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KS B ISO TR 14999-2-2011 Optics and photonics-Interferometric measurement of optical elements and optical systems-Part 2:Measurement and evaluation techniques《光学和光学仪器 光学机和光学元件干涉测量 .pdf

1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS B ISO TR 14999 2 2: KS B ISO TR 14999 2:2011 2011 12 30 http:/www.kats.go.krKS B ISO TR 14999 2:2011 : ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) : :2011 12 30 2011-0729 : : ( 02-509-7274) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS B ISO TR 14999 2:2011 i ii 1 1 2 .1

2、2.1 .1 2.2 3 2.3 .3 2.4 .4 3 .4 3.1 .4 3.2 .5 3.3 14 4 17 4.1 .17 4.2 17 4.3 (manual evaluation)23 4.4 (temporal carrier) 24 4.5 .29 4.6 ( unwrapping).32 4.7 : , .33 4.8 .34 5 .36 5.1 .36 5.2 37 5.3 37 5.4 37 5.5 38 5.6 38 5.7 38 5.8 38 6 .39 A( ) .40 B( ) “ ” .53 56 KS B ISO TR 14999 2:2011 57 KS B

3、 ISO TR 14999 2:2011 ii 2005 1 ISO/TR 14999 2, Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements and optical systems Part 2: Measurement and evaluation techniques . KS B ISO TR 14999 2:2011 2: Optics and photonics Interferometric measurement of optical elements and optical systems

4、 Part 2: Measurement and evaluation techniques 1 , , . 2 2.1 2.1.1 : . . . nd . , . , d W W 2nd , , W (n2 n1)d . 2.1.2 R n1 n2 . 21212+=nnnnR (1) , 4 % 6 % , 5 % . , . , . . (intensity ratio) . KS B ISO TR 14999 2:2011 2 . - , . . - . , , . 2.1.3 , . 2.1.4 ( , ). . . . 2.1.5 : n 2 . . , . 2 . , . .

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