JJG 827-1993 分辨力板检定规程.pdf

1、JJJJ 中华人民共和国国家计量检定规程JJG 827-93 分辨力板1993年6月4日批准1993年10月15日实施国家技术监督局,-画面画画回国. 啕匾蝠时蝇娓a-分辨力板检定规程Verification Regulation of Resolution Target JII啼啼啼啼呻啼啼啼、t品;即827-曰:，品、.呻. 本检定规程经国家技术监督局于1993年6月4日批准，并自1993年10月15日起施行.归口单位s中国计量科学研究院起草单位s中国计量科学研究院本规程技术条文由起草单位负责解释，本规程主要起草人，马振亚中国计量科学研究院参加起草人事王莉茹中国计量科学研究院. 目录-.概

2、述.9 .川. 川.川.川.川. .川.t, .川.川.川.川.川. .川. 川. 川. 川.川. 川.川. 川.川.川. 川.(1 二、技术要求川. . ,. . t 1 ft 1ft t 1ft山盯三、检定项目和检定条件.1ft 1ft. ,. . If. (7) 四、检定方法. . . . . . . ft t (7) 五、检定结呆的处理和检定周期. . . ,. 1ft. . (12) 第1页共12页JJG 87 分辨力板检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的分辨力板的检定.述分辨力板主要用于测量光学零部件、望远系统、望远镜物镜、体视显微镜与投影物镜的分辨能力.分辨力板按图案形式

3、，分为A型与B型两种.A型分辨力板的图案由线宽递减的25个线条组合单元、菱形图案，以及两对短线标记组成(见图1).A型分辨力板相邻两单元的线条宽度的公比为l/，!，T(近似0.94). -、概m 8889 iA市一毒品V-2-松一三楼=墨命墨5删佑，Maw川各州bmA咿SAV-MS量。重。墨2AW一三4川争刷各州品?刷品恻龟，-AV-一忿窒ev噩晶守军品带=-=川hVMm匀，MA够刷品啼棚钱，lAV-一-eaEA墨。E命=一=厂旷今7川;-Z阳气:AVEe董必VEEA常重量31川hVM州争mA咿阳AV酬争卫-anza哇。. 咱，且咱，啕A型分辨力板图案一套A型分辨力板由编号为AlA7七块分辨力

4、板组成.A型分辨力板的每一线条组合单元，均由相邻互成450的4组明暗图1共12页第2页JJ827-93 糖1分拚力板号Al 晴线条总数线条宽度fm) 1 r 160 80.0 40.0 2由.010.0 7.&0 2 T 151 15.5 31.8 18.9 9.44 7.08 4.72 事7 143 71.S 35.6 17.8 8.91 6.68 4.45 4 7 135 87.S 33.6 16.8 8.41 6.31 4.20 s 自127 83.5 31.7 15.9 7.94 5.95 3.97 120 59.9 30.0 15.0 7.49 5.62 3.75 113 56.6

5、28.3 14.1 7.07 5.30 3.54 11 107 53.4 26.7 13.3 6.67 5.01 3.34 11 101 50.4 25.2 12.6 6.30 4.72 3.15 10 11 95.1 47 .6 23.8 11.9 5.95 4.46 2.97 11 13 89.8 44.9 22.4 11.2 5.61 4.21 2.81 12 IS 84.8 42.4 21.2 10.6 5.30 3.97 2.65 tS 15 80.8 40.0 20.0 10.0 5.00 3.75 2.50 14 15 111.5 37.8 18.9 9.44 4.72 3.54

6、 2.36 15 15 71.S 35.6 17.8 8.91 4.45 3.34 2.23 u 17 87.3 33.6 16.8 8.41 4.20 3.15 2.10 11 11 83.5 31.7 15.9 7.94 3.97 2.98 1.98 18 13 59. 30.Q 15.0 7.49 3.75 2.81 1.87 111 13 56.6 28.3 14.1 7.07 3.54 2.65 1.77 20 13 53.4 26.7 13.3 6.67 3.34 2.50 1.67 .2 1 15 50.4 25.2 12.6 6.30 3.15 2.36 1.57 22 15

