1、中华人民共和国国家标准GB 7667-1996 电子显微镜X射线泄漏剂量代替GB7667 87 The dose of X-rays leakage from electron microscope 1 主题内容与适用范围本标准规定了电子显微镜（以下简称电镜）X射线泄漏剂量、试验方法及检验规则。本标准适用于透射、扫描、反射、透射扫描和电子探针等不同类型的电镜。2 技术要求电镜X射线泄漏的空气吸收剂量率不应大于2.5 Gy/ho 3试验方法3. 1 试验设备带有修IE因子（指校正X射线）X射线剂量率仪，其等级为二级最小档刻度值不能大于1Gy/h。3. 2 试验步骤3. 2. 1 将加速电压调到最
2、高档，选用最大正常工作束流和最大束斑。3.2.2将聚光镜调整到正常工作状态，放大倍率调到最低档，并将活动光阑全部退出。对扫描电镜和电子探针等则应以鸽为样品将吸收电流调到最大值。3.2.3试验部位为照相室、观察室、样品室、活动光阑、电子枪（电镜加速电压等于大于400kV的电子枪被视部位指隔离层）、真空管道、显像管、镜筒及其附属装置。在试验样品室以上的部位时，则应将物镜活动光阑插入电子束通道。3. 2. 4 将X射线剂量率仪在离开试验部位50mm处作缓慢移动，测出其X射线最大泄漏的空气吸收齐r):bl:.幸。4 检验规则产品检验抽样方案按逐台检验方案进行。附加说明2本标准由中华人民共和国机械工业部提出。本标准由上海电子光学技术研究所负责起草并归口。国家技术监督局199608 13批准1996 12 01实施634
