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GOST R 8 629-2007 State system for ensuring the uniformity of measurements Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements Methods for verification《国家测量统一性保证体系.pdf

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2、lements.Methods for verification 200802011 - ( ), - 8.628. 109 106. . .2 : 8.6282007 . - . -, 14644-22001 . 2. 14644-1 14644-52005 . 5. 12.1.04083 . . - 12.2.06181 . . 14644-12002 . 1. - - , 1 , , . (), - () . , , - , , .1 8.62920073 29 1, .3.1 ( ): , .3.2 ( ): .3.3 (): , .3.4 : , . , , - -.3.5 ( ):

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