GB T 26032-2010 镍蒸发料.pdf

1、道昌ICS 77.150.99 日68中华人民共和国国家标准GB/T 26032一2010叫斗巾亦发基镇Evaporated nickel material 2011-10-01实施2011-01-10发布发布中华人民共和国国家质量监督检验检痊总局中国国家标准化管理委员会数蚂防fJJ目lJ 本标准由全国有色金属标准化技术委员会CSAC/TC243)归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准主要起草人:尚再艳、雷继峰、朱晓光、杨永刚、班立志、熊晓东、江轩。GB/T 26032-2010 I GB/T 26032-2010 镇蒸发料1 范围本标准规定了镰蒸发料的要求、试验方法、检验规

2、则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的各类锦蒸发料。其他用途的镇蒸发料也可参照使用。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 2828.1 计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T 8647.8镰化学分析方法硫量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法GB/T 8647. 9锦化学分析方法碳量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方

3、法GB/T 26016-2010 高纯镰3 要求3. 1 产品分类媒蒸发料的类型按键的纯度分为IC-Ni99.99和IC-Ni99.995两种。镇蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。R 口口L A 斗礼a)片状b)柱状图1镇蒸发料示意图3.2 化学成分要求3.2.1 媒蒸发料的化学成分要求见表100 4斗GB/T 26032-2010 表1镇蒸发料化学成分要求牌占J主IC-Ni99.99 IC-Ni99.995 Ni含量不小于/%99.99 99. 995 K 0.05 0.05 Na 0.5 o. 5 Li 0.01 0.01 Be 0.01 0.01 Mg 10 1 Ca 0.0

4、5 0.05 Mn 10 o. 1 Fe 20 20 Co 20 20 Cu 20 20 卜一一一一Zn 0.1 o. 1 Cd 0.05 0.05 杂质含量/CX106)，不大于卜一一一一八l10 5 Sn 3 O. 1 Sb 3 O. 1 Pb 3 1 Bi 3 0.05 一一一-B 20 O. 1 As 5 5 一一一-一Si 50 10 O. 1 一一一一一Ti 20 20 V 20 20 Cr 20 / 20 杂质总量/CX10勺，不大于100 50 注1:镇的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量;注2:顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供筒双方协商确认。3.2.2 镰蒸

5、发料的非金属元素含量要求见表20表2镇蒸发料非金属元素含量要求牌号IC-Ni99.99 IC-Ni99.995 C 100 50 H 10 10 非金属元素含盐/CX10-6)，不N 20 10 大于。100 50 S 10 10 2 GB/T 26032-2010 3.3 供货状态镇蒸发料以加工态供货。3.4 几何尺寸锦蒸发料的规格及允许偏差如表3所示。表3镇蒸发料规格片状柱状A B C R D L 10 10 2 1 3 6 尺寸/mm15 15 2 1. 5 6 6 一一7 20 允许偏差/mm土0.5:1: 0.5 士O.2 士0.2土0.5注:经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的镇

6、蒸发料。-一一一-一一3.5 外观质量镇蒸发料表面应光亮平整、沽净，边、角完整，元飞边、无毛刺、无夹杂、元裂纹等缺陷;应清洁、无油污和锈蚀;应元颗位附加物和其他沾污。4 试验方法4.1 锦蒸发料的杂屈含量参考GB/T26016 2010附录A采用辉光放电质谱(GDMS)进行检测;非金属杂质元素S的含量参考GB/T8647. 8进行检测;11金属杂质元素C的含量分别参考GB/T8647. 9 进行检测;非金属杂质元京N、0、H的分析方法由供需双方协商决定。4.2 镰蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。4.3 外观质量用目视检查，如发

7、现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5 检验规则5. 1 检查和验收5. 1. 1 锦蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写质量证明书。5.1.2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。5.2 组批镰蒸发料应成批提交检验。每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成。3 GB/T 26032-2010 5. 3 检验项目、取样位置和取样数量检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。表4检验项目、取样位置及数量检验项目

8、取样位置取样数量要求的章条号检验方法的章条号按铸镀数量的20%进行抽检，化学成分铸镀缩孔下但不少于1个铸键;3.2 4.1 每铸镀取1个样尺寸成品随机取样按GB2828. 1标准取5-1，3.4 4.2 AQL=1. 5抽取样品表面质量成品随机取样按GB2828. 1标准取5-1，3.5 4.3 AQL=1. 5抽取样品包装质量逐件6.2.1 4.4 5.4 检验结果判定5.4.1 化学成分不合格时，判该键不合格。重新取双倍数量的铸提取样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批不合格。5.4.2 几何尺寸不合格时，判该批产品不合格。5.4.3 外观质量不合格时，判该批产品不合格。6 标志、包装、运

9、输、贮存6. 1 标志在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明:a) 产品名称;b) 纯度zc) 规格Ed) 净重;e) 批号;f) 生产日期Eg) 供方名称;h) 生产厂家地址电话。6.2 包装、运输和贮存6.2.1 镰蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，元开裂，元贯通。真空袋封口要平整元贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。6.2.2 外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。6.2.3 产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。6.2.4 产品应保存于清洁的环境中。4 GB/T 260

10、32-2010 6.3 盾量证明书每批产品应附有质量证明书，注明:a) 客户名称;b) 供方名称;c) 产品名称;d) 纯度;e) 规格;f) 数量;g) 净重;h) 批号;i) 检测报告和技术监督部门印记;j) 生产日期;k) 执行标准号。7 订货单(或合同)内容订购本标准所列产品的订货单(或合同)内应包括下列内容:a) 产品名称;b) 纯度;c) 规格;d) 数量;e) 执行标准号;f) 其他。5 OFON|NgNH泣。国华人民共和国家标准镇蒸发料GB/T 26032-2010 中* 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045 网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销* 印张O.75 字数10千字2011年3月第一次印刷开本880X12301/16 2011年3月第一版16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533定价* 15号:155066. 1-41728 G8fT 26032-2010 打印日期:2011年3月30HF002A