JB T 8226.1-1999 光学零件镀膜.减反射膜.pdf

1、ICS 17.1朋;37.020N30 JB 中华人民共和国机械行业标准JBf 8226.1 - 8-1999 光学零件镀膜Coating for optical element 1999- 08-06发布2000- 01 -01实施国家机械工业局发布目录JB/f8226. 1 -1999光学零件镀膜减反射膜JB/J宫226.2-1999光学零件镀膜水解法镀双层减反射膜.8 JB/J古226.3-1999光学零件镀膜外反射膜.12JB/J、8226.4-1999光学零件镀膜内反射膜.17 JB汀8226.5-1999光学零件镀膜中性滤光膜.21JB/f8226. 6 -1999光学零件镀膜结带

2、干涉滤光膜.25JB/J古226.7-1佣9光学零件镀膜分束膜.30JB/J古226.8-1999光学零件镀膜截止滤光膜.35JBIT 8226.1 - 1999 前本标准是对JB厅8226.1-95(GB1316-88)光学零件镀膜减反射膜的修订。修订时，对原标准作了编辑性修改，主要技术内容没有变化。本标准自实施之日起，代替血厅8226.1-95。本标准由全国光学和光学仪器标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位:上海光学仪器研究所。中华人民共和国机械行业标准JBf 8226. 1-1999 光学零件镀膜;成反射膜代替JB/8226. 1-95 2 引用标准1 范围上膜层3分类a，、能

3、a，、性4F、学d咽光的射射射件反反反零减减减求后层层带要膜单双宽术镀技1231 33344 k r 1 4.1.1 3.1中心的反射比R不超可见区内、，当渡长O.的零件表面中心l2J.。大于7nm4. 1.2 3.2中，心图2所示不大于04.1.3 3.3镀膜4.1.3.1 在波长i苦的可见区内选定。).0处镀膜后士士寸的反射比R，按射比ROO.际飞-不大于0.，-:山:T22Onm, ).l在光4. 1. 3.2 在42Snm-675nm波段内的平均反射比R不大于0.5%。国家机械工业局1999-08-06批准2000- 01-01实施3 R(%) 2.5 2.0 1. 5 1. 0 0.

4、5 。40.8 o R(%) 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 。4 R(%) 4 2 1. 0 0.8 0.5 。4u) )., 0.93 o 5 / 一于一v 05 5 JBf 8226.1-1999 n 1. 45 - 1.50 n 1.50-1. n 1.-1. 70 n 1. 70- 1. 90 0 1. 12 o砾II圄l600 图2阳)., + L). 图37 . (nm) . (nm) 7 (nrn) JB厅8226.1-19994.1.4 均匀性3.1和3.3零件表面有效孔径内边缘与中心的反射比偏差不大于0.3%。4.2 镀膜后零件的表面质量4.2.1 外观膜层不允4.

5、2.2麻点4.2.3.1 3.1和4.2.3.2 3.3按4.2.4 色斑疵病的原级数1，色斑是指部的干涉色突变，中能观察到市噎嗯有光中观察不到的局积的0.5%L一,. I 1 4.3.1 摩擦 . 按4.3.1.1或市1矗蓝，当零件的形拉机八、J小肥ll!行摩擦试验时，则按4.3.2莞凉。4.3.1.1 膜层能挺受圈强睛试验机的摩擦，摩擦2则转不磨破。4.3. 1.2 膜层能望-鹏主盛6.;的摩擦，按基底材料的显微硬度分下述两a)对于显微E度大于451次不磨破;卡襄清洁摩擦，摩擦50飞E合液4.4 性4.4.1 恒定k一 r 1 的摩擦，摩擦40侧的橡皮磨头的无包装情况土2C，相对的条件下保

