GB T 25753.3-2011 真空技术.罗茨真空泵性能测量方法.第3部分：溢流阀压差的测量.pdf

1、ICS 23. 160 J 78 中华人民主t.、和国道B国家标准GB/T 25753.3-2011 真空技术罗茨真空泵性能测量方法第3部分:溢流阀压差的测量Vacuum technology-Roots vacuum pump-Measurement of performance characteristics-Part 3: Measurement of overflow valve differential pressure 2011-11-21发布主立码防伪中华人民共和国国家质量监督检验检茂总局中国国家标准化管理委员会2012-06-01实施发布GB/T 25753.3-2011 目次

2、前言.皿引言.N1 范围-2 术语和定义-3 装置4 测试条件.4 5 试验方法.46 试验结果.4 7 试验报告.4 I GB/T 25753.3-2011 .L. - 目。吕GB/T 25753(真空技术罗茨真空泵性能测量方法分为三个部分:第1部分z最大允许压差的测量;一-第2部分z零流量压缩比的测量;一一第3部分:溢流间压差的测量。本部分为GB/T25753的第3部分。本部分按照GB/T1. 1-2009给出的规则起草。本部分由中国机械工业联合会提出。本部分由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。本部分负责起草单位:浙江真空设备集团有限公司。本部分参加起草单位:成都南光机

3、器有限公司、中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司、山东淄博真空设备厂有限公司、上海惠丰石油化工有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、沈阳真空技术研究所。本部分主要起草人:王西龙、王晓虎、许涛、范林东、王光玉、徐法俭、惠进德、赵计春、赵伟胜、王玲玲、王学智。m山GB/T 25753.3-2011 引随着基础工业的发展及设计理念的不断创新，罗茨真空泵的结构设计与工作性能均取得了长足的进步，早期的罗茨真空泵必须依赖前级真空泵运行，而如今发展出了能够直接排大气运行的气冷式罗茨真空泵和湿式罗茨真空泵，另外单台罗茨真空泵的级数也由单级发展成为单级、双级、多级，转子型线也由双叶发展成为双叶、三叶、多叶。现有

4、的罗茨真空泵性能测量标准仅仅包含了单级双叶罗茨真空泵，对其他种类基本未涉及，并且未对溢流阀压差的测量方法作出规范，为切实提高罗茨真空泵性能测量标准的兼容性与适用性，为实际检验测量提供必要的操作指南，在广泛借鉴国内外相关指标、标准的基础上，结合实际情况，制定真空技术罗茨真空泵性能测量方法标准，形成单独序列，并分为三个部分。今后将依据技术发展的状况进行必要的修改与扩充nN . 1 范围真空技术罗茨真空泵性能测量方法第3部分:溢流阀压差的测量GB/T 25753的本部分规定了罗茨真空泵溢流阅压差的测量方法。G/T 25753.3-20门GB/T 25753的本部分适用于抽速为30L/s20 000

5、L/s的罗茨真空泵(以下简称泵)。本部分不适用于罗茨真空泵机组性能的极限压力和抽气速率的测量。2 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。2. 1 溢流阀压差overflow valve differential pressure 溢流阔压差是溢流间进行起跳动作时罗获真空泵前级压力与人口压力之差。2.2 测试罩test dome 具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器，被测量的气体通过它进入泵内，其上装有压力测量装置。3 装置3. 1 测试罩如图1所示，形状为圆柱体。罩的轴向尺寸为1.5D，D是罩的内径。试验气体入口位于罩的轴线上，并与连接法兰的距离为D，进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进入测

6、试罩。测量人口压力的真空计在距离连接法兰O.5D处，其轴线垂直于罩的轴线。测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面。除了进气管路外，法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁。测试罩的容积Vn至少应是泵一个压缩周期扫过容积Vp的5倍。在泵人口应连接一个异径接头，其长度不应超过0.5D(见图1).不同规格的泵适用的测试罩由表1给出。表1测试罩的参数Vp/L VD/L D/mm 0-0.26 1. 3 100 0.26-1. 1 5.4 160 1. 1-4.2 21 250 4.2-17 84 400 17-65 325 630 65-260 1300 1000 260-1060 5300 160

