JC T 179-1981 QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚.pdf

1、中华人民共和国建筑材料工业部部标准QSGl、QSG2透明石英玻璃瑞蠕本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃增涡囚-+-+-+-+-+-+-+-+-+-飞!JC179-81i + + ; 代替吁73+ L-，.J 半导体用透明石英玻璃瑞棋有QSGl高纯透明石英菠璃瑞模与QSG2透明石英玻璃攒揭两种.1.物理、化学性能指标(1)化学成分a. QSGl高纯透明否英玻璃增揭一、技术要求铝、钙、镜、铁、铜、铁、钻、镰、锺、帽、饵、锵、银十三个杂质元素的总含量不得大于0.001%。其中铝运5XI0%; 钢笔0.1X 10- %; 铁;0.5 X 10- % .跚;0.1X 10- %; 饵;1X

2、10- %.销;IXI0%。b. QSG2透明石英玻璃柑塌铝、钙、模、铁、铜、铁、钻、镰、镜、跚、饵、锅、惺十三个杂质元素的总含量不得大于0.01% 其中s铝;60X 10- %. 铁三三5XI0-%.御;4XI0%.(2)热稳定性铜;0.1X 10- %. 翻.0.3X 10- % I 销;4XI0%.试样在1100C至20C温度急变下试验三次，不产生裂纹。(3)抗析晶性试样在1200C温度下恒温半小时，对于高纯透明石英玻璃拗捐不允许出现直径大于0.5毫米的析晶臼点，对于透明石英玻璃端辆不允许出现直径大于3毫米的析晶自点.0.5-3毫米的析晶自点，每100平方厘米不得经过10个a2.外观指标

3、(1)两种增桐均按外观指标分为二级见表1)。中华人民共和国建筑材料工业部发布建筑材料科学研究院提出1 9 8 1年3月1目实施建筑材料科学研究院起草471 JC 179-81 表1外现指标项目级级气直径弧度部分0.1-0.2 0.3-0.4 毫未直线部分0.1-0.3 0.3-0.7 泡允许数量个/理米，) 运3(6 气丝状长径(毫米)0.5-3.0 1. 0-7. 0 泡点状直径毫来0.3-2.0 0.5-3.0 群允许且数个1100厘米)运5运8睛长径弧度部分1-2 1-4 毫未直线部分1-3 2-4 疤允许数量矗1100厘来)运2运4色丝状仕径(毫未)0.1-.0 0.2-, 5 点状直

4、径(毫未)0.1-0.3 0.2-0.5 斑允许品数个1100厘来勺骂王2岳王4揪痕直径毫未)不允许运13揪揪痕深度毫来不允许运0.3痕揪嚷D 100毫米以下蜡桐运2不允许数量D 101-130毫米辅桐运3透明颗位允许数量个/100厘米)运10运30波纹毫未运0.2o. 3 桔皮不允许按标样2三雾不允许不允许注z缺陷宽度小于点状1可限的按丝状计。非圆形缺陷的直径按算术平均值计.(Z)i!编口部应细磨内外倒角或烧圆。不得有缺口，不得有深、宽大于4毫米的表皮崩藩。( 3 )增桐表面光滑整沽，内表团不允许有色斑。( 4 )不允许有沾污和析晶.二、形状与规格尺寸3半导体用透明石英玻璃端端的形状与规格尺

5、寸应符合下图及表2的规定。472 JC 179-81 /) 单位:毫米表2外径高度底半径厚度范围同横截面的厚度公董D H R 80斗ti60!f D一12.0-2.8 2 901i 7o:f D-l 2.0-2.8 2 100211 80: f D-2 2.0-2.8 z 106:!:U 90: D-l 2.0-2.8 z 114i i 75土2D-l 2.0-2.8 2 13OZfi 110土2D-l 2.0-2.8 2 注，D130毫来以上地根接协议.三、试磕方法4化学成分按JC186-81石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法中的规定进行。5.热稳定性按JC187一73石英玻璃热稳定性检验方法中的规定进行。6.抗结晶住按JC18873石英玻稿抗结晶性检验方法中的规定进行.7.气泡按JC190-81透明石英被确气泡、气线检验方法中的规定进行。0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 0.4 473