JB T 10771-2007 真空技术.复合分子泵.pdf

1、ICS 23160J 78备案号：21691-2007 J B中华人民共和国机械行业标准J8T 1 0771-2007真空技术 复合分子泵Vacuum technology-Hybrid molecular pumps20070828发布 2008020 1实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布目 次JBT 10771-2007前言1范目i12规范性引用文件13术语和定义14型式和基本参数24I型号表示方法，242基本参数35技术要求46测试方法461最低工作压力测试462压缩比测试463体积流率测试464起动时问测试465振动测试466噪声测试567转速测试568电源测试569平均无故障

2、工作时间试验5610连续运转试验57检验规则58标志、包装、运输和贮存5附录A(资料性附录)复合分子泵进气13、出气1：3的连接法兰及密封圈7A1复合分子泵进气口连接法兰及密封圈7A2复合分子泵出气口连接法兰及密封圈10图A1卡钳法兰连接。7图A2活套法兰的连接7图A3卡钳法兰或活套法兰肩圈型式，。8图A4支架型式9图A5法兰套环型式9图A6弹性卡圈型式10图A7卡钳螺钉组件型式10图A8 DN50连接器1 l图A9 DN50支架11图A10 O形密封圈11图A1 l DN50卡箍1 1表1泵的基本参数3表A1法兰的连接尺寸8表A2卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸8JBT 1 0771-2007表A

3、3支架尺寸和配用。形圈表A4法兰套环尺寸表A5弹性卡圈尺寸表A6卡钳螺钉组件尺寸II99O0前 言JB厂r 107712007枣标准的附录A为资料性附录。本标准由中国机械工业联合会提出。本标准全国真空技术标准化技术委员会(SACfrC 18)归口。本标准负责起草单位：深圳大学、北京中科科仪技术发展有限责任公司、北京北仪创新真空技术有限责任公司、沈阳真空技术研究所。本标准主要起草人：储继国、张勤德、周毅、李春影。本标准为首次发布。III真空技术复合分子泵JB，r 1077120071范围本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具

4、有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GBT 19l一2000包装储运图示标志(eqv ISO 780：1997)GBT 848-2002小垫圈A级(ISO 7092：2000，MOD)GBT 2829-2002周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GBfI345212005液压气动用。形橡胶密封圈第1部分

5、：尺寸系列及公差(ISO 36011：2002，MOD)GBT 4982-2003真空技术快卸连接器尺寸第1部分：夹紧型(ISO 2861，1：1974，IDT)GBT 5782-2000六角头螺钉(eqv ISO 4014：1999)GBT 607 12003超高真空法兰GBFF 65871一1986电子测量义器环境试验总纲GB厂r 658721986电子测量仪器温度试验GBTf 658731986电子测量仪器湿度试验GBTll 65874一1986电子测量仪器振动试验GBfI?65875一1986电子测量仪器冲击试验GBT 658761986电子测量仪器运输试验JBT 8106-1999容

6、积真空泵噪声测量方法ISO 5302：2003真空技术涡轮分子泵性能测量3术语和定义ISO 5302中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。31复合分子泵Hybrid molecular pump一种分子泵，其特征在于泵的迸气口侧有一级，或者一级以上的涡轮分子泵抽气单元，泵的排气日侧有一级，或者一级以上的牵引分子泵抽气单元，两种抽气单元串联抽气，组成一种有别于传统涡轮分子泵和牵引分子泵的新颖分子泵。32体积流率volume flow rate口v在理想条件下，单位时间从测试罩流过泵人口的气体体积。JBT 1 07712007注1：出于实际测试的原因，泵对给定气体的体积流率通常约定为等于该气体的

7、流量与给定点的平衡压力之商，体积漉率采用的单位为立方米每秒(m)或升每秒(L穗)。注2：有时用术语“抽气速率”和符号“J”来代替体积流率。33最低工作压力minimum operational pressurep0烘烤48h后，在测试罩中获得的压力。34压缩比compression ratio厩H复合分子泵前级压力pz与其入口压力Pt之比。Keff=ppl注：为了得到给定气体的零流量压缩比梳，则该气体在出口管中分压力至少为P2的90。3_5启动时间starfing timef从接通电源起到泵转速达到额定转速的90所需的时间。36极限压力ultimate pressure测试罩中逐渐趋近的压力值

8、。注1：它是泵能获得的最低压力。注2：建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本标准中也不给出极限压力的测试程序。但是如果制造厂列出了极限压力，那就应当说明完成测试的工作条件。37临界前级压力critical bacI【ing pressure胁当泵仍能保持其压缩比P砌12，且清洁气流流通时的最高前级压力P2；对于没有清洁气流接口的泵，当泵仍能保持其压缩比p砌-2，泵的最高前级压力P2。注：P一是入口处(高)真空压力。38最高工作压力maximum working pressurep1一复合分子泵和驱动装置不发生损坏的条件下所能承受的泵入口最高压力。39最大流量maximum throughpu

9、tQ一泵能连续抽气而不损伤或毁坏的最高气体负荷，单位为帕升每秒(PaUs)【毫巴升每秒(mbarLs)】。注：这个极限参数取决于泵的设计，大多数情况下，这个参数以泵规定位置的最高温度来给出。Q嘣值取决于被抽气体、所使用的前级泵、以及冷却条件等。4型式和基本参数41型号表示方法2口口一口口口JBT 1 0771之007特征符号8体积流率(抽气速率)，单位为L，s进气口通径，单位为ranl复合分子泵，用字母FF表示特征符号”指泵的润滑方式、冷却方式、特殊结构、特殊用途的字母代号，由生产商自定，但字母代号所代表的意义必须在样本资料和说明书中注明，例如：F风冷分子泵，缺省为水冷分子泵。示例：进气口通径为1601ran，体积流率为450Ls的复合分子泵，标记为：FF一160450。42基本参数泵的基本参数如表1所示。表1泵的基本参数型号 FF100， FF-160 FF一200， FF250， FF-320， FF一400 FF_500，体积流率 100 400 1000 1500 2000 3000 5000lJs最低工作压力 10-5108Pa对N2 109压缩比对H2 5104启动时间 。甲心捷 多 ?箩 奄f丘JBT 10771_2007