GB T 16945-1997 电子工业用气体 氩.pdf

1、GB/T 16945-1997 前主口本标准是根据SEMIC3. 46-93( 99. 999 2 %质量的散装液氢标准)(95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方法与之等效。在将SEMIC3. 46-93转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装氯气和管道输送的氧气，删去SEMIC3. 46-93中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽样和氧气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMIC3. 46-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMIC3. 46-93的规定进行适当的调整。以上变动与S

2、EMIC3. 46-93无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位z化学工业部西南化工研究院、上海BOC气体工业有限公司、武钢氧气厂、洛阳单晶硅厂。本标准主要起草人:颜伯举、王少楠。Gjfl 中华人民共和国国家标准电子工业用气体GB/T 16945-1997 Gases for electronic industry-Argon 1 范围本标准规定了电子工业用氧的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氢和气态篮。电子工业用氯气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于

3、化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式，Ar相对分子质量:39. 948(按1991年国际相对原子质量2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T 4842-1995 氧气GB/T 5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T 5832. 2-86气体中微量水分的测定露点法GH/T 6285-86 气体中微量氧的测定电化学法GH/T 8984. 1-1997 气体中一氧化碳、二氧化碳和甲饶的测定气相色谱法GH/T 8

4、984.3-1997 气体中总煌的测定气相包谱法GH 14193-1993 液化气体气瓶充装规定JB/TQ 503-86 低温液体槽车JB/T 6897-93 低温液体容器H/T 6898-93 低温液体储运设备使用安全规则3 要求电子工业用氢技术要求应符合表1的规定。表l技术要求J9l 目指标置纯度.10-2 ;, 99. 999 2 氢含量.10-5运l 氮肯量.10-5运王5 氧含量，10-6 O. 5 一氧化碳和二氧化碳吉量.10-6、户O. 5 总炬(以甲烧计)吉量，10-6O. 5 水分含量.10-6运三0.5 颗粒供需双方商定V/V 国家技术监督局1997-08-13批准1998

5、-05-01实施I :! 11 4 试验方法4. 1 抽样G/T 16945-1997 4. 1. 1 瓶装氧气按表2规定随机抽样检查.并规定批的最大瓶数为100瓶。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则自同批产品中重新加倍抽样检查。若仍有任何一项指标不符合本标准规定时，iJ!tl判该批产品不合格。表2抽样表产品批量.版l 28 9-15 1625 2650 51-.100 抽样瓶敬，瓶l 2 3 4 5 6 管道输送的氧，在4h内至少采样检验一次。当检验结果有任何一项指标不符合本标准规定时，则该4h内产品不合格。液态氧用贮槽或槽车装运时，应从每个贮运容器中采样检验。当检验结果有任何一

6、项指标不符合本标准规定时，则判为不合格产品。4.1.2 瓶装气态氧的采样应用针形阀和金属管直接从样品瓶中采样，不得转移。进样前采用升降压法置换，吹洗瓶阀、针形阀及管道三次。液态氢必须从液相取样并使之完全气化后方能进样。4.2 纯度氧气纯度按式(1)计算求得= 100 - Cl +仇十世3十仇+民+弘)X 10- . ( 1 ) 式中，氧的纯度，10-2CV /V); , 氢含量，10-;CV/V); 世2氮含量，10;(V/V); , 氧含量，10-;(V/V); 乳一氧化碳+二氧化碳含量，lO-(V/V); 民总饺(以甲烧计)含量，1O-(V/V); 仇水分含量，1O-(V/V)。4.3 氢

7、和氮含量的测定4. J 1 方法:采用配备氮离子化检测器的气相色谱仪测定氢中氢和氮，4. J 2 检测限2氢，0.lX10-;CV/V)，氮，0.5XlO-(V/V)。4. J 3 仪器参数4. J 3. 1 色i普柱2将色谱分析用粒度为0.25-0.40mm的5A分子筛装入内径4mm，长约3m的不锈钢管内，于300C通氯气活化3h。或采用等效色谱柱。4.3.3.2 载气:约30mL/min氮气，氮气中杂质含量比待测组分含量约低个数量级。4. J 3.3 样晶体积，1.0至3.0mL。4. J J 4 温度z检测器及柱加热箱均为室温。4. J J 5 标样g含1-5XlO-(V/V)氢的氧，含

8、5-25X 10-(V /V)氮的篮。4. J 4 操作步骤4. J 4. 1 用气体进样阀进标祥。记录保留时间和峰面积。4. J 4. 2 用同样方法进待测样品。记录保留时间和峰面积。4.3.4.3 重复上述两条，取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果，单个值与平均值的相对偏差不得大子10%。4.3.4.4 比较标样峰和试样峰的平均面积，用式(2)分别计算氢和氮的含量，其结果不得超过本标准第Ii 21 GB/T 16945-1997 3章的规定。骨，一民A, 一A 式中34一样品气中待测组分z的含量，1O-(V/V) , .一一标准气中组分z的含量，1O-(V /V) , A, 样品气组分

9、i的峰面积，mmZ;A，一标样气组分z的峰面积，mm282一分别代表待淑l组分氢或氮。当半峰宽不变时可用峰高定量。4.4 氧含量的测定按GB/T6285执行。仪器检测限，0.1 X lO- (V /V)。标祥，m中含氧1X 10-5 X 10-(V /V)。4. 5 一氧化碳和二氧化碳含量的测定按GB/T8984.1执行。仪器检测l限，O.IXl0(V/V)。标祥r氢中含一氧化碳、二氧化碳1X 10-2 X 10气V/V)。4.6 总怪(以甲烧汁)含量的测定按GB/T8984.3执行。仪器检测l限，O.IXl0-(V/V)。标样23直中含甲烧1X 10-2X 10-(V /V)。4. 7 水分含量的测定水分的测定按GB/T5832.1或GB/T5832.2执行，两种方法具有同等效力。仪器检测限，O.2XlO-(v/川，经相应检定规程检定合格。5 包装、标志、安全5. 1 包装、标志、安全按GB/T4842中纯氧的第六章执行. ( 2 ) 5.2 充灌、储运液态氢的容器应符合GB14193、JB/TQ503、JB/T6自97以及JB/T侃的相关规定。5. 3 在包装容器上应标以电子用气一氯字样。5.4 出厂的气瓶瓶阀出口应有包装。1121 吨