GB T 9506.4-1988 吸气剂放气量测试方法.pdf

1、llDC 621. 38. 032. 1 : 620. 1 L 32 GB 中华人民共和国国家标准吸气剂性能测试方法Test method of getter properties 1988-06-251发布1988-12-01实施筐东标准.，发布050928071681 GB 9506. 1-88 GB 9506. 2-88 GB 9506. 3-88 GB 9506. 4-88 GB 9506.5一-88GB 9506. 6-88 GB 9506. 7-88 GB 9506.8一-88GB 9506. 9-88 GB 9506. 10一-88GB 9506.门-88目录吸气刑性能测试方法通

2、则. ( 1 ) 蒸散型顿吸气剂得顿量测试方法.(5) 蒸散型锁吸气剂载料和膜中顿量的测定.(10) 吸气剂放气量测试方法. .,. .,. (1 4) 掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法.(20) 掺氮吸气剂顿膜分布测试方法.，.(25) 蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.，.(30) 非蒸散型顿吸气剂吸气性能测试方法.(37) 吸气剂装载量测试方法.(42) 吸气剂压制或烧结牢固度测试方法. . . . . . . . . . . . . . . (44) 吸气剂支架焊接强度测试方法.，.(47) 中华人民共和国国家标准吸气剂放气量;则试方法。onnM an, 问一川B G Test met

3、hod for amount of PI evolved from getter 本标准规定了吸气剂放气量的测试方法，适用于吸气剂放气量的测试.放气量测试包括总放气量和预处理后放气量的测试.测试条件应符合GB9506.1 吸气剂性能测试方法通则中的有关规定.1 名词术语1. 1 放气量放气量是指吸气剂在蒸散或激活过程中所放出来的气体量。蒸散型吸气和的放气量分为总放气量和预处理后放气量，非燕散型吸气剂的放气量就是总放气量.1.2 总放气量吸气剂从室温开始加热到起始蒸散前(或激活全过程中)所释放的，折合成氮当量(戎氢当量)的气体量。1.3 预处理后放气量吸气剂在动态真空条件下经350C、15min

4、除气后，让其玲却到100C以下，再开始加热到起始蒸散前所释放的、折合成氮当量的气体量.4 比放气量吸气剂的单位装载重量(或单位妖度)的总放气量或预处理后放气量.2 目的总放气量用来考核吸气剂的放气量s预处理后放气量用来考核吸气剂在电真空器件生产中排气烘烤后的放气量.3 原理采用定睿法。在恒温下，一定的时!可间隔内，某已知容积的容器中，因试样蒸散或激活而引起压力的变化，测定这个压力变化量，以求出放气量.4 设备a. 测试台真空系统的极限压力必须低于5X10Pa。测试装置的示意图见下图:中华人民共和国电子工业部1988-04-04批准14 1988-12-01实施GB 9506. 4-88 8 /

5、 6 5 4 3 放气量测试装置示意图9 2 14 15 10 / 1一机械泵，2一放气阀，3一三通真空阀，4一泊扩散泵，5一档饭或冷阱，6一高真空阀，7一无脂球阀，8一真空规，9一测放气量的真空规，10一静态膨胀容帮，11一连通管(外径不小子25mm) , 12一吸气剂试样，13一试样室;14-离频感应线圈，15一热偶引线b. 高频感应如热器zC. 秒表;d. 分析天平$C. 真空计量程必须覆盖1X 10-3-.1 OPa I i 点焊机Eg 函数记录仪zh. 磁铁。飞5 试件准备5. 1 环状试样15 GB 9506. 4-88 在试样环对径处分别点焊上丝径为0.3mm、长为30-40mm

6、的镰铅丝和镰硅丝，做成试件.5.2 带状试样从待测的吸气剂带卷上剪下50土1mm 快的试样，卷成直径为15mm的圆环，搭接处用点焊固定。焊点应在无粉处。在远离原有焊点、没有覆盖粉末的同一侧边缘对径处分别点焊上丝径为0.3mm、长为30-40mm 的镰络丝和镰硅丝，做成试件。5.3 其它形状试样5.3.1 元载体试样在试样外面用镰带包紧，然后在试样同一侧镰带边缘上相距最远处分别点焊上丝径为0.3mm、长为30-40mm的镰鳝丝和镰硅丝，做成试件.5.3.2 有载体试样在试样的载体同一侧边缘相距最远处分别点焊上丝径为0.3mm、长为30.40mm的镰锚丝和镰硅丝，做成试件.8 测试步骤6.1 总放

7、气量的测定6. 1. , 蒸散型吸气剂6. ,. 1. 1 将试件安装在试样室支架上，使吸气剂粉面朝着试样室的底部.接上温度指示计-6. ,. 1. 2 接通真空系统，抽真空。6. ,. 3 当压力低于5X10-3Pa时，关闭无脂球阀，测定测试系统60s内的漏放率.当其值低于IPa ml/s后，方可进行下述步骤。G. 1. 1. 4 打开无脂球阀，当压力再次低于5X10Pa时，重新关闭无脂球间，按附录A规定的起蒸时间蒸散试样.记取蒸散过程中试样室内压力峰值.6.1.1.5 待试样冷却后，打开无脂球阀，将测试系统接通大气，取出试样-6. .2 非燕散型吸气剂6.1.2.1 将试件装入试样室，接上

