GB T 13389-1992 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程.pdf

1、13389 92 G/T ./、UDC 669. 782-172-415 I 621.317.33083.5) H 21 华LW Pfhr吃26ll4-4曰目目Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon 国1992-10-01 发布局I监才运技家1992-02-19发布中华人民共和国国家标准硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程Practice for converson between resistivity and dopan

2、t density for boron-doped and phosphorus-doped silicon 主题内容与适用范围GB/T 13389-92 本标准规定了23C时掺砌掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012.1021cm(电阻率0.0001-10,ooon. cm)掺砌硅单晶和102_5X 10 cm-(电阻率。.000 2-4, ooon cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与棚、磷相似的其他掺杂剂。2 引用标准GB 6615 硅片电阻率的直排四探针测试方法3 方法提要用公式、表格或曲线图形进行电阻率和掺杂剂浓度之间的换

3、算。4 换算步骤4. 1 按照图解法、表格法或计算法把电阻率值换算成掺杂剂浓度值。4. 1. 1 图解法4.1.1.1 掺砌硅单品使用图l中标有棚的曲线.4. 1- 1.2 掺磷硅单晶使用图1中标有磷的曲线。4. 1- 2 表格法4.1.2.1 掺砌硅单品使用表1.4.1.2.2 掺磷硅单晶使用表2.4. 1. 3 计算法4.1.3.1 掺砌硅单晶按式。)由电阻率值计算掺杂剂浓度值3N=L旦旦三卫士+1.082 X 10 p , p(l + (54. 56p)1阳式中;p 电阻率，(l.cm;N 掺杂ifrJ浓度，cm-3。4.1. 3. 2 ( 1 ) 掺磷硅单晶按式(2)、式(3)由电阻率

4、值计算掺杂剂浓度值26.242 X 1018 N=一一一-一一一一XlOZ . . . ( 2 ) p 国家技术监督局1992-02-19批准1992-10-01实施1 式中:x=logloP; Ao-3.1083， A】-3.2626, A2-I. 2196, A3-0.139 23; B1. 0265, B，0.387 55 , B30.041833. G8/T 3389-92 Z A 0+ A卢+A ,x + A3X3 一1+ Bx + B,x2 + B3:r 4.2 按照图解法、表格法或计算法把掺杂剂浓度值换算成电阻率值。4. 2. , 图解法4.2. 掺砌硅单品使用图l中标有棚的曲线

5、。4.2.2 掺磷硅单晶使用图1中标有磷的曲线。4.2.2 表格法4.2.2. 掺哥哥硅单晶使用表3.4.2.2.2 掺磷硅单晶使用表4.4.2.3 汁算法4.2.3. 掺砌硅单晶按式(4)由掺杂剂浓度值计算电阻率值3. ( 3 ) 1. 305 X 10 . 1.133 X 10 p一一一育一一+N C1 + (2: ;8; 1=3川omHH-. .( 4 ) 4.2.3.2 掺磷硅单晶按式(5)、式(6)由掺杂剂浓度值计算电阻率值i式中Iy (logN) -16; Ao-3. 076 9; A2.2108; 2 A，-O. 62272; A 30. 057501; B3-O.681 57

6、, B20.19833; B3-0. 018376。6.242 X 108 . . _ _, p一一N一一X100 . . . . . . ., .( 5 ) , A 0 + AtY + A 2y2 + A 3y3 =3( 6 ) I十BlY十Bzy2+ B 3Y 13389-92 G/T 实哇囱电阻率换算到修杂剂浓度虚辑一一外撞部分1011 lOU ?EU.国提Zb吨稳10 10-1 10- 10- 咆阻率，Q.cm 电阻率和掺杂剂浓度之间的换算图因13 注s实续为实际数据范围内电阻率-掺杂剂改度换算曲线g虚线为实际数据外推的换算曲线.GB/T 13389-92 表1掺砌硅单晶掺杂剂浓度对电

7、阻率的换算表电阻率掺杂剂浓度，cm(!l , cm) 0.0 O. 1 O. 2 O. 3 0.4 0.5 0.6 O. 7 。.8 O. 9 1.0E-04 1.2E21 1. 1E21 1.0E21 9. 3E20 8.6E20 8. lE20 7.6E20 7. lE20 6.7E20 6.4E20 2.0E-04 6.0E20 5.8E20 5.5E20 5.2E20 5.0E20 4.8E20 4.6E20 4.5E20 4.3E20 4.2E20 3. OE-04 4.01E20 3. 88E20 3.76E20 3.64E20 3.54E20 3.43E20 3.34E20 3.

