DIN EN ISO 14644-8-2013 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8 Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC) (ISO 14644-8 2013) German versi.pdf

1、Juni 2013DEUTSCHE NORM Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DINNormenausschuss Laborgerte und Laboreinrichtungen (FNLa) im DIN Preisgruppe 13DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Jede Art der Vervielfltigung, auch auszugsweise, nur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fr Normu

2、ng e. V., Berlin, gestattet.ICS 13.040.35!$l“1927356www.din.deDDIN EN ISO 14644-8Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand derChemikalienkonzentration (ACC) (ISO 14644-8:2013);Deutsche Fassung EN ISO 14644-8:2013Cleanrooms and associated controlled envir

3、onments Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)(ISO 14644-8:2013);German version EN ISO 14644-8:2013Salles propres et environnements matriss apparents Partie 8: Classification de la propret chimique de lair (ISO 14644-8:2013);Version allemande EN ISO 14644-8:2013All

4、einverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 BerlinErsatz frDIN EN ISO 14644-8:2007-04www.beuth.deGesamtumfang 28 SeitenDIN EN ISO 14644-8:2013-06 2 Nationales Vorwort Dieses Dokument (EN ISO 14644-8:2013) wurde im Technischen Komitee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environme

5、nts“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“, dessen Sekretariat vom BSI (Vereinigtes Knigreich) gehalten wird, erarbeitet. Zustndig fr die Deutsche Fassung ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)“ im Normenaussch

6、uss Heiz- und Raumlufttechnik (NHRS) im DIN Deutsches Institut fr Normung e. V. Die Normenreihe DIN EN ISO 14644, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche,besteht aus den folgenden Teilen: Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Teil 2: Festlegungen zur Prfung und be

7、rwachung zum Nachweis der fortlaufenden bereinstimmung mit ISO 14644-1 Teil 3: Prfverfahren Teil 4: Planung, Ausfhrung und Erst-Inbetriebnahme Teil 5: Betrieb Teil 6: Terminologie Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) Teil 8: Klassifizierung der Luftrein

8、heit anhand der Chemikalienkonzentration Teil 9: Klassifizierung der partikulren Oberflchenreinheit Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflchenreinheit Dieses Dokument ersetzt DIN EN ISO 14644-8:2007-04. Fr die im Abschnitt 2 und in den Literaturhinweisen zitierten Internationalen Normen wird

9、 im Folgenden auf die entsprechenden Deutschen Normen hingewiesen: ISO 14644-4 siehe DIN EN ISO 14644-4 ISO 14644-5 siehe DIN EN ISO 14644-5 ISO 14644-6 siehe DIN EN ISO 14644-6 ISO 14644-7 siehe DIN EN ISO 14644-7 ISO 14698 (alle Teile) siehe DIN EN ISO 14698 (alle Teile) nderungen Gegenber DIN EN

10、ISO 14644-8:2007-04 wurden folgende nderungen vorgenommen: a) Titel wurde in Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration“ gendert; b) molekulare Verunreinigung“ wurde generell durch chemische Verunreinigung“ ersetzt; c) Abstimmung auf neu erschienene DIN EN ISO 14644-10, Rei

11、nrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflchenreinheit wurde vorgenommen. Frhere Ausgaben DIN EN ISO 14644-8: 2006-11, 2007-04 DIN EN ISO 14644-8:2013-06 3 Nationaler Anhang NA (normativ) Literaturhinweise DIN EN ISO 14644-4, Reinrume und zugehrige Reinraumbe

12、reiche Teil 4: Planung, Ausfhrung und Erst-Inbetriebnahme DIN EN ISO 14644-5, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 5: Betrieb DIN EN ISO 14644-6, Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 6: Terminologie DIN EN ISO 14644-7,Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 7: SD-Module (Reinluf

13、thauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) DIN EN ISO 14698 (alle Teile), Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Biokontaminationskontrolle DIN EN ISO 14644-8:2013-06 4 Leerseite EUROPISCHE NORM EUROPEAN STANDARD NORME EUROPENNE EN ISO 14644-8 Februar 2013 ICS 13.040.35 Ersatz fr EN

14、ISO 14644-8:2006 Deutsche Fassung Reinrume und zugehrige Reinraumbereiche Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) (ISO 14644-8:2013) Cleanrooms and associated controlled environments Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)

