KS I 3213-2009 Testing methods for concentration of fine particles in highly purified water《超纯水中的微粒子测定方法》.pdf

1、 KSKSKSKSKSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS I 3213 KS I 3213:2009 2009 12 18 http:/www.kats.go.krKS I 3213:2009 : ( ) ( ) () ( ) : (ISO/TC147) ( ) () () KS I 3213:2009 : (http:/www.standard.go.kr) ： ：1993 12 29 ：2009 12 18 2009-0830 ： ： (ISO/TC147) ( 02-509-7266) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS

2、 I 3213:2009 Testing methods for concentration of fine particles in highly purified water 1 . . 2 . . ( ) . KS A 0010, KS B 5605, KS B 5615, KS B 5616, KS I 3206, KS I 3217, KS L 2009, KS L 2010, KS L 2302, KS L 2303, KS M 0001, KS M 0126, ( ) KS M 2617, KS M 7602, ( ) KS M 8175, ( ) KS M 8274, ( )

3、KS M ISO 6353 2, 2： 1 3 KS M 0001, KS I 3206, KS I 3217, KS M 0126 KS A 0010 . 4 , , KS I 3213:2009 2 3 . . 5 . . 5.1 a) 0.2 m . . . . b) (30 g/L) KS M ISO 6353 2(R14) 10 . 5.2 a) , 1 . 1) , . . 2) , . 3) ( , ) . 4) 13 mm 25 mm , . . 5) 0.2 m 13 mm 25 mm . . 25 mm . b) 10 mL . c) . d) . 25 kHz 50 kH

4、z . e) 1 3 ( ) . KS I 3213:2009 3 1 ( /mL) m 1 2 3 4 5 6 7 8 0.1 101102103104105(106) (107) (108) 0.2 2 24 236 2 360 23 660 0.3 1 10 101 1 010 10 100 101 000 1 010 000 10 100 0000.5 (0.35) (3.5) 35 350 3 500 35 000 350 000 3 500 0005.0 29 290 2 900 29 000 0.1 0.3 0.1 0.5 0.1 5.0 0.3 5.0 1 5.3 . a) .

5、 b) . c) 15 . d) . e) . 5.4 a) (30 g/L) 5 L 5 . A B C D ABCDKS I 3213:2009 4 5 . 5 L/min 25 L . 1 L/min . b) 30 . . c) , . . ( .) . . . d) . 1 25 mm 280 mm2( .) 2 . . 2 1 000 mL 2 000 mL 1 g . ( 10 %) . 10 % . e) . . ( .) . f) . 1 5 . 1 0.2 m . 2 0.2 m . g) a) f) . 5 %10 % . 20 L 1 L 2 L . 50 000 /L

6、 . KS I 3213:2009 5 2 L /L 100 001 0.5 5 50 000 100 000 0.5 1 5 10 10 000 50 000 1 5 10 50 10 000 5 50 1 . 5.4 a) , ( .) , 1 L/ min 15 . (500 mL 1 000 mL)5.1 a) (80 vol %) 2 % . , 10 ( .), . . KS I 3206 17.1 a) 1) , . . 5 % 10 % . (80 vol %) KS M ISO 6353 2(R11) (95 %) 80 mL 5.1 a) 100 Ml , 0.2 m .

7、2 . (500 mL 1 000 mL)5.1 a) , (80 vol %) 2 % . , ( .) 5 , . 1 . (5 L ) 1 . 6 . 0.2 m 10 m . 6.1 a) 5.1 a) . b) KS M 2617 . c) ( ) (2 g/L) ( ) 0.20 g 100 mL KS L 2303 KS I 3213:2009 6 3G1 . d) (0.2 g/L) KS M 8274 20 mg 100 mL . e) - - 8 mL 10 mL 10 mL . 1 - ： 11 g KS M ISO 6353 2(R11) 100 mL . 10 mL

8、(5 g/L)(KS M 8175 5 g 100 mL .) 100 mL , 1G4 . 2 ： KS M 8274 5 g KS M ISO 6353 2(R11) (95 %) 100 mL . 30 mL (0.1 g/L)KS M ISO 6353 2(R24) 1 g 100 mL , 5 mL 500 mL . 100 mL , 1G4 . 6.2 a) KS L 2010 2 (76 mm26 mm) . b) KS L 2009 1 . c) KS L 2302 90 mm, 15 mm . 90B . d) KS M 7602 5 B 70 mm . e) 5.2 c)

9、. f) 0.2 m , . 1) KS B 5605 . 2) KS B 5615 100 . 3) KS B 5616 15 20 . 4) 1/10 mm 5) 0.01 mm, 1 mm , KS L 2009 No.1 S KS L 2010 1 , . g) . h) 5.2 d) . i) 5.2 e) . 6.3 , , 5.3 . 6.4 . a) , 5.4 . b) , - 5 mL . , 6 . KS I 3213:2009 7 ( ) (2 g/L) . (1： 5) 5 mL . 2 . (1： 5) ( ) (2 g/L) 5 mL 3 5 . (0.2 g/L

10、) 5 mL , 60 90 , , d) . c) 5 mL . . d) . e) 2 3 . , . f) 5.4 g) a) e) . 6.5 a) 6.4 . . b) 1 500 2 000 , ( ) . ( ) . 0.2 m . ( ) 0.1 % . 1 . . 2 . . 3 . a) 1 . b) 1 1 . c) 1 . d) . e) . . 4 . 5 0.1 % . 100akAn KS I 3213:2009 8 n ： ( ) A ： (mm2) k ： (%) a ： 1 (mm2) 1 1 . a0 xy a0 ： 1 (mm2) x ： (mm) y

11、： (mm) 6 1 25 0.1 % . c) 6.4 f) a) b) . 5. 1 2 . 6.4 6.5 . 5 , . d) 1 L . 0001bsbbSSVVaAnNnNN N ： ( /L) NS ： ( /L) Nb ： ( ) nS ： nb ： A ： a ： 1 (mm2) Vs ： (mL) Vb ： (mL) m 1 500 2 000 . , . 7 . 0.1 m 10 m . KS I 3213:2009 9 7.1 a) 0.1 m . . . . 7.2 a) 0.1 m . 1 m . b) . c) . d) . e) 5.2 c) . f) 5.2

12、d) . g) 5.2 e) . 7.3 , 5.3 . 7.4 a) 5.4 ( 0.1 m .) 6.4 a) , . b) . c) 5.4 a) a) b) . 7.5 a) 7.4 a) b) . b) 5 000 , ( ) . ( ) . , 0.1 m . ( ) 0.01 % . 1 0.1 m . 2 KS I 3213:2009 10 . 3 . 4 0.01 % 6.5 b) 5 . c) 7.4 c) a) b) . 5. 1 2 . 7.4 7.5 . 5 , . d) 6.5 d) 1 L . 8 ( .) . 0.2 m 10 m . . 8.1 a) 7.1 a) . b) (30 g/L) 5.1 b) . c) 0.2 m 1 4 % . , . 2 0.2 m (10 m ) . d) 100 000 /mL 1 000 000 /mL . . 1 000 000 10 mL . 5. 2 0.1 m . 7.4 7.5 1 mL . . 8.2 a) b) 5.2 a) 1) . c) 5.2 a) 2) . d) 5.2 a) 3) . e) 5.2 e) . 8.3 . a) 5.4 a)