7、47.6 23.8 11.9 5.95 2.97 2.23 1.49 23 17 44.9 22.4 11.2 5.61 2.81 2.10 1.40 24 17 2.4 21.2 10.6 5.30 2.61; 1.99 1.32 25 19 40.Q 20.0 10.0 5.2.50 1.8也1.2 一一 线条长度1-16单元1.2 I 0.6 。.3。.15Q.075 I 0.0562 。.0375一一一二mm 17-25单元Q.8 0.4 。.2。.1。.05I 0.037 5 。.025JJG 827-93 共12页第3页相间的平行线条组成.明线线条宽度与暗线线条宽度相同.相邻两明(

8、或暗)线条中心间距，称为线条中心距.线条中心距等于线条宽度的2倍.A型分辨力-板明(旺的线条的宽度与民度见表1.设所用平行光管的物镜焦距为fmm，线条宽度为bmm，则图案相邻线条的角距为2b = f; X 206 265 s A型分辨力板上两对彼此平行且距离相等的短线标记，称为基线.每对基线中心的距离，称为基线间距B.A型分辨力板的基钱间距见表2.费2分势力板号基线间距B(mm) 间应允差m)间应互差允差(m)i AI 1 A 2 I A 3 I A 4 I A 5 I A 6 I A 7 B型分辨力板的图案为明暗相同的根形线组成的困状辐射形图案.-套B型分辨力板由三块组成，:1主编号为剧，B

9、2 , B3.分别见图刻的与(b).B型分辨力板的参数及尺寸见表3.分辨力板的有效范围见表4分辨力板和保护玻璃采用元色光学政璃K9制逅，只外形为国片形.对毛坯的要求(有玫范围内)女rr-f:N三5共12页第4页(a) 费3分鳞力板号(mm) (mm) d (mm) (3 C) (b) 图2B型分辨力板图案(a) Bl号与B2号分辨力板图案(b) B3号分辨力板图案1 I 2 D D 。.300.15 一-36 72 5 2.5 注t(1)袭中D沟分拂力板有效孔径(2)爱中n为明晴线条款(3)表中为模形线的模角褒4分协力极号JJG 827-93 B3 D/4 。.153D/ . 72 2.5 J

10、JG 827-93 .N:;:二1e5 不允许有疵病与气也.二、技术要求 1外观共12页第5页分辨力板上应标明分辨力机号，A型分辨力极内还应标明单元号和基线间距，单元号的宁高等于单元钱条长度.字母，数字和基线上的疵病，不得影响外观和使用.2 表面质量2.1分辨力板与保护玻璃股合后，在有效范围内不允许有脱胶.2.2 B型分辨力板上，在6倍放大镜下观察，不得有影响使用和外观的疵病.2.3胶合后的A型分辨力板上允许有下列疵病.2.3.1麻点直径应小于二分之一线宽.且最大值对于暗线上的亮点与细线上的暗点分别不得超过10m和30m.麻点数量在整块分辨力板上不得多于10个，在每个单元内不得多于2个.2.3

11、.2擦痕宽度小于五分之一线宽，最大不超过8m.长度不大于单元线条长度.数量在整块分辨力板上不多于4条，在每一单元内不得多于1条.2.3.3线条局部疵病(如缺口，凸形，凹形宽度不得大于三分之一线宽，长度不得大于两倍线宽.数量在整块分辨力板上不得多于10处，在每一单元内不得多于2处.3 A型分辨力板基线间距的允主与两对基线间E巨相互偏差的允差见表2.4 A型分辨力板的线宽允差及需测量的板号与单元号见表5.5 A型分辨力板的线条中心距允差及需测量的板号与单元号见表6 6 A型分辨力极结25单元中的+字中心是图案的对称中心.其与基线的允许对称偏差及对毛坯中心的允许对中误差见去7.共12页第6页JJG