15、(ISO 14644-8:2013) Salles propres et environnements matriss apparents Partie 8: Classification de la propret chimique de lair (ISO 14644-8:2013) Diese Europische Norm wurde vom CEN am 9. Februar 2013 angenommen. Die CEN-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschftsordnung zu erfllen, in der die

16、 Bedingungen festgelegt sind, unter denen dieser Europischen Norm ohne jede nderung der Status einer nationalen Norm zu geben ist. Auf dem letzten Stand befindliche Listen dieser nationalen Normen mit ihren bibliographischen Angaben sind beim Management-Zentrum des CEN-CENELEC oder bei jedem CEN-Mit

17、glied auf Anfrage erhltlich. Diese Europische Norm besteht in drei offiziellen Fassungen (Deutsch, Englisch, Franzsisch). Eine Fassung in einer anderen Sprache, die von einem CEN-Mitglied in eigener Verantwortung durch bersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Management-Zentrum mitgeteilt w

18、orden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen. CEN-Mitglieder sind die nationalen Normungsinstitute von Belgien, Bulgarien, Dnemark, Deutschland, der ehemaligen jugoslawischen Republik Mazedonien, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Kroatien, Lett

19、land, Litauen, Luxemburg, Malta, den Niederlanden, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Rumnien, Schweden, der Schweiz, der Slowakei, Slowenien, Spanien, der Tschechischen Republik, der Trkei, Ungarn, dem Vereinigten Knigreich und Zypern. EUROPISCHES KOMITEE FR NORMUNG EUROPEAN COMMITTEE FOR STANDA

20、RDIZATION COMIT EUROPEN DE NORMALISATION Management-Zentrum: Avenue Marnix 17, B-1000 Brssel 2013 CEN Alle Rechte der Verwertung, gleich in welcher Form und in welchem Verfahren, sind weltweit den nationalen Mitgliedern von CEN vorbehalten. Ref. Nr. EN ISO 14644-8:2013 D EN ISO 14644-8:2013 (D) 2 In

21、halt Seite Vorwort 3 Einleitung .4 1 Anwendungsbereich .5 2 Normative Verweisungen 5 3 Begriffe .5 3.1 Allgemeines 5 3.2 Kontaminantenfamilien .6 4 Klassifizierung .7 4.1 Allgemeines 7 4.2 Format des ISO-ACC-Deskriptors 7 5 Nachweis der bereinstimmung 9 5.1 Kurzbeschreibung .9 5.2 Prfung .9 5.3 Prfb

22、ericht . 10 Anhang A (informativ) Zu bercksichtigende Parameter . 11 A.1 Grundlagen 11 A.2 Schritte zur Bestimmung von Parametern . 11 A.3 Auenluft . 12 A.4 Baumaterialien 12 A.5 Querkontamination . 12 A.6 Betrieb und Wartung 13 A.7 Personal . 13 A.8 Weitere Quellen . 14 A.9 Luftbehandlungsverfahren

23、 zur Reduzierung chemischer Luftverunreinigung . 14 Anhang B (informativ) Typische Kontaminanten 15 B.1 Kurzbeschreibung 15 Anhang C (informativ) Typische Messverfahren . 18 C.1 Kurzbeschreibung 18 C.2 Verfahrenskonzepte . 18 C.3 Auswahl typischer Probenahmesysteme und Analyseverfahren 19 C.3.1 blic

24、he Probenahmeverfahren 19 C.3.2 Typische Analyseverfahren . 19 Anhang D (informativ) Bercksichtigung spezieller Anforderungen fr SD-Module 22 D.1 Kurzbeschreibung 22 D.2 Spezielle berlegungen . 22 Literaturhinweise . 24 DIN EN ISO 14644-8:2013-06 EN ISO 14644-8:2013 (D) 3 Vorwort Dieses Dokument (EN

25、 ISO 14644-8:2013) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 209 Cleanrooms and associated controlled environments“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 243 Reinraumtechnologie“ erarbeitet, dessen Sekretariat vom BSI gehalten wird. Diese Europische Norm muss den Status einer nationalen No

