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GB T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则.pdf

上传人：王申宇 文档编号：102130 上传时间：2019-07-07 格式：PDF 页数：13 大小：356.02KB
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资源描述

本标准规定了半导体设施接口技术文件（以下简称接口文件）编写的基本要求和格式。本标准适用于半导体设施的设计、施工、供应、管理、培训及使用。

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