8、温度指示计-6.1.2.2 接通真空系统，抽真空.6. .2.3 当压力低于5X10-3Pa时，关闭无脂球间，测定测试系统60s内的精放率。当其值低于1 Pa. ml/s后，方可进行下述步骤.6.1.2.4 打开无脂球阀，当压力再次低于5X10-SPa时，重新关闭无脂蹲间，调节高频感应加热器输出功率，如果是带热子试样则接通加热电源，按制造厂家推荐的激活规范加热试样.记取激活过程中的压力峰值.6.1.2.5 待试样冷却后，打开无腊球阀，测试系统接通大气，取出试样-6.2 预处理后放气量的测定6.2.1 将试件安装在试样室支架上，使吸气剂粉面朝着试样室的底部.并接上温度指示计-6.2.2 接通真空

9、系统，抽真空.6.2.3 当压力低于5X10- Pa时，关闭无脂球阀，测定测试系统60s内的漏放率。当其值低于1Pa ml/s后，方可进行下述步骤.6.2.4 打开无脂球间，当压力再次低于5X 10-sPa时，调节高频感应加热器输出功率，在20-30s内将试样加热到350C，并在这一温度下保持15min.然后，停止加热-6.2.5 当试样冷却到100C以下时，关闭无脂球阀，按附录A规定的起燕时间蒸散试样.记取蒸散过程中试样室内压力峰值.8.2.8 待试样冷却后，打开无脂球阀，将测试系统接通大气，取出试样.7 撒据处理7.1 总放气量和预处理后放气量的计算7. ,. 1 蒸散型吸气剂总放气量按下

10、式计算zGB 9506. 4-88 。r= V(P, -Pi)一位乌. .0. . (1) 式中:!-r一一总放气量.Pa ml! P，-观察到的压力峰佳，Pa，P，一一测试系统的起始压力，Pa，V一一测试系统的容积.mf。各类吸气剂试样采用的测试系统容积推荐值见附录B，也一一测试系统的漏放率.Pa ml/s, 乌-一起燕时问A式(1)同样适用于预处理后放气量的计算.通常，式(1)可简化为2QT或Qp= V Pt .f. . .:0 0. . . . .,. (2) 式中1Qp一一预处理后放气量，Pa ml. 7 _ 1. 2 非燕散型吸气剂总放气量按下式计算zQT = V(P, -P，)RH

11、一也t .(3) 式中:RH一一真空计对于氧气的相对灵敏度，:一一测试时间，So7.2 比放气量的计算7.2.1 蒸散型吸气剂比放气量按下列公式计算:QT TT =商. . . . (4) 式中:rT一一吸气剂未经预处理的比放气量，即吸气剂单位装载量的总放气量.Pa ml/mg, Wd一一吸气剂的平均装载量，mg。rp =最. 式中:Qp一一吸气剂经预处理后的比放气量，即吸气剂单位装载量的预处理后放气量，Pa ml/mg o 7.2.2 非蒸散型吸气剂比放气量按下式计算z1Q =号. 式中:rQ一一吸气剂比放气量，即吸气剂单位装载量或单位长度的总放气量，Paml/ mg或Paml/cm, A一

12、一吸气剂的装载量或长用。若为单个成卢iJ试朽创为装载量，mg，若为带状试样，则为长度，cm.17 GB 9506. 4-88 8 测试报告测试报告见下表吸气剂放气量的测试报告总放气量预处理后比放气量吸气剂放气量序号/ QT rT ， rQ 型号Qp (Pa. ml) (Pa ml) (Pa ml/mg) (PII m1/mg) (Pa rnl/mg或PIIml/Cl) 1 2 3 . : 9 主要读撞来源9.1 测温系统误差由热电偶焊接位置、冷端温度和函数记录仪灵敏度等因素引起-9.2 测试系统容积的测定或计算的精度.9. 3 真空计精度和漏放率测定的准确度.10 注意事项10.1 在进行预处

13、理后放气量测定时，试样的预处理加热方式除采用高频感应力;热外，也可用烘箱加热.10.2 如果要求记录吸气剂放气过程中试样的温度变化和试样室内的压力变化，可以接上温度指示计和画数记录仪进行记录。10.3 非燕散型吸气剂的的激活所使用的激活温度和时间，除制造厂家推荐的规范外，还可采用如下规范za. 高温激活吸气剂温度:900土15C，时间:30S. b. 低温激活吸气剂温度:500土10C;时间:15min。10.4 测试系统的容积随被测吸气剂的类型而异，其值的选择应使测试过程中真空度的测量在真空计的精确范围内。其容积可采用注水法测定或通过计算求出。10.5 试样平均装载量民的测定见GB9506.

14、9暖气剂装载量测试方法儿18 GB 9506. 4-88 附景A各羹吸气剂放气量测定的起蕉时间补充件)吸气1ft1用途类是Ilj收讯放大管、示被管用吸气剂起熬时间(s)10士2白显象管用吸气剂萃，色显象管用吸气剂附景B各类吸气荆测试系统容积的推荐值(参考件15士225士2吸气剂用途类别测试系统容积(ml)吸气剂用越类别收讯放大管用吸气剂示波管用吸气剂黑白显象管用吸气剂黑白显象管用掺氨吸气剂附加说明z本标准由七四一厂负责起草.本标准主要起草人z陈金云.500-1000 彩色显象管用吸气剂1000-2000 彩色显象管用惨氯吸气剂1000-2000 非蒸散型吸气剂5000-6000 测试系统容积(ml)5000-6000 15000-20000 1000-2000 19 T由r-0的白.-cmmmu 中华人民共和国国家标准吸气剂性能;IJ试方法G臼506.1-9506.门-88 电子工业出版社出版(北京万寿路27号)河北省清河县印刷厂印刷中国电子技术标准比研究所发行版权专用不得翻印 开本:88川2301/16印张3字数:97千字1990年7月第一版1990年7月第一次印刷印数:1一1000册定价:4.70元 ISBN 7-5053-1185-9/TB 237