DIN EN ISO 14644-10-2013 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10 Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10 2013) German vers.pdf

1、Juni 2013DEUTSCHE NORM Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DINPreisgruppe 16DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normung e. V., Berlin, gestattet.ICS 13.040.35!$a7“1926220www.din.deD

2、DIN EN ISO 14644-10Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflchenreinheit(ISO 14644-10:2013);Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2013Cleanrooms and associated controlled environments Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration(ISO

3、 14644-10:2013);German version EN ISO 14644-10:2013Salles propres et environnements matriss apparents Partie 10: Classification de la propret des surfaces (ISO 14644-10:2013);Version allemande EN ISO 14644-10:2013Alleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin www.beuth.deGesamtumfang

4、 40 SeitenDIN EN ISO 14644-10:2013-06 2 Nationales Vorwort Dieses Dokument (EN ISO 14644-10:2013) wurde im Technischen Komitee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“, dessen Sekretariat vom BSI (Vere

5、inigtes Knigreich) gehalten wird, erarbeitet. Zustndig fr die Deutsche Fassung ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)“ im Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Die Reihe DIN EN ISO 14644 Reinrume

6、und zugehrige Reinraumbereiche besteht aus den folgenden Teilen: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Teil 2: Festlegungen zur Prfung und berwachung zum Nachweis der fortlaufenden bereinstimmung mit ISO 14644-1 Teil 3: Prfverfahren Teil 4: Planung, Ausfhrung und

7、Erst-Inbetriebnahme Teil 5: Betrieb Teil 6: Terminologie Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) Teil 9: Klassifizierung der partikulren Oberflchenreinheit Teil 10: Klassifi

8、zierung der chemischen Oberflchenreinheit Teil 12: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Nanopartikelkonzentration Fr die in Abschnitt 2 und in den Literaturhinweisen genannten Internationalen Normen wird im Folgenden auf die entsprechenden Deutschen Normen hingewiesen: ISO 14644-1 siehe DIN E

9、N ISO 14644-1 ISO 14644-6 siehe DIN EN ISO 14644-6 ISO 14644-8 siehe DIN EN ISO 14644-8 ISO 14644-9 siehe DIN EN ISO 14644-9 DIN EN ISO 14644-10:2013-06 3 Nationaler Anhang NA (normativ) Literaturhinweise DIN EN ISO 14644-1, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 1: Klassifizierung der Luftrei

10、nheit anhand der Partikelkonzentration DIN EN ISO 14644-6, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 6: Terminologie DIN EN ISO 14644-8, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) DIN EN ISO 14644-9, Reinrume und zuge

11、hrige Reinraumbereiche Teil 9: Klassifizierung der partikulren Oberflchenreinheit DIN EN ISO 14644-10:2013-06 4 Leerseite EUROPISCHE NORM EUROPEAN STANDARD NORME EUROPENNE EN ISO 14644-10 Mrz 2013 ICS 13.040.35 Deutsche Fassung Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche - Teil 10: Klassifizierung der c

12、hemischen Oberflchenreinheit (ISO 14644-10:2013) Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013) Salles propres et environnements matriss apparents - Partie 10: Classification de la propret chimique des

13、surfaces (ISO 14644-10:2013) Diese Europische Norm wurde vom CEN am 2. Februar 2013 angenommen. Die CEN-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschftsordnung zu erfllen, in der die Bedingungen festgelegt sind, unter denen dieser Europischen Norm ohne jede nderung der Status einer nationalen Norm

14、 zu geben ist. Auf dem letzten Stand befindliche Listen dieser nationalen Normen mit ihren bibliographischen Angaben sind beim Management-Zentrum des CEN-CENELEC oder bei jedem CEN-Mitglied auf Anfrage erhltlich. Diese Europische Norm besteht in drei offiziellen Fassungen (Deutsch, Englisch, Franzsi