26、rm erhalten, entweder durch Verffentlichung eines identischen Textes oder durch Anerkennung bis August 2013, und etwaige entgegenstehende nationale Normen mssen bis August 2013 zurckgezogen werden. Es wird auf die Mglichkeit hingewiesen, dass einige Elemente dieses Dokuments Patentrechte berhren knn

27、en. CEN und/oder CENELEC sind nicht dafr verantwortlich, einige oder alle diesbezglichen Patentrechte zu identifizieren. Dieses Dokument ersetzt EN ISO 14644-8:2006. Entsprechend der CEN-CENELEC-Geschftsordnung sind die nationalen Normungsinstitute der folgenden Lnder gehalten, diese Europische Norm

28、 zu bernehmen: Belgien, Bulgarien, Dnemark, Deutschland, die ehemalige jugoslawische Republik Mazedonien, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Kroatien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, Niederlande, Norwegen, sterreich, Polen, Portugal, Rumnien, Schweden, Schweiz

29、, Slowakei, Slowenien, Spanien, Tschechische Republik, Trkei, Ungarn, Vereinigtes Knigreich und Zypern. Anerkennungsnotiz Der Text von ISO 14644-8:2013 wurde vom CEN als EN ISO 14644-8:2013 ohne irgendeine Abnderung genehmigt. DIN EN ISO 14644-8:2013-06 EN ISO 14644-8:2013 (D) 4 Einleitung Reinrume

30、und zugehrige Reinraumbereiche erlauben die Kontrolle luftgetragener partikulrer Kontamination bis zu einem Grad, der fr die Ausfhrung kontaminationsempfindlicher Ttigkeiten geeignet ist. Zu den Produkten und Prozessen, die von der Kontrolle luftgetragener Kontamination profitieren, zhlen Industriez

31、weige wie beispielsweise Luft- und Raumfahrt, Mikroelektronik, Pharmazie, Medizintechnik, Lebensmittel, Gesundheitsvorsorge, Optik, Messtechnik, Vakuumtechnik, Beschichtungen, Photovoltaik, Anzeigen, LEDs, Automobilindustrie und Oberflchenanalyse. In einigen dieser Industriezweige kann das Produkt o

32、der der Prozess empfindlich gegenber chemischer Kontamination durch Chemikalien aus ueren, prozesseigenen oder sonstigen Quellen sein, oder durch diese zerstrt werden. In diesem Teil von ISO 14644 wird das Vorhandensein von Chemikalien ausgedrckt als luftgetragene chemische Kontamination. Chemische

33、Kontamination ist ein dreistufiger Vorgang. Der erste Schritt ist die Erzeugung durch uere Quellen, wie beispielsweise Prozessleckagen, Werkstoffe oder durch Ausgasung von Personen oder Materialien. Der zweite Schritt besteht im Transport durch luftgetragene chemische Kontamination. Der dritte Schri

34、tt ist schlielich die Sorption an der empfindlichen Oberflche, die quantitativ als chemische Oberflchenkontamination beschrieben werden kann. Neben der eigentlichen Luftverunreinigung ben die erzeugenden Materialien und die Oberflchen, an denen die Sorption stattfindet, einen starken Einfluss auf di

35、e Schritte der Erzeugung und Sorption aus. Daher sind fr diese beiden Schritte nicht nur die Kontaminanten, sondern auch die beteiligte Masse und die beteiligten Oberflchen zu definieren. Um diese Norm allgemein fr jede Art Reinraum oder zugehrigen Reinraum-bereich anwendbar zu gestalten, wurde zur

36、Klassifizierung die chemische Luftreinheit (ACC, en: air chemical cleanliness) gewhlt. Dieser Teil von ISO 14644 ordnet ISO-Klassifizierungen zu, die dazu verwendet werden, die Grade der ACC in einem Reinraum und zugehrigen Reinraumbereich festzulegen, in dem ein Produkt oder ein Prozess als durch c

37、hemische Luftverunreinigung gefhrdet betrachtet wird. Zum Zweck der Klassifizierung ist dieser Teil von ISO 14644 auf einen bestimmten Bereich der ACC beschrnkt und gibt genormte Protokolle fr die Festlegung solcher Grade hinsichtlich der chemischen Verbindungen, Prf- und Analyseverfahren und zeitli

