1、中华人民共和国建筑材料工业部部标准wa-Ill-4 叫叶-wu一mh替阳一代一严I111111QSY、DSY透明右英玻瑭仪器本标准主要用于半导体工业采用的透明石英玻璃仪器.其他冶金、化工、科学研究等所用透明石英玻璃仪器之技术要求均可参考本标准执行.透明石英玻璃仪器有QSY透明石英玻璃仪器和DSY透明石英玻璃仪器两种。技术事求1.透明石英玻璃仪器的化学成分，热稳定性，抗结晶性和商温变色性，均不低于同类管材的要求.2.透明石英玻璃仪器在加工过程中，应尽量消除应力，必须保证在常温下逐步升温至1100C，在炉内自然冷却后无炸裂.3.两种透明石英玻璃仪器均按加工部位的外观指标分为二级(见下表) 项目级级
2、色lT?产生产一一斑i| 允许数量个/100厘米外i0.1-0.3 0.3-1.0 吊管接口应做到轴向平行径向垂直加工表面凸凹不| 大于所用管材壁厚J =S:;2 =S:;2 ?管材壁厚管材壁厚长度未渔明非重要部位的自由公差毫米)锥度比例) 1: 5、1: 10、1: 15 磨口与未加工亮面呈直线圆周，弯曲度毫米)土1士3土5型1 : 5、1: 10、1: 15 黯:1: 2 磨口内亮面毫米不允许8 口允许数量个/100厘米a)不允许塞口的高低公差毫米士S二通话塞对孔误差4? 多通话事对孔误差=S:;! =S:;1 配士S1 4 3 ;! 合中华人民共和国画筑材料工业部发布筑材制科掌研究院提出
3、198 1年3月1目提施建筑材属科掌研究院跑事%2 捕，181-81共2页第2页续表项目一级一级一水句面积毫米1) :Ei;10 11.50 进允许数量个/100厘米左2 2 雾:z:; 在加云工雾复杂器件的过程中不易避免的部位(半透明不允许允许焊焊接之弯曲处熔合圆滑必须完全熔合必须熔合折料和料疙瘩处厚度在围黯厚公差范内自许在壁厚法一一一-接J 炸裂纹不允许ti. 不允许i、，析晶和指纹印不允许不允许e 注s密封性检验方法，将水盛入磨口仪器中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，倒翻10次，每次在10秒内，用滤纸擦试无渗出水液为封口性能合格.QSY透明石英玻璃仪器的非主体部分，在不影响性能的情况下，可用外径D19毫米以下的DTS1透明石英玻璃管棒)0 4.透明石英政璃仪器，非加工部位(允许加工后达到要求)的技术要求如下.(1) QSY透明石英玻璃仪器z仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品;仪器的二级品外观指标不低于相应管材的三级品.(2) DSY透明石英玻璃仪器z仪器的一级品外观指标不低于相应管材的二级品;仪器的二级品外观指标不低于相应管材的四级品.23
