GB T 11071-2006 区熔锗锭.pdf

1、ICS 29.045 H 82 道国中华人民共和国国家标准区熔错徒Zone-refined germanium ingot 2006-07-18发布GB/T 11071一2006代替GB11071一19892006-11-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准是对GB/T11071-1989(区熔错链的修订。本标准与GB/T11071-1989相比，主要有如下变动:将原标准区熔错键两个牌号ZGe-1和ZGe-2分别改为ZGe-O和ZGe-l; 一一明确ZGe-O和ZGe-l区熔错键的用途;GB/T 11071-2006 一-区熔错键电阻率测量温度由

2、(23土0.5)OC改为(20土O.5)OC，电阻率由二三47n. cm改为二三50n. cm; 一一在检验规则中，增加了组批、仲裁取样和制样、检测结果判定等内容;一一本标准增加了订货单(或合同)内容。本标准自批准实施之日起代替GBjT11071-1989。本标准附录A是规范性附录。本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准由北京有色金属研究总院、云南临沧鑫圆错业股份有限公司负责起草。本标准主要起草人:冯德伸、包文东、苏小平、杨海、马绍芳。本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。本标准所代替标准的历次版本分布情况为:一一GBjT11071-1989

3、0 I GB/T 11071-2006 区熔错徒1 范围本标准规定了区熔错链的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、储存等。本标准适用于以还原错键及错单晶返料为原料，经区熔提纯而制得的高纯错链。ZGe-O区熔错链主要用于制备探测器用高纯单晶，ZGe-1 金等。2 规范性引用文件下列文件中的条款的修改单(不包括勘误是否可使用这些文GB/ T 4326 YS/ T 602一3 要求3.2 电学性能区熔错链电学性牌号的引用文件，其随后所有达成协议的各方研究准。ZGe- O ;?:50 . 、.I :S;: 1. 5x lQl _/ I 二三3.7XIOZGe- l 3.3 区熔错链的横截面应为

4、梯形，同一根错键的最大与最小截面面积之差不大于平均截面面积的15%。错键上宽不小于26mm，下宽不小于21mm，高不小于23mm，链长100mm500 mm。3.4 区熔错链表面应呈银灰色光泽，无氧化膜、裂纹和浮渣。3.5 需方对产品外形尺寸和电学性能有其他要求时，供需双方可另行商定。4 试验方法4. 1 区熔错链电阻率的检验按YS/T602规定沿链底面中心线纵向进行，点间距不大于30mm。4.2 错单晶的载流子浓度和载流子迁移率的检验按GB/T4326规定进行，测量样品从单晶头部切取。GB/T 11071-2006 4.3 区熔错链截面尺寸用游标卡尺测量，长度用直尺进行测量。4.4 区熔错链

5、表面质量用目视检查。5 检验规则5. 1 检查和验收5. 1. 1 区熔错链应由供方技术监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写质量证明书。5. 1. 2 需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起2个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样在产品所在地共同进行。5.2 组批区熔错链应成批提交验收。每批应由同牌号组成。每批不大于100kg。5.3 检验项目5.3. 1 每批产品应逐根进行电阻率、表面质量的检验。5.3.2 ZGe-O牌号的区熔错链需要进行载流子浓度、载流子迁移率的检验。5.

6、4 仲裁取样和制样5.4. 1 检测ZGe-O电学参数用的错单晶按附录A制备。5.4.2 电阻率、外形尺寸、表面质量的仲裁取样按总链数的10%抽取。5.4.3 ZGe-O牌号产品载流子浓度和迁移率的仲裁取样按每批随机抽取一根，将其制备成单晶。5.5 检验结果要11定5.5.1 电阻率的仲裁检验结果与本标准规定不符时，判批不合格。5.5.2 外形尺寸和表面质量不符合本标准规定时，判键不合格。5.5.3 ZGe-O牌号产品的载流子被度和载流子迁移率的仲裁检验结果与本标准的规定不符时，判批为不合格。6 标志、包装、运输、贮存6. 1 标志6. 1. 1 每根区熔错链密封于聚乙烯辞膜袋中，并在袋上贴上