8、25E20 3.16E20 3.08E2 。4.0E-04 3.00E20 2.93E20 2.85E20 2.79E20 2. 72E20 Z.66E20 2.60E20 2.55E20 2.49E20 2. 44E2 。5.0E-04 2.39E20 2. 34E20 2.30E20 2.25E20 2.21E20 2.17E20 2.13E20 2.09EZO 2.06E20 2.0ZE2 。日.OE-041.99E20 1.95E20 1.92E20 1. 89E20 .86E20 1.83E20 1. 80E20 1. 77E20 1.75E20 1.72E2 。7.0E-04 1.

9、70E20 1.67E20 1. 65E20 1. 62E20 1.60E20 1.58E20 1.56E20 1.54E20 .5ZEZO 1.50E2 。8.0E-04 1. 48EZO 1.46E20 .44E20 1. 42E20 1.41E20 1.39E20 1.37E20 1.36EZO 1.34E20 1.32E2 。9.0E-04 1.31E20 I.Z9E20 1.28E20 1.27E20 1.25E20 1. Z4E20 1.22EZO 1. Z1E20 1. ZOE20 1. 19E2 。1.0E-03 1.17E20 1.06E20 9.70E19 8.92E19

10、8.25E19 7.67E19 7. 17E19 6.72E19 6.32E19 5.97E19 2.0E-03 5.65E19 5.36E19 5.09E19 4.85E19 4.63E19 4.43E19 4.24E19 4.07E19 3.91E19 3.76El 9 3.0E-03 3.62E19 3.49E19 3.37E19 3.25E19 3. 15E19 3.04E19 2.95E19 2.86E19 2. 77E19 2.69E19 4.0E-03 2.61E19 2.54E19 2.47E19 2.40E19 2.34E19 2.28E19 2. 22E19 2. 17E1

11、9 2. l1E19 2.06El 9 5.0E-03 2.01E19 1.97E19 1.92E19 1.88E19 1. 84E19 1.80E19 1.76E19 1.72E19 1.69E19 1.65E19 斗6.0E-03 1.62E19 1.59E19 1.56E19 1. 53E19 1.50E19 1.47E19 1.44E19 1.41E19 1.39E19 1.36El 9 7.0E-03 1.34E19 1.32E19 1.29E19 .27E19 1.25E19 1.23E19 .21E19 1.19E19 1.17E19 1. 15E19 8.0E-03 1.13E

12、19 l. l!El9 1.10E19 .08E19 1.06E19 1.05E19 1.03E19 ).02EI9 1.00E19 9. 88E) 8 9.0E-03 9. 74E18 9.60E18 9.47E18 9.33E18 9. ZOE18 9.08E18 8.95E18 8.83E18 8.72E18 8.60E18 1.0E-02 8.49E18 7.48E18 6.65E18 5.97E18 5.39E18 4.89E18 4.47E18 4.10E18 3.78E18 3. 49El 8 2.0E-02 3.24E18 3.02E18 2.82E18 2.64E18 2.4

13、8E18 2.33E18 2.20E18 2.07E1 8 1.96E18 .86E18 3.0E-02 1. 77E18 1.68E18 1.60E18 .53E18 1.46E18 1.40E18 1.34E18 1.28E18 1.23E18 1.18El B 4.0E-02 1.14E18 1.09E18 1.05E18 .02E18 9.80E17 9.46E17 9. 14E17 8.84E!7 8.56E!7 8.29E!7 5.0E-02 8.03E17 7. 79E1 7 7.55E17 7.33E17 7.1ZE17 6.92E17 6.73E17 6.55E17 6.37

14、E17 6. Z1E17 6.0E-02 6.05E17 5.89E17 5.75E17 5.61E17 5. 47E17 5.34E17 5.22E17 5.10E17 4.98E17 4.87E17 7.0E-OZ 4.76E17 4.66E17 4.56E17 4.47E17 4.37E17 4.29E17 4.20E17 4. 12E17 4.03E17 3.96E17 8.0E-02 3.88E!7 3.81E17 3.74E17 3.67E17 3.60E17 S.54E17 3.48E17 3.42E17 3.36E17 3. 30丑179.0E-02 3.24E17 3.19E