12、827-93 褒5分拂)阪号测毒单元号线?自传党允若(m) (m) AI 1 160 士165 127 土129 101 士1013 80 土825 40 土4A2 1 80 土86 63.5 士69 50.4 士513 40 土4A3 0 士65 S 1.7 土59 25.2 土4A4 20 土45 15.9 土3一一一-一A5 10 土2二十-A6 7.5 土2A7 5 士1.5襄8分辨力板号测量单元号线条中心垣m)线条中心目巨允差m) eaw-aen 12 320 254 202 1自由80 aoq&nuooaa 111土土土士土A1 飞J7 B型分辨力板上每一条模形线的模角偏差，允差为

13、士10 8 在高低两种对比度的分辨力板中，明暗线条的光密度差应符合表8.J.lG 827-93 费7分拂力极号与基线的允许对称儒差(mm) AI 自.Q48A2 。.024A3 。.012A4 。.006A5 。.003A6 。.002A7 。.C0 1 5 表8类Jj IJ i吉;对此(32:1) f民对此(3:1) 共12页第7页与毛坯的允许对中篇差(mm) 。.3。.3。.3。.3。.3。.3。.3光街度差1.5 。.45品。.55(单向密度0.270.37 (漫射密度三、检定项目和垃定条件9 分辨力板的枪定项目和主要检定工具列于裴9.10 特定环境汩度20士30C.分辨力板在检定室内平

14、衡温度的时间不得少于2h.检定仪器在室内使其扭度平衡的时间不得少于24h. 四、检定方法11 外观用6倍放大镜观察，应符合本规程第1条要求.12 表面质量12.1用6倍放大镜观察，胶合质量应符合木规程第2.1款要求.12.2用6倍放大镜观察.B型分辨力板的表面质量应符合本规程第2.2款要求.共12页第8页JJG 827-93 褒S2定类别|使用中|修理盾1 外观8倍放大?竟+ + + 2 表面质量(1) 6倍放大镜+ + + (2)显微镜- 基线间距(1)万能工具显微镜+ + + (2)0.5m激光比士是仪- 4 线条宽咬(1)万能工具显微镜+ - + 。)0.5m激光比长仪一一5 线条中心距

15、万能工具显微镜+ + - +字线中心对基线的万能工具宦傲进+ - + 对称，及对毛主E中心的对申-7 模形线模的万能工具理微镜+ + + -一咀光?密度差部u微光OC.t+ - + 注z袤中+号衷示泼项应检定.，_号麦示泼项可不检定.12.3用显橄镜观察，A塑分辨力板应符合本规程第2.3款要求.所用显微镜，其物镜放大率需按表10选用.目镜放大率为10飞在显微镜观察下，分辨不出疵病(麻点、擦痕、缺口等)，视为合格.号板和一山物镜放大牢AT . 13 A型分辨力板的基线间距采用测量准确度为1m的万能工具显微镜，对A1-.A5号分辨力棋道行测量.l1G 827-93 共12页第9页采用测量准确度为0

16、.5m的激光比长仪，对A6-A7号分辨力板进行测量.测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，使图案两基线端头连线与工作台运动方向平行.然后使目镜中的分划线对准左边一条基线的中心，得读数叭，再使分划线对准右边一条基线的中心，得读数a2，两读数之差a=11-a21，即为该对基线的间距一次测量值.每对基线的间距测量三次，取平均值，即为该对基线的问距实测值.W;j对基线的基线间距实测值之差，即为基线间距的互差.每对基线的问距实测值与两对基线之间的问距互差均应符合本规程第3条要求.14 A型分辨力板的线宽采用测量准确度为1m的万能工具显微镜对A1.，A5号板进行测量.采用测量准确度为0.5m的激