7、标签，注明生产厂家名称、商标、牌号和批号。6. 1. 2 区熔错键应包装成箱，每箱应注明:a) 供方名称;b) 产品名称和牌号;c) 批号。6.2 包装、运输、贮存6.2.1 将密封于聚乙烯薄膜袋中的区熔错键码放在泡沫塑料垫的凹槽内，然后叠放入符合环保要求的包装箱内，并用填料塞紧，以防错链窜动。每箱区熔错链质量不大于50kg。包装箱外用包扎带捆牢，箱外应有防震、防潮、防腐蚀字样或标志。6.2.2 ZGe-O牌号区熔错键装箱时，如客户有需求，可在其中一箱内放入按附录A制备的单晶及检测样品。单晶和检测样品分别密封装在聚乙烯袋内，计入批重。在箱外注明内有检验样品字样。6.2.3 区熔错键在运输和贮存

8、过程中要防止机械损伤、防腐蚀、防潮、防震动。6.3 质量证明书2 每批产品应附有质量证明书，其上注明tu 供方名称、地址、电话、传真;GB/T门071-2006b) 产品名称和牌号;c) 批号;d) 净重和件数Fe) 分析检验结果和技术监督部门印记;f) 本标准编号;g) 出厂日期(或包装日期)。7 订货单(或合同)内容本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容:a) 产品名称;b) 牌号;c) 链形、尺寸、电学性能等特殊要求;d) 数量;e) 本标准编号;f) 其他。3 G/T 11071-2006 附录A(规范性附录)检测用错单晶制备方法A.1 方法提要ZGe-O牌号的区熔错链，经腐蚀

9、、清洗烘干，装炉，制备成125mm归omm的单晶，测量其载流子浓度、载流子迁移率，用以判断区熔错链的质量。A.2 试剂、材料A. 2.1 A. 2. 2 A. 2. 3 A. 2.4 A. 2. 5 A.2.6 A. 2. 7 A. 2. 8 A.3 设备A. 3.1 单晶炉。A. 3. 2 氢气净A. 3. 3 管状沉A.5 A. 5.1 溶液在常温下浸泡24h。A. 5. 2 浸泡后的石墨部件，用去者之淹没错块，加热到和m:氧化氢体积比为A. 5. 4 石英增塌沉碳。以流量为500mL/min的氧气流过丙酣容器，把丙酣带入管状炉内，在温度(1 000土5)oc使石英增塌沉碳1h。A.5.5

10、 将沉碳后的石英增塌用去离子水煮沸、冲洗、烘干。A.6 单晶的制备A. 6.1 将处理好的样品料放入单晶炉内的石英增塌中。GB/T 11071-2006 .6.2 关好炉门，抽真空至真空度大于2.66X 10-2 Pa。.6.3 通入纯氢气至常压后，在氢气流量为1L/min的条件下升温熔料。如果采用纯氧气为保护气体，则通入纯氧气至常压后停止通气，在密闭的情况下升温使错料熔化。. 6. 4 错料熔化后，降温到引晶温度并稳定，以抨晶转速为(15 30)转/min.增捐转速(4 10) 转/min.拉晶速度为(1.O1. 2)mm/min拉制单晶。.6.5 单晶直径控制在25mm内omm。. 6. 6 熔体全部拉完后缓缓降温，待炉内温度降至室温后打开炉门，取出单晶。5 UCON-Fho=H阁。国华人民共和国家标准区熔错键GB/T 110712006 中奇峰中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码:100045网址电话:6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销习民印张O.75 字数10千字2006年11月第一次印刷开本880X12301/16 2006年11月第版略定价10.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68533533书号:155066. 1-28251 11071-2006