15、sch). Eine Fassung in einer anderen Sprache, die von einem CEN-Mitglied in eigener Verantwortung durch bersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Management-Zentrum mitgeteilt worden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen. CEN-Mitglieder sind die nationalen Normungsinstitu

16、te von Belgien, Bulgarien, Dnemark, Deutschland, der ehemaligen jugoslawischen Republik Mazedonien, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Kroatien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, den Niederlanden, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Rumnien, Schweden, der Schw

17、eiz, der Slowakei, Slowenien, Spanien, der Tschechischen Republik, der Trkei, Ungarn, dem Vereinigten Knigreich und Zypern. EUROPISCHES KOMITEE FR NORMUNG EUROPEAN COMMITTEE FOR STANDARDIZATION COMIT EUROPEN DE NORMALISATIONManagement-Zentrum: Avenue Marnix 17, B-1000 Brssel 2013 CEN Alle Rechte der

18、 Verwertung, gleich in welcher Form und in welchem Verfahren, sind weltweit den nationalen Mitgliedern von CEN vorbehalten.Ref. Nr. EN ISO 14644-10:2013 DEN ISO 14644-10:2013 (D) 2 Inhalt Seite Vorwort 3 1 Anwendungsbereich .4 2 Normative Verweisungen 4 3 Begriffe .4 4 Klassifizierung .5 4.1 Prinzip

19、ien zur Festlegung der Klassifizierung von reinen Oberflchen in Reinrumen und Reinraumbereichen .5 4.2 Klassifizierung fr die Oberflchenreinheit anhand der chemischen Konzentration 5 4.3 ISO-SCC-Kennzeichnung 7 4.4 Konverter fr Stoffe in atomare Oberflchenkonzentration 8 5 Messung und berwachung der

20、 Oberflchenreinheit in Bezug auf chemische Kontamination und zum Nachweis der bereinstimmung 8 5.1 Kriterien fr eine gute Bewertung der Reinheit 8 5.2 Dokumentation und Auswertung .9 5.2.1 Prinzip .9 5.2.2 Prfung .9 5.2.3 Prfbericht 9 Anhang A (informativ) Umrechnung zwischen unterschiedlichen Angab

21、en von Maeinheiten der Oberflchenkonzentration bei chemischen Stoffen 11 Anhang B (informativ) Die Prfung und Auswertung der Ergebnisse beeinflussende Parameter 18 Anhang C (informativ) Wesentliche Aspekte einer guten Bewertung der Reinheit 19 Anhang D (informativ) Verfahren zur Prfung der Oberflche

22、nreinheit anhand der chemischen Konzentration 20 Anhang E (informativ) Prfprotokoll 34 Literaturhinweise . 35 DIN EN ISO 14644-10:2013-06 EN ISO 14644-10:2013 (D) 3 Vorwort Dieses Dokument (EN ISO 14644-10:2013) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environmen

23、ts“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“ erarbeitet, dessen Sekretariat vom BSI gehalten wird. Diese Europische Norm muss den Status einer nationalen Norm erhalten, entweder durch Verffentlichung eines identischen Textes oder durch Anerkennung bis September 2

24、013, und etwaige entgegenstehende nationale Normen mssen bis September 2013 zurckgezogen werden. Es wird auf die Mglichkeit hingewiesen, dass einige Elemente dieses Dokuments Patentrechte berhren knnen. CEN und/oder CENELEC sind nicht dafr verantwortlich, einige oder alle diesbezglichen Patentrechte

25、 zu identifizieren. EN ISO 14644 besteht aus den folgenden Teilen, unter dem allgemeinen Titel Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Teil 2: Festlegungen zur Prfung und berwachung zum Nachweis der fortlaufenden bereinstimmu

26、ng mit ISO 14644-1 Teil 3: Prfverfahren Teil 4: Planung, Ausfhrung und Erst-Inbetriebnahme Teil 5: Betrieb Teil 6: Terminologie Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) Teil