15、17 3. 14E17 3.09E17 3.04E17 2.99E17 2. 94El7 2.90E17 2.85E17 2.81E17 1.0E-Ol 2. 77E17 2.40E17 2.llE17 .88E17 1.69E17 1.53E17 1.40E17 1.28E17 1.18E17 1.10E17 2.0E守011.02E17 9.59E16 9.01E16 8.49E16 8.02E16 7.60E16 7.22E16 6.88E16 6.56E16 6.27E16 3.0E-Ol 6.00E16 5.76E16 5.53E16 5.32E16 5. 13E16 4.94E16

16、 4.77E16 4.61E16 4.46E16 4.32E16 4.0E-Ol 19E16 4.07E16 3.95E16 3.84E16 3.73E16 3.63E16 3.54E16 3.45E16 3.36E16 3.28E16 5.0E-Ol 3.21E!6 3.13E16 3.06E16 2.99E16 2.93E16 2.87E16 2.81E16 2.75E16 2.69E16 2.64E16 6.0E-Ol 2.59E16 2.54E16 2.49E16 2.45E16 2.40E16 2.36E16 2.32E16 2.28E16 2.24E16 2.21E16 4 L ,

17、 GB!T 13389-92 续表l电阻率掺杂剂浓度.cm m. cm) 0.0 O. 1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 7.0E-Ol 2. 17EI6 2. 14E16 2.IOEI6 2.07E16 2.04E16 2.0IE16 1. 98EI6 . 95E16 1.92E16 1.89E16 8.0E-01 1.87E16 1.84E16 . 82E16 1.79E16 1.77E16 I.75EI6 I.72EI6 . 70E16 1. 68E16 1.66E16 9.0E-01 1.64E16 1.62E16 1.60E16 1.58E16 1.

18、 56E16 1.54E16 1.53E16 1. 51E16 1.49E16 1.47E16 1.0EOO 1.46E16 1.31E16 1.20E16 1.10E16 1. 01E16 9.41E15 8.79E15 8.24E15 7.76E15 7.33E15 2.0E口。6.95E15 6.60E15 6.29E15 6.01E15 S.75E15 S.SIE1S S.29E1S S.08E1S 4.90E15 4.72E15 3.0EOO 4.56E15 4.41E15 4.27E15 4.13E15 4.01E15 3.89E1S 3.78ElS 3.68ElS 3.58E15

19、 3.48E15 4.0EOO 3.39E15 3.31E15 3.23E15 3.15E15 3.08E15 3.01E1S 2.94E1S 2.88E15 2.82E15 2.76E15 5.0EOO 2.70E15 2.65E15 2.60E15 2.55E15 2.50E15 2.4SE1S 2.41E15 2.37E15 2.32E1S 2.28E15 . 6. OEOO 2.25E15 2.21E15 2.17E15 2. 14E15 2.10E15 2.07E15 2.04E15 2.01E15 1.98E15 1.95E15 7.0EOO 1.92E1S 1.89E1S 1.8

20、7E15 1.84E15 1.82E15 1.79E15 1.77E15 1.74E15 1.72E15 1.70E15 8.1:00 1.68E15 1.66E15 1.64E15 1. 62E15 1.60E15 1.58E15 1.56E15 1.54E15 1.52E15 1.51E15 9.0EOO 1.49E1S 1.47E15 1.46E15 1.44E15 1.43E15 1.41E15 1.40E15 1.38E1S 1.37E15 1.35E15 1.0EOl 1.34E15 1.22E15 l. l1El5 1.03E15 9.55E14 8.91E14 8.35E14

21、7.85E14 7.42E14 7.02E14 2.0EOl 6.67E14 6.35E14 6.06E14 5.80E14 5.56E14 5.33E14 5. 13E14 4.94E14 4. 76E14 4.60E14 3.0EOl 4. 44E14 4.30E14 4. 16E14 4.04E14 3.92E14 3.81E14 3.70E14 3.60E14 3.50E14 3. 41E14 4.0EOl 3.33E14 3.25E14 3.17E14 3.10E14 3.03E14 2.96E14 2. 89E14 2.83E14 2. 77E14 2.72E14 S.OEOl 2

22、.66E14 2.61E14 2.56E14 2.51E14 2.46E14 2.42E14 2.38E14 2.34E14 2.29E14 2. 26E14 6.0EOl 2.22E14 2.18E14 2.15E14 2. lIE14 2.08E14 2.05E14 2.02E14 1.99E14 1. 96E14 1.93E14 7.0EOl 1.90E14 1.87E14 1. 85E14 1.82E14 1.80E14 1. 77E14 1.75E14 1. 73E14 1.71E14 1.68E14 8.0EOl 1.66E14 1.64E14 1.62E14 1.60E14 1.

