1、TFT-LCD 製造概論I,游欽宏 博士 2006.02,2,各式顯示器之性能比較,TFT-LCD技術FPD平面顯示器市場結構,4,Mother Glass Generation,Gen 6 1500 X 1800 1500 X 1850,Gen 5 1000 X 1200 1100 X 1250 1100 X 1300,Gen 4.5 730 X 920,Gen 3 550 X 650,Gen 2 370 X 470,Gen 1 300 X 400,1992 1993 1994 1996 1997 1998 1999 2000 2001 2002 2003 2004,Gen 4 680 X
2、880,每三年面積增大1.8倍,Gen 7 1870X2200 2100X2400,5,顯示器特性,6,TFT-LCD動作原理與製程說明,7,面板結構,液晶透光原理,8,TFT LCD結構示意圖,9,10,製程說明,Array Process,Cell Process,Module Process,Source：SEMI PCS-Forum-FPD,11,重複製程3-5次,洗 淨 A 1,成膜 A2,光阻塗佈 A3,預 烤 Track,曝光,顯影Track,硬烤Track,蝕刻 A4,光阻剝離A4,檢查 A5,預 洗 A 1,週邊設備,TFT-LCD 製程設備,彩色濾光片,陣列基板,清洗,OD
3、F膠框印刷,面板切割,洗淨,偏光板貼片,配向膜塗佈,燒烤,配向,清洗,ODF間隔劑散佈,ODF液晶滴入,ODF對位貼合,磨邊洗淨,點燈測試,周邊設備,ACF貼片 L1,IC 接 合 L1,背光板 框架,環境測試 L2,檢查測試 L2,Loader Unloader,Conveyor,Robot,Stocker,自動化CIM系統,Cassette,12,我國LCD產業結構,劍度 勝華科技 和鑫光電 南亞塑膠 奇美電子 世界巔峰,精工美術 輔祥實業 先益電子 大億電子 元律科技 中強光電,玻璃基板,液晶,彩色濾光片,偏光膜,ITO玻璃,背光膜組,驅動IC,TN LCD,TFT LCD,STN LC
4、D,台灣康寧,台灣默克,協臻光電 力特光電 汎納克 佳友化學 日東電工,正太科技 劍度 錸德科技 勝華科技 默克光電,聯電合泰 華邦茂矽 凌陽,勝華 光聯 碧悠 美組,華映 勝華 南亞 光聯 碧悠 國喬 凌巨 訊倉 全台晶像 華象 高雄日立 台灣愛普生,友達 元太 華映 奇美 瀚宇彩晶 廣輝電子,模組廠商,達威 久正 所羅門 夏普電子 泉毅 晶彩 眾福 上靖 三富 終日新等十多家,影視產品,消費產品,資訊產品,通訊產品,儀表產品,攜帶電視 VCD player 投影機,家電產品 手錶 計算機,筆記型電腦 LCD Monitor 數位相機 PDA,行動電話 汽車導航 呼叫器 視訊電話,工業儀表 醫療儀表 飛行儀表,上游材料,中游面板模組,下游應用產業,資料來源：PIDA,生 產 製 造 設 備,生產製造設備,13,TFT Array製程,14,Inverse-Staggered -Si TFT(Channel- Protect)結構圖,15,TFT Array processing,16,TFT Array Process Development,
