KS C IEC 60749-8-2006 Semiconductor devices－Mechanical and climatic test methods－Part 8：Sealing 《半导体器件 机械和气候试验方法 第8部分 密封》.pdf

1、 KSKSKSKS SKSKSKS KSKSKS SKSKS KSKS SKS KS 2006 11 30 http:/www.kats.go.krKS C IEC 607498 8：KS C IEC 60749 8： 2006 (2011 )C IEC 60749 8： 2006 : ( ) ( ) ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ： 2006 11 30 ： 2011 12 13 2011-0563 ： ： ( 02-509-7294) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . ICS 31.080.01 KS C IE

2、C 8： 60749 8：2006(2011 ) Semiconductor devices Mechanical and climatic test methods Part 8： Sealing 2002 1 IEC 60749 8 Semiconductor devices mechanical and climatic test methods Part 8： Sealing . 1. ( , ) . . IEC 60749(1996) 3 5. 2 2. . 2. . . ( ) . ( ) . IEC 60068 2 17： 1994 (Environmental testing)

3、 Part 2： (Tests) Q： (Sealing) 3. 3.1 (Units of pressure) (SI) (Pa) . , (bar) (1 = 1 bar =105Pa). (bar) . 3.2 (Standard leak rate) 105Pa(1 bar) 102Pa(10 3bar) , ( ) 25 . ( ) . 3.3 (Measured leak rate) R(He) . ( ) . . 3.4 (Equivalent standard leak rate) R(He) , (L) 3.2 . 6.3 (5. ) L/R , R(He) (L) . R(

4、He) . ( ) . C IEC 60749 8： 2006 2 4. ： IEC 60068 2 17 Ql . ： 95 % 5 % ： (255) ： 4.5 105Pa(4.5 bar) ： 16 h ： ： 2 2 (IEC 60068 2 17 F ). 5. : ： 5.1 , . , ( ) , 1 Pa cm3 s 1(10 5bar cm3 s 1) . 5.2 5.2.1 85 510 3Pa cm3 s 1(510 8bar cm3 s 1) . . 5.2.2 . (： 100 Ci cm 3) 85 . . . 5.2.3 ( ). Qs=TtPskR (1) Q

5、s： , Pa cm3 s 1 (bar cm3 s 1) Kr . R： Qs , , , . s： (microcurie) 85 k： 85 1 . . 5.2.4 . 2i2ePPP = Pe： Pascal(bar) Pi C IEC 60749 8： 2006 3 Pascal(bar) . (Pe) , (T) , (Pe) (1) . T： (h) t： 3 600 / (1) P02 (P)2 . P0 ( , bars) P . . 5.2.4 ( k) (1) (k) . a) (cavity) , 85 . b) . . 5.2.5 , 85 . 5.2.2 5.2.3

6、 . , 10 . , 5.4 “ ” . 5.3 . . 5.4 . 50 Pa(5 10 4bar) . 5.2.3 . 12 , 2 105 Pa(2 bar) 85/ . R 600 . 50 Pa(5 10 4bar) 85/ . 3 . ( ) . , 1 . 5.2.5 , 1 . , 8 . . Q =RQs)minuteper countsnet in readout (actual Q： Pa cm3 s 1(bar cm3 s 1) QS R： 5.2.3 5.5 5.6 , 7.10. . 6. : () C IEC 60749 8： 2006 4 ： IEC 6006

7、8 2 17 Qk . 6.1 . IEC 60068 2 17 , Qk . , , , . IEC 60068 2 17 . 6.2 1： ： a) V . 0.05 cm3 0.05 cm3 0.5 cm3 0.5 cm3 1.0 cm3 1.0 cm3 10 cm3 10 cm3 20 cm3 b) R(He) . c) . 1 . , 6.3 . 1 . 1 V ( ) cm3 Pabs Pa(bar) t1 h R(He) Pa cm3 s 1 (bar cm3 s 1) V 0.4 13 0.51.5 mm , . 7.5 , 0.15 L . 8. ： IEC 60068 2

8、17 7., 9. 10. , IEC 60068 2 17, Qc 2 3 . Qc( 3 ) . 2： II 3： 1： I 2： II . a) , 2 (bath) (1255) . b) , 2 60 . c) , 3 . 9. E, 9.1 7., 8. 10. , . 9.2 . a) 6 105 Pa(6 bar) 10 / C IEC 60749 8： 2006 7 b) 0.1 mg c) 3 III d) 1 m e) 3 (1) I II III ( ) 5095 140200 50110 25 (dynes/cm) 20 25 (g/mL) 1.6 1.6 1.6 1

9、25 (g/mL) 1.5 (V/mm) 12 000 12 000 12 000 (mg/g) 50 50 50 (1) . 9.3 1 125 , . , (cell) . 0.01 cm3 0.5 mg , 0.01 cm3 1.0 mg . / , 500 Pa(52 10 3bar) 1 . 0.1 cm3 . III . , 1 . 5 105 Pa(5 bar ) . , 6 105 Pa(6 bar ) . 2 . 5 105 Pa(5 bar ) , 3 105 Pa(3 bar ) , 10 . , . 2 1 . . , 4 . . , . 9.4 0.01 cm3 1.

10、0 mg , 0.01 cm3 2.0 mg , . , . 125 , 8 . 10. 10.1 . a) (Zyglo 3650 , Fluorescein 4935 , Rhodamine B 5560 ) b) 7 105 Pa(7 bar ) c) (Rhodamine B, Fluorescein； Dye-check, Zyglo, FL 50, ) C IEC 60749 8： 2006 8 d) 1.530 10.2 (11. ). . , 7 105 Pa( 7 bar) , 3 . 4 105 Pa( 4 bar) , 10 . . . 10.3 . 11. (7.9.

11、) . , . . (5. 6. ), . , , 2 . . 8 ： 153787 1 92 3(13) (02)26240114 (02)2624 0148 9 http:/ KSKSKSSKSKS KSKS SKS KSKS SKSKS KSKSKSKorean Agency for Technology and Standards http:/www.kats.go.kr KS C IEC 60749 8： 2006 Semiconductor devicesMechanical and climatic test methodsPart 8：SealingICS 31.080.01