23、58E14 1.57E14 1.55E14 1. 53E14 1.51E14 1.49E14 9.0EOl 1. 48E14 1. 46E14 1.45E14 1.43E14 1. 42E14 1.40E14 1.39E14 1. 37E14 1.36E14 1.34E14 1.0E02 1. 33E14 1.21E14 l. lIEl4 1.02E14 9.50E13 8.87E13 8.31E13 7.82E13 7.39E13 7.00E13 2.0E02 6.6E13 6.3E13 6.0E13 5.8E13 5.5E13 5.3E13 5.1E13 4.9E13 4.7E13 4.6

24、E13 3.0E02 4.4E13 4.3E13 4.2E13 4.0E13 3.9E13 3.8E13 3.7E13 3.6E13 3.5E13 3.4E13 4.0E02 3.3E13 3.2E13 3.2E13 3.1E13 3.0E13 3.0E13 2.9E13 2.8E13 2.8E13 2.7E13 5.0E02 2.7E13 2.6E13 2.6E13 2.5E13 2.5E13 2.4E13 2.4E13 2.3E13 2.3E13 2.3E13 6.0E02 2.2E13 2.2E13 2.1E13 2.1E13 2.1E13 2.0E13 2.0E13 2.0E13 2.

25、0E13 1.9E13 7.0E02 1.9E13 1.9E13 1.8E13 1.8E13 1.8E13 1.8E13 1.7E13 1.7E13 1.7E13 1.7E13 8.0E02 1.7E13 1.6E13 1.6E13 1.6E13 1.6E13 1.6E13 1.5E13 1.5E13 1.5E13 1.5E13 9.0E02 1.5E13 1.5E13 1.4E13 1.4E13 1.4E13 1.4E13 1.4E13 1.4E13 1.4E13 1.3E13 1.0E03 1.3E13 1.2E13 1. lE13 1.0E13 9.5E12 8.9E12 8.3E12

26、7.8E12 7.4E12 7.0E12 2.0E03 6.6E12 6.3E12 6.0E12 5.8E12 5.5E12 5.3E12 5.1E12 4.9E12 4.7E12 4.6E12 3.0E03 4.4E12 4.3E12 4.2E12 4.0E12 3.9E12 3.8E12 3.7E12 3.6E12 3.5E12 3.4E12 5 GB/T 13389-92 续表1电阻率掺杂剂浓度，cm-3 n. cm) 0.0 。1O. 2 0.3 O. 4 O. 5 。.6 O. 7 。.8 0.9 4.0E03 3.3E12 3.2E12 3.2E12 3.1E12 3.0E12 3

27、.0E12 2.9E12 2.8E12 2.8E12 2.7E12 5.0E03 2.7E12 2.6E12 2.6E12 2.5E12 2.5E12 2.4E12 2.4E12 2.3E12 2.3E12 2.3E12 6.0E03 2.2E12 2.2E12 2.1E12 2.1E12 2.1E12 2.0E12 2.0E12 2.0E12 2.0E12 1.9E12 7.0E03 1.9E12 1.9El2 1.8E12 1.8E12 1.8E12 1.8E12 1. 7E12 1.7El2 1.7E12 1.7E12 8.0E03 1.7E12 1.6E12 1.6E12 1.6E12

28、 1.6E12 1.6E12 1. 5E12 1. 5E12 1.5E12 1.5E12 9.0E03 1.5E12 1.5E12 1.4E12 1.4E12 1.4E12 1.4E12 1.4E12 1.4E12 1.4E12 1.3E12 1.0E04 1.3E12 1.2E12 1.IE12 1. OE12 9.5Ell 8.9Ell 8.3Ell 7.8Ell 7.4Ell 7.0Ell 2.0E04 6.6Ell 6.3Ell 6.0Ell 5.8Ell 5.5Ell 5.3Ell 5.1Ell 4.9Ell 4.7Ell 4.6Ell 3.0E04 4.4Ell 4.3Ell 4.

