SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉.通用技术条件.pdf

1、中华人民共和国第四机械工业部部标SJ1794 81 1881 中华人民共和国第四机械工业部标半导体器件生严用扩散妒通用技术条件俨. .,-S J1794 81 EE-L . . . . i 一本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散开I 其它热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的-般技术要求，应按5J142-78(电子工业专用设备总技术要求执行。各类扩散炉的特殊要求，在相应的产品标准中予以规定.甲、技术1、扩散炉在下列条件下应能正常工作z( 1 )工作环境瘟度z十5t，-，+40t;( 2 )海拔不超过2500米:( 3 )额定电源电压波动不超过士10%.2、扩散炉产品标准中应规

2、定下列主要参数:( 1 )炉管数:( 2 )内:)11管内径:( )恒植区长度(蝇度精度小于或等于立O.5t); ( 4 )升温时间(少于2小时); ( 5 )升温功率:( 6 )恒温功率:( 7 )使用温度越围4( 8 )单点稳定性(小于或等于士0.5t /24/J、时;( 9 )定值重复性(小于或，等于土0.5t); ( 10 )开机重复性(小予或等于士1t ) ; ( 11 )推舟恢复时间:( 12 )冷却方式;( 13 )有无空气净化器:-九八结+月一目实施共8页第2页SJ1794-.81 ( 14 )多管炉的层问影响(小于或等于土0.5t); ( 15 )恒温区重复性小于或等于土0.

3、5C); ( 16 )额定电源电压及波动?每周(对温度精度影响小于戎于士0.5t); ( 17 )总外形尺寸:( 18 )炉口高度尺寸:( 19 )重章。3、扩散炉的结构应便于操作与维修，并且方便起草与运输.4、扩散炉所有受热部件应在热态下能正常工作，不得有卡撒开裂暂现象。5、扩散炉必须有接地装置，拔地位置与炉芳:应有良好的接触，并具有接地字样或接地标志(去) 6、扩散炉如附有推料机构，其运动部分应运转灵活，元卡滞现象.7、扩散炉如附有水冷却装置，应保证水流畅通，在冷却装置失灵肘，应发出事故信号-8.扩散炉如附有空气净化台，其净化操作区应达到产品标准所规定的沽9、扩散炉如附有掺杂系统，应保证系

4、统仪表，并保证气路系统不懂酬气体流量和压力的10、炉体外亮如不采用铝材时，则应加涂复(如应符合有关涂漆标准的规定.粉漆)，并11、扩散炉所有配套件、补偿导线、各件等应符合其产品标准的规店，并应具有合格证明。12、用户在遵守规定的运输、保管、安装、调整和使用条件下，从收货之日起，一年内因制造质量不良而发生损坏或不正常工作，生产厂负责保修、保退、保换，但各种易损件除外.-、13、每台扩散炉均应符合本技术条件和产品标准的要求，按部标准扩散炉测试方法的规定进行检验，合格后才能出厂，并应附有产品格证.SJ1794 81 共5页第3页14、扩散炉的检验验收工作由生产厂质量检验部门负费进行.15、扩散炉试验

5、分为z( 1 ) ( 2 ) 16、扩散炉必须逐台进行交收试验.17、扩散炉交收试验项目E( 1 )外观质量检验:( 2 )电气性能检租2静态下恒温区长度和温度精度(小于或等于士0.5t ) : 单点稳定性(小于或等于士0.5t/8小时): ( 3 )其它项目(本标准第3,.-., 11条的椅验L18、凡属下列情况之一者，应进行例行试验E( 1 )新设计的产品(包括老产品转厂些产h( 2 )当产品的设计、工艺或使用材料改变，影响到产品主要性能时:( 3 )当中断生产的品种再次生产时:( 4 )对连续生产的产品进行定期抽验(每年至少一次19、例行试验的样品应从交收试验合格的产品中抽取(数量由产品

6、标准规定):当例行试验的结果发现有不合格时，应加倍抽查，对不合格项目进行试验:若仍不合格，则该批产品作不合格论，院将该批产品:珠缺陷后按上述要求进行复试:试验合格后:可能出厂，并继续生产.20、扩散炉例行试验项目g( 1 )升温时间的测定:( 2 )升掘功率的测定:( 3 )恒温功率的测定:( 4 )恒温区长度的测定:( 5 )单点稳定性的测定:( 6 )定值重复性的测定:( 7 )推舟恢复时间的测定:( 8 )开机重复性的测定:( 9 )恒温区重复性的测定:共5页第4页飞SJll9481 、， ( 10)电源电压波动影响的测定z( 11 )对多管炉层间影响的测定.21、对附有空气净化器、掺杂

7、系统、推料机掏等较大型的多管扩散炉系统，其例行试验可由用户与生产厂协商，在用户广安装后进行.标志、包肇二运输及22、扩散炉铭牌上应标出的主要项目为1( 1 )产品名称:( 2)产品型号:( 3 )产品编号:( 4)制造日期;( 5)制造厂名称.23、扩散炉产品应附下列技术文件=( 1 )装箱单:( 2. )产品质量合格证明:( 3 )产品技术条件及说明书.各种技术文件用字迹清楚，并应妥为包装，时免在保管运输中受潮损坏24、扩散炉在包装箱内必须回定可靠，其附件与备件应妥为安放，以争在运输中受潮、遗失和损伤.25、包装箱外堕文字及标志应包括以下各项内容E( 1 )制造厂名称:( 2 )扩散炉名称及

8、型号:( 3 )扩散炉净重皮毛章:( 4 )包装箱外形尺寸及按GB191-73包装储运指示标志所规定的向上、防范旦、小心轻放等标记.包装箱外的字样和际i己应保证不因而水冲刷和i历时较久而阳附.-Itt;t.26、己包装的扩散炉应妥善地贮存在于燥相通风良好的场所，不得颠倒、侧放。临时放置包装箱时应采取防雨、!呀?胡和防蘸撑等措施e27、己包装的扩散炉在避免受到直接雨(嚣)淋的条件下，允许用任何运输工具运输.SJ1794 81 提5页第5页一，_-=一附录z名1、恒温区长度指达到稳定温度及精度时炉管内的连续温区长度.2、静态下恒温区长度指炉管两端用耐火材料基本封闭，炉膛内无明显气流扰动情况下测得的恒温区长度.3、升谊功率指从室温开始升至工作温度过程中所需的最大功4、恒温功率指达到稳定1200t时维持恒温所需的7-1吁.5、单点稳定性指达到稳定工作温度后炉管中点在规定时间内温度的偏差.6、升温时间指从室温开始升至1200t所需的时间.7、定值重复性指改变定值而后重新拨回原定值时温度的偏差.8、炉口高度尺寸指各炉管中心离地面的高度尺寸.9、开机重复性指关炉24小时后重新开机达到工作温度与精度，其与关炉前温度的偏差.10、层间影响指多管炉中一管工作时，其相邻炉管度的影响.