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GB T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf

上传人：王申宇 文档编号：102127 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：6 大小：170.60KB
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资源描述

本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。

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