6、持马品层不允许脱落，光学性注:本条通常不4.4.3低温无包装情况5试验方法5.1 镀膜后零5.1.1 试验工具反射比测量装置，准确度优于1.5%;模形玻璃折射率n为1.5163，色散系数为64.1。5.1.2试验程序6.5 - 7.2(3 k可r _j 4.1要求。采用比较测量法，以抛光好的模形菠璃新鲜平面的反射光为基准，同被检零件的表面反射光比较，测5 JBI 8226. 119 定其反射比。当被检零件不宜测量时，用光学性能相同(折射率、表面粗糙度、等效厚度和同次镀膜)的平面试验片代替。测量时应消除被检零件后表面反射光的影响，光线入射角不大于150。5.2镀膜后零件的表面质量(4.2)5.2

7、.1 外观和色斑(4.2.1和4.2.4)用iW-1W白炽灯照明，以黑色屏幕为背景，目测检验。5.2.2麻点和擦痕按GB厅1185的检验方法。5.3膜层的抗磨强度5.3.1 摩擦(4.3.1.1)5.3. 1. 1 试验工具膜层强度试验机。5.3.1.2试验程序用膜层强度试验机，同膜层接触的磨头为球半径3mm，表面粗糙度h为0.4的钢球，外裹两层干的脱脂纱布，使用时磨头对被检膜面的作用力沿重力方向，作用力为1.96N (0. 2kg) ，当零件表面有效孔径为D(mm)时，零件转速按n= 100001 D(r/min)选择，磨头触点到零件转动中心的距离应为D汀，零件经受2鹏转摩搭后的膜层应不磨破

8、。5.3.2摩擦(4.3.1.2)5.3.2.1 试验工具装有浮石-橡皮磨头的手持式擦试具，磨头是由优质橡皮加浮石填料组成，硬度为75度士5度，橡皮重量是填料重量的45%- 55%0 5.3.2.2试验程序a) 用手持式擦拭具，磨头保持9.8N(lkg)的压力对膜层进行摩擦，擦拭具应与被检表面垂直，行程长度约为磨头直径的三倍，顺着同一轨迹往返20周期(摩擦40次)，清洁表面后检验;b) 用手持式擦拭具，橡皮磨头外裹两层清洁干燥脱脂纱布保持4.9N(0.5kg)的压力对膜层进行摩擦，擦拭具应与被检表面垂直，行程长度约为磨头直径的两倍，顺着同一轨迹往返25周期(摩擦50次), 清洁表面后检验。5.

9、4镀膜后零件对环境的适应性(4.4)5.4.1 恒定湿热(4.4.1)按GBI、2423.3的规定。5.4.2盐雾(4.4.2)按GBI、2423.17的规定。5.4.3低温(4.4.3)按GB汀2423.1的规定。注:摩擦、恒定湿热、盐雾和低温等破坏性试验不对同只零件进行。6检验规则6.1 检验分类产品的检验分为出厂检验和型式检验。6.2 出厂检验6.2.1 出广检验抽样检查应按GB厅2828的一次抽样检查。6.2.2 出厂检验的项目为4.1和4.2，规定检查水平为IT，合格质量水平为4.0。6.3型式检验6.3.1 型式检验一般定为每年进行一次，产品在下列情况之一时亦进行型式检验:6 JB

10、f 8226.1-1999 a) 新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定;b) 正式生产后，如结构、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时;c) 正常生产时，定期或积累一定产量后，应周期性进行一次检验;d) e) f) 2,R. = 3)。LJ L J 、_.验的样 t A F气吨._ j 飞r _j 合格的产品中7 。F|ltF.时创飞回国华人民共和机械行业标准光学零件镀膜JB/I 8226.1-8-1饵中* 优械工业仪器仪表综合技术经济研究所出版北京市广安门外大街甲397号邮政编码:1X5S 电话:63490314.63261816廊坊市光达胶印厂印刷机械工业仪器仪表综合技术经济研究所发行* E-DJ8:sc:坦白阳blic.gb.m.CD网注:http:/www . ite.lID.CnJnter植.htm* 2(朋年2月第一版组阴年2月第一次印刷* 工本费:40.元印数:3