27、9: Klassifizierung der partikulren Oberflchenreinheit Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflchenreinheit Der folgende Teil ist in Bearbeitung: Teil 12: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Nanopartikelkonzentration Die Reinigung von Oberflchen zur Erreichung von definierten partikulre

28、n und chemischen Reinheitsgraden wird Gegenstand eines zuknftigen Teils 13 sein. Entsprechend der CEN-CENELEC-Geschftsordnung sind die nationalen Normungsinstitute der folgenden Lnder gehalten, diese Europische Norm zu bernehmen: Belgien, Bulgarien, Dnemark, Deutschland, die ehemalige jugoslawische

29、Republik Mazedonien, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Kroatien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, Niederlande, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Rumnien, Schweden, Schweiz, Slowakei, Slowenien, Spanien, Tschechische Republik, Trkei, Ungarn, Vereinigtes Kni

30、greich und Zypern. Anerkennungsnotiz Der Text von ISO 14644-10:2013 wurde vom CEN als EN ISO 14644-10:2013 ohne irgendeine Abnderung genehmigt. DIN EN ISO 14644-10:2013-06 EN ISO 14644-10:2013 (D) 4 1 Anwendungsbereich Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem fr die Oberflchen

31、reinheit in Reinrumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschlielich Moleklen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Teil der Reihe ISO 14644 gilt fr alle festen Oberflchen in Reinrumen und zugehrigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wnde, Decken, Fubden, Arbeitsbereic

32、he, Werkzeuge, Ausrstungsgegenstnde und Gerte. ANMERKUNG 1 Fr die Anwendung dieses Teils der Reihe ISO 14644 werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht bercksichtigt und dieser Teil der Reihe ISO 14644 beha

33、ndelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberflche. ANMERKUNG 2 Dieser Teil der Reihe ISO 14644 enthlt nicht den Entstehungsprozess der Kontamination und zeitabhngige Einflsse (Ablagerung, Sedimentation, Alterung usw.) oder prozessabhngige Ttigkeiten wie z. B. Transport und

34、Handhabung. Auch enthlt sie keine Leitlinie zu statistischen Qualittskontrollverfahren zur Sicherstellung der bereinstimmung. 2 Normative Verweisungen Die folgenden Dokumente, die in diesem Dokument teilweise oder als Ganzes zitiert werden, sind fr die Anwendung dieses Dokuments erforderlich. Bei da

35、tierten Verweisungen gilt nur die in Bezug genommene Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt die letzte Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments (einschlielich aller nderungen). ISO 14644-1:1), Cleanrooms and associated controlled environments Part 1: Classification of air cleanliness by particl

36、e concentration ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments Part 6: Vocabulary 3 Begriffe Fr die Anwendung dieses Dokuments gelten die Begriffe nach ISO 14644-6 und die folgenden Begriffe. 3.1 Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration ACC (en: air cleanliness by chemical co

37、ncentration) Grad, angegeben als ISO-Klasse N, die den Hchstwert der zulssigen Konzentration einer bestimmten chemischen Zustandsform oder Gruppe von chemischen Zustandsformen darstellt, angegeben in Gramm je Kubikmeter Luft (g/m3) Anmerkung 1 zum Begriff: Diese Definition bercksichtigt keine Makrom

38、olekle biologischen Ursprungs, die als Partikel bewertet werden. 3.2 Kontaminantengruppe allgemeine Bezeichnung fr eine Gruppe von Verbindungen, die bei Ablagerung auf der fraglichen Oberflche eine spezifische und hnlich schdliche Wirkung zeigen 3.3 chemische Kontamination chemische (nicht-partikulr

39、e) Stoffe, die eine schdliche Wirkung auf das Produkt, das Verfahren oder die Ausrstung haben knnen 1) Wird verffentlicht (berarbeitung von ISO 14644-1:1999) DIN EN ISO 14644-10:2013-06 EN ISO 14644-10:2013 (D) 5 3.4 feste Oberflche Abgrenzung zwischen der Festphase und einer zweiten Phase 3.5 Oberf