29、2Ell 4.0Ell 3.9Ell 3.8Ell 3.7Ell 3.6Ell 3.5Ell 3.4Ell 4.0E04 3.3Ell 3.2Ell 3.2Ell 3.1Ell 3.0Ell 3.0Ell 2.9Ell 2.8Ell 2.8Ell 2.7Ell 5.0E04 2.7Ell 2.6Ell 2.6Ell 2.5Ell 2.5Ell 2.4Ell 2.4Ell 2.3Ell 2.3Ell 2.3Ell 6.0E04 2.2Ell 2.2Ell 2.1Ell 2.1Ell 2.1Ell 2.0Ell 2.0Ell 2.0Ell 2.0Ell 1. 9Ell 7.0E04 1.9Ell

30、1.9Ell 1.8Ell 1.8Ell 1.8Ell 1.8Ell 1.7Ell 1.7Ell 1.7Ell 1.7Ell 8.0E04 1.7Ell 1.6Ell 1.6Ell 1.6Ell 1.6Ell 1.6Ell 1.5Ell 1.5Ell 1.5Ell 1. 5Ell 9.0E04 1.5Ell 1.5Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.4Ell 1.3Ell 注.1.0E-041.0Xl0.1.2E211.2Xl0气其余类推表2掺磷硅单品掺杂剂浓度对电阻率的换算表电阻率楼杂剂浓度，cm cn. cm) 0.0 O. 1

31、0.2 0.3 0.4 O. 5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0E-04 1.6E21 1.4E21 1.2E21 1.IE21 9.4E20 8.5E20 7.7E20 7.0E20 6.4E20 5.9E20 2.0E-04 5.5E20 5.1E20 4.8E20 4.5E20 4.3E20 4.0E20 3.8E20 3.6E20 3.5E20 3.3E20 3.0E-04 3. 15E20 3.02E20 2.89E20 2.78E20 2.67E20 2.58E20 2.48E20 2.40E20 2.32E20 2. 24E2 。4.0E-04 2. 17E20 2.10

32、E20 2.04E20 1.98E20 1.93E20 1.87E20 1.82E20 1.78E20 1.73E20 1. 69E2 。5.0E-04 1.65E20 1.61E20 1.57E20 1.53E20 1.50E20 1. 47E20 1.44E20 1.41E20 1.38E20 1.35E2 。6.0E-04 1.32E20 1.30E20 1.27E20 1.25E20 1. 23E20 1.20E20 1. 18E20 1.16E20 1.14E20 1.12E2 。7.0E-04 1.10E20 1.09E20 1.07E20 1.05E20 1.04E20 1.02

33、E20 1.00E20 9.90E19 9.75E19 9.61El 9 8.0E-04 9.48E19 9.34E19 9.21E19 9.09E19 8. 97E19 8.85E19 8.73E19 8.62E19 8.51E19 8.40El 9 9.0E-04 8.30E19 8. 19E19 8.09E19 8.00E19 7.90E19 7.81E19 7.72E19 7.63E19 7.54E19 7.46El 9 1.0E-03 7.38E19 6.64E19 6.04E19 5.53E19 5.11EI9 4.74E19 4.42E19 4.14E19 3.90E19 3.

34、68E1 9 2.0E-03 3.48E19 3.30E19 3.14E19 2. 99El9 2. 86E19 2. 73E19 2.62E19 2.51E19 2.41E19 2. 32El 9 3.0E-03 2.24E19 2. 16E19 2.08E19 2.01E19 1.94E19 1.88E19 1.82E19 1.76E19 1.71EI9 1. 66E1 9 6 GB/T 13389-92 续表2电阻率掺杂剂浓度，cm-3(0. cm) 0.0 O. 1 。.2 0.3 0.4 O. 5 0.6 O. 7 0.8 O. 9 4.0E-03 1.61E19 1.56E19 1

35、.52E19 1.47E19 1. 43E19 1.40E19 1.36E19 1.32E19 1.29E19 1.26E19 5.0E-03 1.22E19 1.19E19 1.16E19 1.14E19 l. lIEl9 1.08E19 I.06EI9 1.03E19 1.01E19 9.87EIB 6.0E-03 9.65E18 9.44E18 9.24E18 9.04E18 8.84El8 8.66E18 8.47E18 8.30E18 8.13E18 7.96E18 7.0E-03 7.80E18 7. 65E18 7.49E18 7.35E18 7.20E18 7.06E18 6.

