KS I ISO 14644-4-2007 Cleanrooms and associated controlled environments－Part 4：Design construction and start-up《洁净室和相关控制环境 第4部分 设计、建造和启用》.pdf

1、 KS I ISO 14644 4KSKSKSKSSKSKSKS KSKSKS SKSKS KSKS SKS KS 4：, KS I ISO 14644 4： 2007 2007 10 31 http:/www.kats.go.krKS I ISO 14644 4： 2007 ： () ( ) ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2002 7 31 ：2007 10 31 2007-0929 ： ： ( 02-509-7266) (http:/www.kats.go.kr ). 7 5 , . KS I ISO 14644 4： 2007 i 2001 1

2、ISO 14644 4, Cleanrooms and associated controlled environments Part 4： Design, construction and start-up , . . , , , . KS M ISO 14644 . , . . , . KS M ISO 14644 . , , . ISO/TC 209 . KS I ISO14644 4： 2007 4： , Cleanrooms and associated controlled environments Part 4： Design, construction and start-up

3、 1 . , . . . A H . KS M ISO 14644 . . . . . . . . 2 . . . . ISO IEC . KS M ISO 14644 1, 1： KS M ISO 14644 2, 2： KS M ISO 14644 1 KS M ISO 14644 3, 3： KS M ISO 14698 1, 1： KS I ISO 14644 4： 2007 2 KS M ISO 14698 2, 2： ISO/DIS 14698 31), Cleanrooms and associated controlled environments Biocontaminati

4、on controlPart 3： Measurement of the efficiency of processes of cleaning and/or disinfection of inert surfaces bearing biocontaminated wet soiling or biofilms 3 KS M ISO 14644 1 . 3.1 (changing room) 3.2 KS M ISO 14644 1 . 3.3 (cleanliness) , , , 3.4 (commissioning) , , 3.5 (contaminants) , , , 3.6

5、(non-unidirectional airflow) 3.7 (particle) 3.8 (pre-filter) 3.9 (process core) 1) .KS I ISO 14644 4： 2007 3 3.10 (start up) , , , . 3.11 (unidirectional airflow) . . 4 4.1 4.2 4.18 . A H . 4.2 , 4.3 ( , , , ) ( C ). 4.4 , ( A, B, D ). 4.5 (KS M ISO 14698 1, KS M ISO 14698 2, ISO 14698 3) ( B ) 4.6

6、(KS M ISO 14644 2 KS M ISO 14644 3) , ( F ) 4.7 , , ( A ) 4.8 , , ( C, F ) 4.9 , , ( D ) 4.10 , , ( C ) 4.11 ( D ) 4.12 ( D ) KS I ISO 14644 4： 2007 4 4.13 ( B G ) 4.14 ( D, E, H ) 4.15 ( D, E ) 4.16 , , , , , , , , , , , ( ) ( E, G ) 4.17 ( H ) 4.18 ( H ) 5 5.1 5.1.1 , , . 5.1.2 . 5.1.3 (diversity

7、factor) . . 5.1.4 ( A ). 5.1.5 4. . 5.1.6 . a) b) c) d) e) f) g) h) i) j) ISO 9000 ( KS A ISO 9000 KS A ISO 9001) . 5.1.7 . KS I ISO 14644 4： 2007 5 5.2 5.2.1 ( A ). 5.2.2 . 5.2.3 , , (KS A ISO 14001 KS A ISO 14004) . . 6 6.1 . 6.2 . 6.3 . 6.4 . . 6.5 . 6.6 , , . 6.7 . 6.8 7. . (clean air device) .

8、, . 6.9 , . , , . . , . KS I ISO 14644 4： 2007 6 7 7.1 . C . 7.2 , , , . 7.3 “ ” “ ” . 7.4 “ ” . 8 8.1 ( ) , . , . . 8.2 . a) b) , , 7. c) “ ” ( , , ) d) , 8.3 . . KS I ISO 14644 4： 2007 7 a) b) c) d) 8.4 . . a) b) ( ) c) (non-compliance) d) 8.5 . , , , , . . a) b) c) d) e) , , f) ( , , ) g) h) , ,

9、i) 8.6 , , . . a) b) c) d) e) f) 8.7 . . a) b) c) d) KS I ISO 14644 4： 2007 8 A ( ) A.1 , . . . A.1 . . A.1 A.2 A.2.1 . . KS M ISO 6 , KS M ISO 5 . KS I ISO 14644 4： 2007 9 A.2.2 ( A.2 ). , . . . . . . A.2.3 . . . ( ). . A.2.4 . . A.2 ( ). A.2 KS I ISO 14644 4： 2007 10 SA： RA： A.2 ( ) A.3 , , . . A.

10、3 ( ) ( ) . A.3 KS I ISO 14644 4： 2007 11 1 a： A.3 ( ) A.4 A.4 A.5 . ( A.4) , / ( A.5) . . A.4 a) b) / KS I ISO 14644 4： 2007 12 ( , ) . A.4 ( ) A.5 A.5.1 . , , . . . . . 3 . / A.5 A.5.2 ( , ) , “ ” , 0.2 m/s ( A.6 ). c) / KS I ISO 14644 4： 2007 13 0.2 m/s . , , , . A.5.3 ( , ) . ( A.7 ). . , . , 5 20 Pa . . , , / / . . . A.6 A.7 A.5.4 , , , . vair0.2 m/s p 5 Pa 20 Pa KS I ISO 14644 4： 2007 14 B ( ) B.1 ( B.1 ). .