40、lche Abgrenzung zwischen zwei Phasen Anmerkung 1 zum Begriff: Von denen die eine gewhnlich eine Festphase und die andere ein Gas, eine Flssigkeit oder ein anderer Feststoff ist. 3.6 chemische Oberflchenreinheit SCC (en: surface cleanliness by chemical concentration) Zustand einer Oberflche in Bezug

41、auf deren chemische Konzentration 3.7 Oberflchenreinheit anhand der chemischen Konzentrationsklasse NSCCgebruchlicher Logarithmus (zur Basis 10) der chemischen Konzentration auf einer Oberflche in Gramm je Quadratmeter (g/m2) 4 Klassifizierung 4.1 Prinzipien zur Festlegung der Klassifizierung von re

42、inen Oberflchen in Reinrumen und Reinraumbereichen Die Klassifizierung ist mittels eines Klassifizierungsdeskriptors festzulegen. Dieser Deskriptor ist als ISO-SCC“ gekennzeichnet und legt die fr einen einzelnen chemischen Stoff oder eine Gruppe von chemischen Stoffen hchste zulssige chemische Gesam

43、tkonzentration auf einer Oberflche fest. Die Klassifizierung von SCC basiert auf der Konzentration von Chemikalien auf einer Oberflche, wie sie mittels Formel (1) (angegeben in 4.2) berechnet und in g/m2angegeben wird. Zur Berechnung der Klasse mssen alle anderen Einheiten in g/m2umgerechnet werden.

44、 In bestimmten Fllen, in denen niedrige Konzentrationen bestimmt werden mssen, darf die hchste zulssige Konzentration von Chemikalien auf einer Oberflche in Atomen je Quadratzentimeter, ISO-SCCatomic, mittels der in 4.4 aufgefhrten Formel (2) angegeben werden. 4.2 Klassifizierung fr die Oberflchenre

45、inheit anhand der chemischen Konzentration Die SCC-Klasse ist durch eine Klassifizierungszahl, NSCC, zu kennzeichnen, wobei NSCCder gebruchliche Logarithmusindex der Konzentration CSCCist, angegeben in g/m2. Die Angabe der SCC-Klasse muss immer mit einem chemischen Stoff oder einer Gruppe von chemis

46、chen Stoffen verbunden sein, auf den (die) sie sich bezieht. Dazwischenliegende Konzentrationen drfen mit 0,1 als kleinster zulssiger Tafeldifferenz von NSCCbestimmt werden. CSCCwird durch Formel (1) bezglich NSCCbestimmt: SCC10SCCNC =(1) Dabei gilt: SCC10SCClog CN =CSCC, die hchste zulssige Konzent

47、ration des festgelegten chemischen Stoffes oder der Gruppe von chemischen Stoffen, wird in g/m2angegeben. Die gemessene chemische Konzentration auf einer Oberflche darf die hchste zulssige Konzentration von SCC, CSCC, nicht berschreiten, um der vorher festgelegten SCC, die zwischen Kunde und Herstel

48、ler vereinbart wurde, zu entsprechen. DIN EN ISO 14644-10:2013-06 EN ISO 14644-10:2013 (D) 6 In allen Fllen mssen die NSCC-Klassenzahlen das Minuszeichen enthalten. ANMERKUNG 1 Eine SCC-Klassenzahl ist nur in Verbindung mit einem Deskriptor gltig (siehe 4.3). ANMERKUNG 2 Fr die Umrechnung von der gr

49、avimetrischen Konzentration (g/m2) in die numerische Konzentration (Anzahl der Atome, Molekle oder Ionen/Flcheneinheit) siehe 4.4. Tabelle 1 und Bild 1 zeigen ferner die ISO-SCC-Klassifizierung als Funktion der chemischen Konzentration auf einer Oberflche. Zu beachten sind auch die in Anhang B aufgefhrten Para