36、93E18 6.80E18 6.67E18 6.54E18 8.0E-03 6.42E18 6.30E18 6.19E18 6.07E18 5.96E18 5.86E18 5.75E18 5.65E18 5.55E18 5.46E18 9.0E-03 5. 36EIB 5.27E18 5.18E18 5.09EIB 5.01E18 4.92E18 4. B4EIB 4. 76EIB 4.6BE18 4.61E18 1.0E-02 4.53E18 3.87E18 3.34E18 2.91E18 2.55El8 2.25E18 2.00E18 1. 7. 8E18 1.60E18 1.45E18

37、2.0E-OZ 1.3lE18 1.20E18 1.09E18 1.00E18 9. Z6E17 8.56E17 7.94E17 7.39E17 6.89E17 6.44E17 3.0E-02 6.04E17 5.68E17 5. 35E17 5.05E17 4. 77E17 4.52E17 4.29E17 4.08E17 3.88E17 3.70E17 4.0E-QZ 3.53E17 3. 38E17 3.23E17 3.10E17 2.98El7 2. 86El7 2.75E17 2.65El7 2.55E17 2.46E17 5.0E-OZ 2.37E17 2. 29E17 2. 22E

38、17 2. 15E17 2. 08El7 2.02E17 1.95E17 1.90E17 1. 84E17 1.79E17 斗6.0E-OZ 1.74E17 1.69E17 1.65E17 1.61E17 1.56E17 1.53E17 1.49E17 1.45E17 1. 42E17 1.38E17 7.0E02 1.35E17 1.32E17 1.29El7 1.27E17 1. 24El7 1.21E17 1. 19E17 1. 16E17 1.14E17 1.12E17 8口E-021.10E17 1.08E17 1. 06E17 1.04E17 1.02E17 9.99E16 9.8

39、1E16 9.64E16 9.48E16 9.32E16 9.0E-02 9.16E16 9.01E16 8.87E16 8. 72E16 8.59E16 8.45E16 8.32E16 8.20E16 8.07E16 7. 95E16 1.0E-Ol 7.84E16 6.83E16 6.04E16 5.40E16 4.88E16 4.45E16 4.09E16 3.78E16 3.51E16 3.27E16 2.0E-Ol 3.07E16 2.88E16 2.72E16 2.58E16 2. 45E16 2.33E16 2.22E16 2. 12E16 2.03E16 1.95E16 3.0

40、E-Ol 1.87E16 1.80E16 1.73E16 1.67E16 1.61E16 1.56E16 1.51E16 J. 46E16 J. 42E16 1.38E16 4.0E-Ol 1.34E16 1.30E16 1.26E16 1.23E16 1.20E16 1.17E16 1.14EI6 1. 11EI6 1.09E16 1.06E16 5.0E-Ol 1.04E16 1.02E16 9.94E15 9.73E15 9.53E15 9.34E15 9.15E15 8.97E15 B.80E15 8.64E15 6.0E-Ol B.48E15 B.32E15 8.18E15 B.03

41、E15 7.89E15 7.76E15 7. 63E15 7.51E15 7.39E15 7.27E15 7.0E-Ol 7.16E15 7.05E15 6.94E15 6.83E15 6. 73EI5 6.64E15 6.54E15 6.45E15 6.36E15 6.27E15 8.0E-01 6.19E15 6.10E15 6.02E15 5.95E15 5.87E15 5.79E15 5.72E15 5.65E15 5.58E15 5.51E15 9.0E-Ol 5.45E15 5.38E15 5.32E15 5.26E15 5.20E15 5.14EI5 5.08E15 5.03E1

42、5 4.97E15 4.92E15 1.0EOO 4.86E15 4.39E15 4.00E15 3.68E15 3.40E15 3.16E15 2.95E15 2.77E15 2.61E15 2.47E15 2.0EOO 2.34E15 2.22E15 2.12E15 2.02E15 1.93E15 1.85E15 1.78E15 1.71E15 1.65E15 1.59E15 3.0EOO 1.53E15 1.48E15 1.43E15 1.39E15 1.35E15 1.31E15 . 27E15 1.23E15 1.20E15 1.17E15 4.0EOO 1. 14E15 1. ll

43、E15 1.08E15 1.06E15 1.03E15 1.01E15 9.86E14 9. 64E14 9. 43E14 9. 24E14 5.0EOO 9.05E14 8. 86E14 8. 69E14 8.52E14 8.36E14 8.20E14 8.05E14 7.91E14 7.77E14 7.53E14 6.0EOO 7.50E14 7. 37E14 7. 25E14 7. 13E14 7.02E14 6.91E14 5.80E14 6.70E14 6.60E14 6.50E14 7.0EOO 6.40E14 6.31E14 6.22E14 6. !3E14 6.05E14 5.