17、光比长仪对A6-A7号极进行测量.测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使日镜中的分划线.依次对准待测一组相邻两明(或暗线条的两侧，得读数a1和az，两读数之差的三分之一，b= a业二旦L，即为该组相3 3 邻两线条宽度的一次测量值.对该组相邻两线条测量三次，取平均值，即为该组相邻两线条的线宽实测值(见图3).测量时，按本规程第4条规定，选定待测分辨力板的板号与测量单元号.在待测单元中，任选三组相邻两线条明(或暗)线进行测量.三组线条的线宽实测恒的平均倍，即为该单元的线宽实测值.测得的各单元钱宽实测佳均应符合本规程第4条的规定.15 A型分辨力板的线条中心距根据本规程;在5条的规

18、定，仅对A1号板其中的1，5, 9, 13, 25语单元进行线条中心距的检定.采用川贵准确度J1m的万工显对上述单元进行测量.共12页第10页JJG 827-93 al Q,% a1 a,% 图3线宽测量原理J测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使自镜中的分划线，依次对准待测单元巾任一对相邻明或暗)线条的中心，得读数矶和民，两读数之差a=la1-a21，即为该对线条的中心距一次测量值.对该对线条测量三次，取平均值，即为该对线条中心距的实测值.任选三对线条进行测量，三对线条中心距实测值的平均值，即为该单元的线条rl:r心距的实测值.测得的各单元的线条中心距的实测值均应符合本规程第

19、5条要求.16 A型分辨力板+字中心对基线的对称偏差，对毛坯中心的对中偏差.采用测量准确度为1m的万工显对Al.A7号板进行测量.测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，调焦清晰，使日镜中的分划线依次与毛坯边缘相切，与基线中心及+字中心相重合.获得读数值x已X2JX, x;, x;，与YUY2 Y，抖，Y;诸量(见图的.然后按式(1)与式(2)t一算，叫V. (X1 -x)川fj2+(Yl-川二加了一(1) lJG 827-93 共12贞第11贺J=卡J)-川J2 + (口(y式中，M_ +字中心对毛坯的对中偏差，J_一+字中心对基线的对称偏差.(2) tl + 字中心对毛坯中心的对中偏差与+字中

20、心对基线的对称偏差均应符合本规程第6条的要求.17 B型分辨力板模形线的棋角采用测量准确度为l的万工显进行测量.测量时将分辨力板置于仪器工作台上，调焦清晰，使测角自镜分划板中心与分辨力板中心重合，然后转动测角目镜分划线，依次与棋形线(叨线或暗线)的两边缘重合，记F角度读数叭，与a2两角度读数之差=Ia)-azl，即为该棋形线棋角的一次测量值.测量三欢，If平均伯，即为该棋形线棋角的实测值.任选三条棋形钱，三条棋形线棋角的三个实测直的平均恤，即y.该分辨力板模形线棋角的实测值.111 中Ax; lIi 图4+字中心与基线的对称偏差及与毛坯的对中偏差测试原理图共12页第12页JJG 827-93

21、各种B型分辨力板棋形线棋角的实测值均应符合本规程第7条的要求.18 光密度差采用测微光度计对A型与B型分辨力板明暗线条的光密度差进行测量.对于A型分辨力板s用测微光度计分别测得菱形标旷4日暗背景上任意部位处的光密度，相减即得.对于B型分辨力极s用测微光度计分别测得任一部位明暗懊形线大头处的光密度差均应符合本规程第8条要求.五、检定结果的处理和检定周期19 经检定，符合本规程要求的分辨力板应发给检定证书，. ，符合本规程要求的分辨力板应发给检定结果通知书.20 分辨力板的检定周期应根据实际使用情况确定.但最长d 超远8年.新登(京)字024号中华人民共和国国家计量检定规程分辨刀极JJG 827-93 国家技术监督局颁布峙非国计量出版社出版北京和平且菌属申2号中国计量出版社印刷厂印刷新华书店北京发行所发行4 开本850x 1168;32 印张。.5字数11千字1993年9月第1版1993年9月第1次印刷印数1-1500统一书号155026-679定价2.元叭队iuhA川队、CU门