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GB T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件.pdf

上传人：吴艺期 文档编号：102117 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：8 大小：297.93KB
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资源描述

本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存等。本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

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