44、 97E14 5.89E14 5.81E14 5. 73E14 5. 66E14 8.0EOO 5. 58E14 5.51E14 5. 45E14 5. 38E14 5. 31E14 5.25E14 5.19E14 5.13E14 5.07E14 5.01E14 9.0EOO 4. 95E14 4. B9E14 4. 84E14 4.79E14 4.74E14 4.6BE14 4. 63E14 4.59E14 4. 54E14 4.49E14 7 GB!T 13389-92 续表2电阻率掺杂剂浓度，cm-3n. cm) 0.0 O. 1 O. 2 0.3 0.4 0.5 0.6 O. 7 0.

45、8 0.9 1.0E01 4. 45E14 4.03E14 3. 69E14 3.40E14 3. 15E14 2.94E14 2.75E14 2.59E14 2.44E14 2. 31E14 2.0E01 2.19E14 2.09E14 1.99E14 1.90E14 1.82E14 1. 75E14 1. 68E14 1. 62E14 1.56E14 1.50E14 3.0EOl 1.45E14 1.40E14 1. 36E14 1. 32E14 1.28E14 1. 24E14 1. 21E14 1.17E14 1.14EI4 1.11E14 4.0E01 1.08E14 1.06E14

46、 1. 03E14 1. 01E14 9. 83E13 9. 61E13 9.40E13 9.20E13 9.00E13 8.81E13 5.0E01 8.64E13 8.46E13 8.30E13 8. 14E13 7.99E13 7.84E13 7.70E13 7.56E13 7.43E13 7.30E13 6.0EOl 7. 18E13 7.06E13 6.94E13 6.83E13 6. 72E13 6.62E13 6.51E13 6.42E13 6.32E13 6.23E13 7.0E01 6. 14E13 6.05E13 5. 96E13 5.88E13 5.80E13 5. 72

47、E13 5.65E13 5.57E13 5.50E13 5.43E13 8.0E01 5.36E13 5.29E13 5.23E13 5.16E13 5.10E13 5.04E13 4.98E13 4.92E13 4.87E13 4.81E13 9.0E01 4.76E13 4.70E13 4.65E13 4.60E13 4.55E13 4.50E13 4.45E13 4.41E13 4.36E13 4.32E13 1.0E02 4.27E13 3.88E13 3.55E13 3.28E13 3.04E13 2.83E13 2.65E13 2.50E13 2.36E13 2.23E13 牛2.

48、0E02 2.1E13 2.0E13 1. 9E13 1.8E13 1.8E13 1.7E13 1. 6E13 1.6E13 1.5E13 1.5E13 3.0E02 1.4E13 1.4E13 1.3E13 1.3E13 1.2E13 1.2E13 1.2E13 1.IE13 1. 1E13 1.IE13 4.0E02 1.0E13 1.0E13 1. OE13 9.8E12 9.5E12 9.3E12 9.1E12 8.9E12 8.7E12 8.5E12 5.0E02 8.4E12 8.2E12 8.0E12 7.9EIZ 7.7EIZ 7.6EIZ 7.5EIZ 7.3EIZ 7.2E

49、12 7.1E12 + 6.0E02 7.0E12 6.8E12 6.7E12 6.6E12 6.5E1Z 6.4E1Z 6.3E1Z 6.2E1Z 6.1E12 6.0E12 7.0E02 6.0E12 5.9E12 5.8E1Z 5.7E12 5.6E12 5.6E12 5.5E12 5.4E12 5.3E12 5.3E12 斗8.0E02 5.2E12 5.1E12 5.1E12 5.0E12 5.0E12 4.9E12 4.8E12 4.8E12 4.7E12 4.7E12 9.0EOZ 4.6E12 4.6E1Z 4.5E1Z 4.5EIZ 4.4EIZ 4.4EIZ 4.3EIZ 4.3ElZ 4. ZEIZ 4. ZEIZ 1.0E03 4.2E1Z 3.8E12 3.5E12 3.2E12 3.0E12