。3. 1 单晶single crystal 指各种方法生长的碑化嫁体单晶。3.2 晶提ingot 指各种方法生长的碑化嫁单晶晶链。4 要求4.1 产品分类4. 1. 1 产品按导电类型分为SI型、n型和p型。4. 1. 2 产品按生长方法分为液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)、垂直布里奇曼法(VB)、水平布里奇曼法(HB)等。4.2 单晶牌号单晶牌号参照GB/T14844。4.3 单晶链的表示方法示例:HBGaAs-Te表示水平布里奇曼法生长的掺磅砰化嫁单晶

4、。LECGaAs-no口e表示液封直拉法非掺碑化嫁单晶。VGFGaAs-Si表示垂直梯度凝固法掺硅呻化嫁单晶。VBGaAs-Zn表示垂直布里奇曼法掺铮网化嫁单晶。G/T 20228-2006 5 技术要求5.1 单晶链5. 1. 1 单晶生长方向为:(11)和(00)。所需特殊的方向由供需双方协商确定。5. 1.2 单晶掺杂剂、载流子浓度范围、电子迁移率见表1;所需特殊的掺杂剂和对非掺半绝缘呻化嫁单晶电子迁移率的要求由供需双方协商确定;SI(半绝缘)呻化嫁单晶退火前、后值及退火条件由供需双方协商确定。表1LEC呻化镣单晶掺杂剂、载流子浓度范围、电子迁移率导电类型n p SI(半绝缘)5.2 单

5、晶链位错密度位错密度分为6单晶的-5.3.2 单晶晶链尺l5.3. 3 单晶必须无6 试验方法掺杂剂6. 2 呻化嫁单晶晶向测定按6. 3 呻化嫁单晶位错密度的测定7 检验规则7. 1 检查和验收电阻率/(0. cm) 5X1065XI08 量标准。B/ T 4326的规定进行。的规定进行。产品应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写质量证明书。7.2 复检规定需方应对收到剧产品按照本标准的规定进行复检。复检结果与本标准和及订货合同的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于表面质量及尺寸偏差有异议的，应在收到产品之日起1个月内提出，属于其他性能的异议

6、，应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方共同进行。7.3 组批与抽检7.3. 1 组批GB/T 20228-2006 单晶链应成批提交验收。每批应由同一牌号、相同直径、相同电学参数范围的产品组成。7.3.2 抽样单晶两端切(100)或(111)晶面取样检验。如需要对其他晶面进行检验，可由供需双方商定。7.4 检验项目单晶应进行导电类型、载流子浓度、迁移率、电阻率、位错密度(EPD)和晶向的检验。7.5 检验结果判定7.5. 1 电学参数和位错密度载流子浓度、迁移率、电阻率、位错密度有一项不合格，则再次取样对该不合格项目进行重复试验，若重复试验结果仍不合格时，再一次取样直

7、到产品尺寸小于相关单晶国家标准规定的长度尺寸为止。最后-次检验不合格，则该产品为不合格。7.5.2 其他规定当对其他缺陷有要求时，由供需双方协商确定。8 标志、包装、运输和贮存8. 1 标志8. 1. 1 每根合格单晶晶链要清洗表面，贴上标签。注明晶键牌号。8. 1. 2 外包装箱上应注明z供方名称、地址、电话、传真，需方名称、地址、电话、传真，产品名称，并有小心轻放和防潮等字样和标志。8.2 包装、运输、贮存8.2.1 产品外运时、单晶晶链装入包装袋内，再置于适当的包装盒内，四周用软性材料塞紧，以免损伤。8.2.2 箱内应附装箱单、质量证明书和合格证。8.2.3 产品在运输过程中要防止碰撞、

8、受潮和化学腐蚀。8.2.4 产品应存放在干燥和无腐蚀性气氛中。8.3 质量证明书每批产品应附有产品质量证明书，上应注明以下内容:a) 供方名称、地址、电话、传真;b) 产品名称;c) 产品牌号;d) 规格;e) 批号和件数、产品净重或数量;f) 各项分析检验结果和技术监督部门印记;g) 本标准编号;h) 出厂日期(或包装日期)。CON-NNONH筒。国华人民共和国家标准呻化镣单晶GB/T 20228-2006 中9峰中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销9峰印张O.5 字数7千字2006年10月第一次印刷开本880X1230 1/16 2006年10月第一版9峰定价8.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533书号:155066 1-28061 GB/T 20228-2006