GB T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯.pdf

1、ICS 7 1. 100.20 G 86 国昌中华人民共和国国家标准GB/T 18994-2014 代替GB/T18994-2003 圃，电子工业用气体高纯氯Gases for electronic industry-High purity chlorine 2014-12-22发布2015-07-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检菇总局砸士哈哈中国国家标准化管理委员会。叩而、GB/T 18994-2014 前本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准代替GB/T18994-2003 3 氮含量体积分数)，10-6; 4一一二氧化碳含量(体积分数)，10-6; 5一一一氧化

2、碳co含量(体棋分数)，10-6;s一一怪含量(体积分数)，10-6;7 水分含量(体积分数)，10-64.2.2 高纯氯纯度接式(2)计算z= 100 - 48 X 10-4 式中z 氯纯度(体m分数)，10-24.3 氢、氧、氯、一氧化碳、二每化碳、提含量的测定 ( 2 ) 按GB/T287262012规定，采用预切割(除进样的方法测定高纯氯中的氢、氧、氮、一氧化碳、二2 GB/T 18994-2014 氧化碳、短(CH，、H2、G凡、CzHs)含量。预切割除柱E柱长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm-0.25 mm的Hayesep Q，或其他等效色谱柱。色谱柱1

3、:柱长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm0.25 mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于分析氢、氧、氮、一氧化碳含量。色谱柱II:柱长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm0.25 mm的HayesepN，或其他等效色谱柱.该柱用于分析二氧化碳、提(C凡、H2、H，、C2Hs)含量。气体标准样品z各组分含量的体裂分数为1X10-s5XlO-s，平衡气为氮。允许采用其他等效的方法测定高纯氯中的氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、短(CH，、C2H2、Cz凡、C2Hs)含量。当以上测定结果有异议时，GB/T28726规定的方法为仲裁方法。4.4 水

4、分含量的测定按GB/T5832.3的规定执行。允许采用其他等效的方法测定高纯氯中的水含量。当测定结果有异议时，GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。4.5 金属元素含量的测定推荐采用电感藕合等离子体质谱法测定高纯氯中的金属元素含量，测定方法及步骤参见附录A.5 棕志、包装、贮运及安全5.1 标志、包装及贮运5.1.1 高纯氧的充装及贮运应符合气瓶安全监察规程)(危险化学品安全管理条例和特种设备安全监察条例的相关规定。5.1.2 包装高纯氯的气瓶应符合GB5099的规定。5. 1.3 推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求。瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA716.5.1

5、.4 应防止瓶口被污染和泄漏。5.1.5 高纯氯的充装应符合GB14193的相关规定。5. 1.6 高纯氯的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合GB 16804、GB15258规定的要求。5. 1.7 包装容器上应标明电子高纯氯字样。5. 1.8 瓶装氯的最大充装量按式(3)计算z式中zm =Fr 0 V m-一一气瓶内高纯氯的质量，单位为千克(kg);V一一气瓶标明的内容积，单位为升(L); Fr -氯的充装系数，1.25kg/L. 5.1.9 高纯氯的保存期限按GB/T26571规定执行。5.1.10 高纯氯出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包

6、括z一一产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号z一二生产日期或批号、充装质量也g); ( 3 ) 3 GB/T 18994-2014 一-一本标准号及技术指标、检验员号。5.1.11 高纯氯产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁曝晒，远离热源。5.2 安全曹示按GB11984的规定执行。4 . GB/T 18994-2014 附录A资料性附录高纯氯中金属元素含量的测定A. 1 仪器采用电感藕合等离子质谱法测定高纯氯中的锡、钻、嫁、错、钙、钮、锢等金属元素的含量。检测限z不大于0.1(g/L)。天平z感量0.01g. 孟民气体吸收瓶:250mL. 金属元素标准溶液z标准溶液中金属元素

7、的含量应当与被测试样中所对应的含量相近。A.2 样晶吸收氯气中金属元素测定的吸收装置图参见图A.1.将氯气样品通过两只串联的装有约400mL蒸馆水的孟氏气体吸收瓶，吸收后的居气通人装有4L氢氧化铀(质量分数为10X10-2)的试剂瓶中。调节气体流量约400mL/min，吸收2h后停止，继续通人氯气5min。取下吸收瓶和试剂瓶，分别称量其质量回将吸收瓶里的需液转人1000 mL容量瓶中，稀释至刻度，摇匀后作为测定金属元素用样品溶液。说明$1-一氯气钢瓶52 氯气钢瓶$3一一调压阀z4连接软管F5一一孟氏气体吸收瓶A;6一一孟氏气体吸收瓶B;7一一试剂瓶z8二湿式气体流量计s9-一氯气放空。9 2

8、 圄A.l高纯氯中金属元素含量测定的眼收装置5 GB/T 18994-2014 A.3 测定步骤A.3.1 启动仪器按电感藕合等离子质谱仪(lCP-MS)说明书开启仪器，调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。A.3.2 测定A.3.2.1 标准样晶的测定用金属元素标准椿液进样，记录标准溶液中金属粒子吸收峰的吸光度信号(峰面现或峰高).每种标准溶液至少重复进样两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%，取平均值。A.3.2.2 样晶的测定将吸收后的样品溶液以测定标准禧液同样的测定条件进样，记录不同金属鞋子吸收峰的吸光度信号(峰面积或峰高)，重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差

9、不大于5%，取平均值。A.3.2.3 结果处理高纯氯中金属元素的含量按式(A.D计算zw , =A;!A. X切.X 1 OOO/m 式中zw , 一一高纯氯中金属元素的含量，单位为微克每升(g/L); A , 样品的信号强度pA. 一标样的信号强度pw. 二一标样的的含量，单位为微克每升(g/L); m 一一通过气体吸收瓶的氯气的质量，单位为克(g)，按式(A.2)计算z1 000一转换系数。通过气体吸收瓶的氯气的质量按式(A.2)计算z. ( A.l ) m =m6 +ms+m -m3 -mz -ml . . . . . ( A.2 ) 6 式中zm一一通过气体吸收瓶的氯气的质量，单位为克

10、(g); m6一一吸收氯气后试剂瓶和吸收攘的总质量，单位为克(g);ms _.吸收氯气后气体吸收瓶A和吸收液的总质量，单位为克(g);m4-一一吸收氯气后气体吸收瓶B和吸收液的总质量，单位为克(g); m3一一吸收氯气前试剂瓶和吸收液的总质量，单位为克(g); mz一一吸收氯气前气体吸收瓶A和吸收液的总质量，单位为克(g);ml一一吸收氯气前气体吸收瓶B和吸收液的总质量，单位为克(g)。、. 艺ON-gmH阁。国华人民共和国家标准电子工业用气体商纯氯GB/T 18994-2014 中* 中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029)北京市西城区三里河北街16号。0004日网址总编室:(010)68533533发行中心:(010)51780238读者服务部:(010)68523946中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销* 印张0.75字数15千字2015年3月第一次印刷开本880X12301/16 2015年3月第一版司k16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话:(010)68510107书号:155066. 1-51305定价打印H期:2015年4月2日F002