SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法.pdf

1、中华人民共四机械工业部部标射离子试验方法r. . . ., SJ1781 81 J. . 一而-一一本标准适用于抽气速率大于10升/秒的溅射离子泵本标准规定了如下项目的试验方法:极限压强抽气子流与压强的关系1、试验条件z-、!ilU ( 1 )试验时的环境温度为20士5t;( 2 )试验时的环境相对湿度不大于85%;( 3 )被试泵的工作电压、最大起动电流、磁感应强度、绝缘电阻、临界起动压强等应符合相应产品标准及产品图样技术要求的规定:(4)试验罩及其附属装置的漏气率应小于lx10-3xPx5(托升/秒)。2、定义z( 1 )极限压强是指泵按规定条件进行工作，经充分抽气所获得的的最低压强.(

2、2 )抽气速率(5)是指泵按规定条件进行工作，进入泵的气体流(Q)对指定的试验罩内指定位置上的平衡压强(P)的比.I!P: 5孚(升/秒-、3、极限压强试验装置如图1所示，由试验罩、超高真空间、真空管路、被试泵和前级泵等组成.-九八-年八月-a提共6页第2页SJ1781 81 被试泵测量规管试验罩超高真空管路越高真空阀带有挡泊装置的前级管路前级泵4、极限压强试验罩的结构尺寸如图2所示。试验罩是圆截面的，内径为D.对于泵口内径大于或等于100mm的溅射离子泵，试验罩内径与被试泵泵口内径相等。泵口内径在300mm以内时，试验罩内径公差在土1.5mm以内;泵口内径超过300mm时，试验罩内径公差在土

3、3mm以子泵l试验罩内径均为100mm.内.对于内径小于100mm的高度为1.5D.试验罩顶部是平的，罩与被试泵的连接法兰应符合SJ1657-80铜垫密封超高真空法兰型式及尺寸系列或SJ1658-80铜丝密封超高真空法兰型式及尺寸系列的规定.试验罩和超高真空管路、超高真空阀应能承受400t的长期烘炜.试验罩上测量规管的接管的轴线应垂直于罩壁向外，位置是从法兰向上O.5D的地方，导管对空气的通导要大于25升/;队底电网.p 2 5、抽气速率真空管路、SJ1781. 81 图3Jj吁示，由等组成.图S共B页第3页、可烘炜针阀、超被试泵下测量规管下测试罩上测量规管上测试军可烘炜的针阀备用法兰超高真空

4、管路超高真空阀前级管路前6、抽气速率试验罩的结构尺寸如图4所示。试验罩是圆截面的，内径为D.对于泵口内径大于或等于100mm的溅射离子泵，试验罩内径于泵口内径.泵口内径在300mm以内时，试验罩内径公差在土1.5mm以内E泵口内径大于300mm时，试验罩内径公差在士3mm以内.对于泵口内在小于100mm的溅射离子泵，试验罩内径均为100mrn.试验罩总高度为3DJ离试验罩法兰底部高1.5D的部位装有一块金板，薄板中心有一直径为d的圆形小孔.对于泵口内径大于或等于100mm的溅射离子泵，小孔直径d在o.05D.-.O.ID范围内:对于泵口内径小于100mm的溅射离子泵，小孔直径d的选择与泵的额定

5、抽气速率有关，即上罩与下罩的指示压强比在1).100范围内.试验罩由薄板分成上测试罩和下测试罩两部分。上测试罩安装两个柱形导管，每个导管都垂直于罩壁向外，导管的轴线距薄板高0.5D.一个导管接上测量规管，对空气的通导大于25升/秒2一个导管接一边气共6页第4页SJ1181 81 弯臂，弯管垂直部份的辅线与试验罩的轴线重合，其出气口部为o.5D，在弯臂的入口处接一可拱姆的针形阀.下测试罩装有三个柱形导管，每个都垂直于罩璧陶衅，其轴线距试验罩底部法兰高郁O.船其中一个导管接可烘姆跑超高冀空阔z一个导管接下测量规管，并甫空气具有大于25升/秒的通导;一个导管备用. 1 嗣s A :U R 111 5

6、 自, , ，昆D 图4豆、极限压强的7、按图1的型式组成极限压强试验装置.把溅射离子泵(被试泵的磁铁取掉，对系统进行预抽气至压强为5x10-2托，然后对除前级部分以外的整个系统进行烘烽除气，其温度为350t，时间为24小时.后取掉烘烽电橱，当温度降到室温时，把磁铁装到被试泵上，此时起动试泵，关闭超高真空阀，被试泵正常工作.当被试泵进行工作，压强为3x 10-0, ,-1 X 10-9托时，对真空规管及试验罩进行再烘烤除气，其温度为350t，时间为12小时.烘炜完后，并可对真空测量规管进行轰击除气，在48小时内测量压强达到所要求的最低压强，稳定1小时，其数值无重大变化，即做为泵的极限压SJ17

7、81 81 四、抽气速率的8、按图3的型式组成抽气速率试验装置.对泵进行抽气，使泵的压强尽可能地接近极进0.035托升的干燥氯气，这个气体量是泵稳定所必须的.兵6页第5页序，内放在抽除干燥氯气后，泵可能达到在不烘烽情况下的极限压强.这个应超过测量抽气速率的最低压强的0.2倍.后再向试验罩内放进干燥氮气，并使压强逐级升高，2范围从最低值到5X 10-6托。该程序的每一步，必须保证压凡、Pt在0.501小时内的变化不超过土5%.每个数量级至少点，记下相应的Pt和凡的压强值.按照抽气速率计算公式z5 C(主1-1) 其中z子泵的实际抽气速率:C一小孔的通号ZPt一上测试罩真空测量规管的压强咀;P2一

8、下测试罩真空测量规管的压强值.出一系列的抽气速率(5)值压一一一9、为了使通过小孔的气体分子保持分子流状态，因此Pl不得太于p lm.lI.: P1mX旦j巳(托)d一小孔直径(mm).10、作抽气湛率试验时，应至少重复两次，看其抽气速率是否有变化，如抽气速率数值无重大变化(其误差以20%为准)，则以第一次试验的抽气速率的最大值为名义抽气速I 11、在测量抽气速率的同时，记录对应压强下的离子流陆12、测量抽气速率时，压强读数取两位有效数字，并注明真空计的种类。所用真空计必须经过国家计量部门鉴定和进行校准。共6页第8页SJ178 81 罩、试验报13、按照要求填写试验记录表(见附表) 14、绘制泵对氮气的抽速特性曲帆15、绘制在正常工作电压下的离子流与压强的特性曲线.附表z设计参数最实% 度U P2 抽气1/5 抽1/5 备注!5 年月日刷一