7、0 1060-4060 20300 2500 1 GB/T 25753.3-20门3.2 压力计对于压力高于或等于1Pa时，其校准准确度为:1:5%。仪器需经过具有计量资质部门校准或检定合格。3.3 前级管路及前级管路上的测试罩被测的罗茨真空泵出口与前级泵之间的管路为前级管路，应按图2设计制作。前级管路上的测试罩按图l设计制作。前级管路上的测试罩直径应不小于前级管路的直径队，如不一致时应加接异径接头，异径接头按图1设计制作。单位为毫米J一一-_F飞、接真空计。因.时D a) 测试罩, b) 异径接头图1测试罩及异径接头2 GB/T 25753.3-20门单位为毫米制幅照限制惆民Q b 说明za

8、=b=5且，如果使用弯管，则当量长度应当等于5队。前级管路图2测量装置泵的测量装置如图3所示。3.4 说明z1 罗茨真空泵52 压力计A;3 测试罩A;4一进气阀A;5一-一进气阀B;6一测试罩B;7一一压力计B;8一一前级管路;9一一前级泵。3 测量装置图3GB/T 25753.3-2011 4 测试条件4. 1 泵的转速及配用电机应符合产品设计规定，泵的实际转速与规定转速相差不得超过士3%。4.2 泵采用水冷时，冷却水流量、进水温度应符合产品设计规定，但泵不应当设置排气冷却器。4.3测量时环境温度应在18c 25 .C之间，测量期间温度波动不大于:!:1.5.C，相对湿度不大于75%。4.

9、4 试验气体为室温干燥空气。4.5 测量时泵腔内应当保持干燥，除试验气体外，不得引人任何介质。4.6 前级泵应当是能够满足测量所需的出口压力范围要求并能够在整个测量周期内正常工作的油封式机械泵或者干式真空泵。5 试验方法5. 1 原理关闭罗茨真空泵的进气阀，然后在前级真空侧用合适的方式(如充气)调节不同的压力，导致溢流阔起跳。在测量时允许采用充气并辅以调节前级泵的抽速的方法对前级压力进行调节。5.2 程序首先按图3连接测试罩、压力计、进气闽、前级管路及前级泵，关闭进气阅A及进气阅B，在泵达到极限压力之后，通过调节前级管路测试罩上的进气阔B引人干燥气体。导致溢流阅起跳时的泵前级压力与入口压力差值

10、即为溢流阅压差。测量时需要确认溢流阅密封可靠、动作灵活。阀门调节应当缓慢平稳。5.3 溢流阀起跳的判断当泵出口压力与人口压力差超过溢流阀压差时，由于压差的作用会导致溢流阀密封失效，此时气体通过溢流阀通道回流，可以观察到泵的入口压力有明显的突然急速升高变化，从而判定溢流间起跳。6 试验结果应当进行至少五次操作，去掉前两次的测量值，对其余三次的测量值取平均值作为溢流阔压差，应记录泵的溢流阅压差。7 试验报告除试验结果的记录内容外，试验报告应至少包括下列内容:a) 所用测量仪器的类型、准确度等级和工作条件;b) 在泵人口法兰上使用的密封型式;4 GB/T 25753.3-2011 c) 测试罩尺寸和

11、法兰种类;d) 冷却水温度及流量;e) 泵的转速及在试验时的变化范围pf) 环境温度、湿度和大气压力。=oN|的.冈山hmNH阁。华人民共和国家标准真空技术罗茨真空泵性能测量方法第3部分:溢流阀压差的测量GB/T 25753.3一2011国白峰中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013)北京市西城区三里河北街16号(10004日网址总编室:(010)64275323发行中心:(010)51780235读者服务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销晤印张O.75 字数11千字2012年3月第一次印刷开本880X12301/16 2012年3月第一版* 书号:155066. 1-44097定价16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107GB/T 25753.3-2011 打印H期:2012年4月9日F002A