KS M 1059-2010 Phosphine (Standard reference gas)《膦(标准气体)》.pdf

1、 KSKSKSKS KSKSKSK KSKSKS KSKSK KSKS KSK KS KS M 1059 KS M 1059 :2010 2010 11 5 http:/www.kats.go.krKS M 1059:2010 : ( ) ( ) ( ) O C I ( ) : (http:/www.standard.go.kr) ： ：2000 12 30 ：2010 11 5 2010-0503 ： ： ( 02-509-7270) (http:/www.kats.go.kr). 10 5 , . KS M 1059:2010 Phosphine (Standard reference g

2、as) 1 , . 2 . . ( ) . KS B 5305, KS B 6210, KS B 6214, KS I 2219, KS M 0121, KS M 0124, ( ) KS M 0126, ( ) KS Q 5002, 1： 3 KS M 0124 KS M 0126 . 3.1 KS M 0121 2 3 8. , (10. ) 3.2 1 3.3 1 KS M 1059:2010 2 3.4 2 1 3.5 2 1 3.6 1 2 3.7 2 2 . 3.8 2 3.9 3 . 4 1 . 1 () L/L PH 0.5 PH 1 PH 2 PH 5 PH 10 PH 20

3、 PH 50 0.40 0.50 0.80 1.00 1.60 2.00 4.00 5.00 8.00 10.0 16.0 20.0 40.0 50.0 5 KS M 1059:2010 3 2 3 . 2 99.9 % ：500 L/L ：50 L/L 3 99.999 % ：1 L/L ：2 L/L 6 . a) KS B 6210 . b) KS B 6214 . 7 5. 6. b) 6. a) . 8 8.1 9.1 1 . 8.2 9.2 . 8.3 9.3 10 % . 8.4 4 . KS M 1059:2010 4 4 () % PH 0.5 PH 10 PH 20, PH

4、50 3.0 2.0 8.5 1) 6 . 9 9.1 a) . b) a) 2 1 1 , 1 . , 2 . KS I 2219 . KS Q 5002 . 9.2 , 2) . 9.3 KS B 5305 3.0 3) . 35 . P t P t 273 308 P ：35 (MPa) P t ： (MPa) t ：() 10 . 1) 1.5 MPa(35 ) . 2) . 3) . KS M 1059:2010 5 11 , . 11.1 . a) . b) 40 . c) 0 . d) . 11.2 . a) , . b) . c) . d) . e) . f) (除害) . 12 . a) (PH 3 .) b) c) d) e) f) ( ) g) h) i) 153787 1 92 3(13) (02)26240114 (02)262401489 http:/ KS M 1059 :2010 KSKSKS SKSKS KSKS SKS KS SKS KSKS SKSKS KSKSKS Phosphine (Standard reference gas) ICS 71.040.30 Korean Agency for Technology and Standards http:/www.kats.go.kr