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GB T 15862-2012 离子注入机通用规范.pdf

上传人：吴艺期 文档编号：102119 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：12 大小：480.64KB
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资源描述

本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

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