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GB T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf

上传人：bowdiet140 文档编号：101853 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：1.40MB
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资源描述

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1?cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5?cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从110at?cm到硅中间隙氧的最大固溶度。

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