GB T 16596-1996 确定晶片坐标系规范.pdf

1、ICS 29.045 H 21 笃主GB/T 16596 1996 FHE . 目目Specification for establishing a wafer coordinate system 1996-11-04发布国主支才毛盟主局1997-04-01实施发布主口前GB/T 16596一1996本标准等效采用半导体设备和材料国际组织SEMIM 2092，结合我国的实际情况制定的，用于唯一确定品片上任意一点位置的极坐标或直角坐标的品片坐标系。本标准可以用确切的术语描述GB/T12964中晶片上某一点的位置，配备有关设备，可以识别晶片特征和定位品片。与本标准配套的标准有GB/T16595-1

2、996品片通用网格规范。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口.本标准由中国有色金属工业总公司标准汁量研究所负责起草。本标准主要起草人2吴福立。本标准1996年11月首次发布。I 中华人民共和国国标准确定晶片坐标系规范GB/T 16596-19 96 Specification for establishing a wafer coordinate system 范围1- 1 本规范规定了利用晶片中心作为极坐标。-8-z)或直角坐标(x-y-z)的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的品片坐标系。1.2 对于非构图品片，可直接使用本晶片坐标系或与矩形

3、阵列或极坐标重叠阵列一起使用本晶片坐标系。.3本晶片坐标系也可用于确定另一坐标系的原点或其他基准点的位置，而这另一坐标系则常表示或记录在构图或非构图晶片上的局部区域、芯片或图形阵列的位置特征。这样，该阵列坐标系可定位品片的实际几何图形。2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文.本规范出版时，所示版本均为有效，所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。2. 1 我国标准GB/T 12964-1996 GB/T 16595-1996 2.2 SEMl标准硅单晶抛光片品片通用网格规范SEMI E5-92 设备通信规范2.报文内容(SECS

4、IDSEMI Ml-94 硅单晶抛光片规范3 SEMI M12-92 晶片正面系列字母数字标志规范SEMI M13-88 硅片字母数字标志规范确定晶片坐标系程序3. 1 确定品片中心3- 1. 1 品片正面向上.3. 1. 2 对本规范来说，假定晶片的圆周是最小圆包围着，而忽略参考面和所有其他边缘的不规则区域。该圆的圆心为品片中心.3.2 确定右旋的直角坐标系3.2.1 坐标系的原点位于品片的几何中心。3.2.2 坐标系的y轴在正面的直径上.该直径平分主基准面(参考面或缺口。3.2.3 坐标系的z轴在正面的直径上，旦与y轴(主基准面的平分线)垂直。3.3 确定极坐标系家技术监督局1996-11

5、-04批准1997-04-01实施1 GB!T 16596-1996 3. 3. 1 极坐标的极点位于晶片的几何中心。3. 3. 2 极坐标的极轴在正面的直径上，且与主基准面的平分线垂直。3. 3. 3 极坐标的极角(的是由极轴向逆时针方向旋转。3.4 操作3. 4. 1 调整晶片，使主基准面位于负y轴方向(见图1)。注z负y轴方向通常是指向页面下方，在工作台或卡盘上侧向着操作者.3.4.2 核对极坐标位置，使r和0朝向正z袖。3.4.3 根据应用情况选择直角坐标或极坐标。4 晶片坐标系的应用及有关内容4. 1 品片坐标系的应用4. 1. 1 现在用于先进器件制造的许多操作系统，操作前须在x-

6、y方向使用校准装置，反复校准品片位置。如使用混合型的校准仪器检验中，为了使品片对晶片直径的变化的影响减小到最低限度，检验操作中要多次仔细检查晶片边缘和测定品片的几何中心。在许多特征记录系统中，也发现了类似的中心定位子系统。对于绘制品片的实际几何图形，品片坐标系提供了定位任-另一坐标系的一种方法。例如，局部区域、图形或绘图阵列。如果阵列点位于品片正面上，则只使用z和y(或r与8)坐标是适合的，如果点或阵列点位于正面的上方或下jj.还必须使用z坐标。4. J. 2 在半导体材料和器件制造中以确切的术语描述品片上一点的位置，以使自动加工、测试或特征记录设备可以识别初定位品片已变得越来越重要。如为了阐

7、述各种缺陷和畸形物与器件成品率变化的关系，王艺前后特征记录设备需记录品片上所发现的缺陷与畸形物准确位置。品片坐标系可用于确定有价值的各点的坐标，通过成品率的变化，分析坐标系，说明缺陷、畸形物与芯片成品率图形间的关系。4.1.3 SEMI E5在流12晶片绘图时，描述了如何传输记录位置特征的坐标系。制作品片图形时，坐标系的原点由设备规定，可位于阵列四角的任何位置或位于阵列中心。该流保证使映象坐标系与实际品片相对应的基准点的任一数字的传输。该品片坐标系可用于确定诸基准点和映象坐标系原点的位置。4.1.4 GB!T 16595规定了含有1000个单元的极坐标阵列，可用于标记一品片上分布的缺陷(例如滑

8、移)的位置。该阵列与晶片坐标系一致。4.2 有关内容4.2. 1 掩模校准规则不须与晶片坐标系一致。4.2.2 在GB!T12964、SEMIMl中，砖片副参考面的位置是由主参考面沿顺时针方向旋转来规定，这与品片坐标系的极角使用规则相反。4.2.3 在SEMIE5中，品片的标准位置类似于品片坐标系的位置来规定，即主基准面向下，它的平分线在负y轴上，而晶片的旋转位置是从该标准位置向顺时针方向旋转来规定，这又与晶片坐标系的极角使用规则相反。在E5中，坐标系的袖不旋转，晶片相对于轴旋转。而在品片坐标系中，坐标轴由品片本身定位，不受晶片实际空间位置的限制。4.2.4 对于直径100mm、125mm和1

9、50mm带参考面的品片.SEMIM12和M13相对于参考面而不是相对于晶片中心来规定字符字段的位置，字符字段的位置可以随晶片中心变化，而字符字段拐角处位置的坐标(品片坐标系可以因品片而不同直径150mm和200mm的带缺口品片字符字段的位置，则由品片中心来定位。2 GBjT 16596-1996 +z 正面z=o+y 原IJ.。增加+x 图1品片坐标系 白白白-zmUFH徊。华人民共和国家标准确定晶片坐标系规范GB/T 国16596-1996 中 中国标准出版社出版北京复兴门外三里河北街16号邮政编码.100045电话，68522112中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印 开本880X12301/16 印张1/2字数6千字1997年4月第一版1997年4月第一次印刷印数1-1500 书号.155066.1-13651 307-27 标目