38、chen Gewichtung an. Dieser Teil von ISO 14644 enthlt informative Anhnge zu folgenden Themen: zu bercksichtigende Parameter: Anhang A; blicherweise vorkommende kontaminierende Chemikalien und Substanzen: Anhang B; bliche Mess- und Analyseverfahren: Anhang C; Betrachtungen zu spezifischen Anforderunge

39、n an separierende Einrichtungen: Anhang D. Dieser Teil von ISO 14644 ist ein Teil einer Reihe von Normen, die sich mit Reinrumen und Kontaminations-kontrolle befassen. Bei der Auslegung, Festlegung, beim Betrieb und bei der Steuerung von Reinrumen und anderen Reinraumbereichen mssen zustzlich zur ch

40、emischen Luftreinheit viele Faktoren bercksichtigt werden. Diese werden in anderen Teilen der Internationalen Normen aus ISO/TC 209 eingehender behandelt, einschlielich aller Teile von ISO 14698 4. Unter bestimmten Bedingungen knnen die zustndigen Behrden ergnzende Zielvorgaben oder Auflagen vorgebe

41、n. In solchen Situationen knnen geeignete Anpassungen dieses Teils von ISO 14644 erforderlich sein. DIN EN ISO 14644-8:2013-06 EN ISO 14644-8:2013 (D) 5 1 Anwendungsbereich Dieser Teil von ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der chemischen Luftreinheit in Reinrumen und zugehrigen Reinraumbereic

42、hen hinsichtlich der luftgetragenen Konzentrationen spezifischer chemischer Substanzen (einzeln, gruppenweise oder als Kategorien) und stellt ein Protokoll zur Verfgung, um Prf-verfahren, Analyse und Zeitgewichtungsfaktoren in die Festlegung zur Klassifizierung einzuschlieen. Dieser Teil von ISO 146

43、44 betrachtet ausschlielich Konzentrationen von luftgetragenen chemischen Kontaminanten im Bereich von 100g/m3und 10-12g/m3unter Reinraumbetriebsbedingungen. Dieser Teil von ISO 14644 ist nicht anwendbar bei solchen Industriezweigen und Prozessen oder Produktionen, bei denen oder bei der das Vorhand

44、ensein von luftgetragenen chemischen Substanzen nicht als Risiko fr das Produkt oder den Prozess betrachtet wird. Es ist nicht Ziel dieses Teils von ISO 14644, die Beschaffenheit luftgetragener chemischer Kontaminanten zu beschreiben. Dieser Teil von ISO 14644 gibt keine Klassifizierung fr chemische

45、 Oberflchenkontamination vor. 2 Normative Verweisungen Die folgenden Dokumente, die in diesem Dokument teilweise oder als Ganzes zitiert werden, sind fr die Anwendung dieses Dokuments erforderlich. Bei datierten Verweisungen gilt nur die in Bezug genommene Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt

46、die letzte Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments (einschlielich aller nderungen). ISO 14644-6, Cleanrooms and associated controlled environments Part 6: Vocabulary 3 Begriffe Fr die Anwendung dieses Dokuments gelten die Begriffe nach ISO 14644-6 und die folgenden Begriffe. 3.1 Allgemeines 3.1.1

47、chemische Kontamination nicht teilchenfrmige Substanzen, die eine schdliche Wirkung auf das Produkt, den Prozess oder die Ausrstung haben knnen 3.1.2 Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration ACC (en: air cleanliness by chemical concentration) Grad der Luftreinheit anhand der chemischen Konze

48、ntration, angegeben als ISO-ACC-Klasse N, die den Hchstwert der zulssigen Konzentration eines bestimmten chemischen Stoffs oder einer Gruppe von chemischen Stoffen darstellt, angegeben in Gramm je Kubikmeter Anmerkung 1 zum Begriff: Diese Definition bercksichtigt keine Makromolekle biologischen Ursp

49、rungs, die als Partikel beurteilt werden. 3.1.3 chemische Luftverunreinigung jegliche Substanz in der Luft, die aufgrund ihrer chemischen Beschaffenheit eine schdliche Wirkung auf das Produkt, den Prozess oder die Ausrstung haben kann 3.1.4 Oberflchenreinheit anhand der chemischen Konzentration SCC (en: surface cleanliness by chemical concentrati